【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体设备控制，尤其涉及基片传输控制方法。
技术介绍
1、利用半导体工艺设备对不同批次基片进行镀膜的过程中，上一批次基片在工艺腔体内完成镀膜后，需要借助传输装置将该批次基片从工艺腔体中转移出去，再借助传输装置将下一批次待镀膜的基片转移入工艺腔体。为避免基片在转移过程中被外部环境所污染，以及在基片转移过程中使工艺腔体内的温度和压力维持在工艺条件附近，通常设置与工艺腔体相连接的传片腔体供基片传输使用。工艺腔体内基片的镀膜工艺过程结束，以及工艺腔体和传片腔体之间压力平衡后就会连通工艺腔体和传片腔体，以便于传输装置从传片腔体进入工艺腔体内抓取基片。
2、在基片传输过程中，如果半导体工艺设备出现宕机可能会使传输装置中用于夹持基片的结构，例如机械手臂停留于工艺腔体内。对于该种情况现有技术常规做法是触发警报后等待人工介入处理。
3、然而，当工艺腔体内的温度低于机械手所能承受的最高温度，例如碳化硅外延工艺的工艺温度普遍高于1200摄氏度，即使是在传片过程中，考虑到需要尽可能节省工艺腔体内温度、压力等的调控时间来提高生产效率，工艺腔体内的温度控制也不会低于900摄氏度，机械手在这样的高温下容易造成损坏，特别是人工介入处理一旦不及时，机械手在高温环境中停留时间越长损坏越严重。
4、因此，有必要提供一种基片传输控制方法以解决现有技术中存在的上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种基片传输控制方法，能够对异常情况进行及时快速响应，并在出现
2、为实现上述目的，本专利技术提供的基片传输控制方法，包括：
3、s0：提供相互通信连接的调度控制单元和主控制单元，内设有承载装置的工艺腔体、连通所述工艺腔体的传片腔体、设于所述工艺腔体和所述传片腔体之间的隔离装置、设于所述传片腔体内并分别与所述调度控制单元和所述主控制单元通信连接的传输装置，以及与所述调度控制单元通信连接的信息获取单元，所述主控制单元预存有工艺程序信息，所述调度控制单元预存有传片比对信息，所述传输装置包括能够持基片运动的传片单元，所述信息获取单元配置为获取并发送所述工艺腔体、所述隔离装置、所述传片腔体和所述传输装置的实时状态信息，以及外部控制信息；
4、s1：所述信息获取单元获取并向所述调度控制单元发送所述实时状态信息和所述外部控制信息，所述调度控制单元与所述主控制单元之间进行信息交互；
5、s2：所述主控制单元根据所述工艺程序信息向所述传输装置下达传片指令，所述调度控制单元根据所述传片比对信息和所述实时状态信息判断所述实时状态信息满足执行所述传片指令的要求后，向所述传输装置下达确认指令，所述传输装置根据所述确认指令和所述传片指令控制所述传片单元在所述承载装置和所述传片腔体之间传输所述基片；
6、s3：所述调度控制单元根据与所述主控制单元之间的信息交互情况判断与所述主控制单元之间的通讯断开，或者根据所述外部控制信息判断所述主控制单元对所述传输装置的控制失效；
7、s4：所述调度控制单元判断所述传片单元位于所述工艺腔体内且所述工艺腔体内的温度高于耐受阈值温度后，控制所述传输装置驱动所述传片单元远离所述工艺腔体。
8、本专利技术提供的基片传输控制方法的有益效果在于：相较于通过单一控制单元控制传输装置相比，通过步骤s1由所述调度控制单元接收实时状态信息并与所述主控制单元之间进行信息交互，并在所述步骤s2中根据所述传片比对信息和所述实时状态信息判断所述实时状态信息满足执行所述传片指令的要求后，向所述传输装置下达确认指令，使所述传输装置根据所述确认指令和所述传片指令控制所述传片单元在所述承载装置和所述传片腔体之间传输所述基片，有利于提高传片安全性，当所述调度控制单元通过所述步骤s3判断与所述主控制单元之间的通讯断开或者所述主控制单元对所述传输装置的控制失效后，再通过步骤s4介入对所述传输装置进行驱动控制，在人工介入处理前使传片单元及时从工艺腔体回到传片腔体，从而减少甚至避免传片单元因高温造成的损坏。
9、可选的，所述步骤s1中，所述调度控制单元与所述主控制单元之间进行信息交互的步骤包括，所述主控制单元按第一时间间隔向所述调度控制单元发出心跳信息，所述步骤s3中，所述调度控制单元判断在接收到上一所述心跳信息后的第一互联时间间隔内未接收到下一所述心跳信息后，则判断与所述主控制单元之间的通讯断开。
10、可选的，所述步骤s1还包括，所述调度控制单元响应于所述主控制单元发送的心跳信息按第二时间间隔向所述主控制单元发出反馈心跳信息，所述步骤s3还包括，所述主控制单元判断在接收到上一所述反馈心跳信息后的第二互联时间间隔内未接收到下一所述反馈心跳信息，则停止对所述传输装置的控制以使所述传片单元停止运动。
11、可选的，所述外部控制信息来源于急停单元，所述急停单元分别与所述传输装置以及所述调度控制单元通信连接，所述步骤s3中：所述急停单元分别向所述调度控制单元和所述传输装置发出所述外部控制信息；所述传输装置响应于所述外部控制信息而停止对所述传片单元的驱动；所述调度控制单元根据所述外部控制信息判断所述主控制单元对所述传输装置的控制失效。
12、可选的，所述步骤s2中，所述调度控制单元根据所述传片比对信息和所述实时状态信息判断所述承载装置处于静止状态，且所述隔离装置处于开启状态使所述工艺腔体和所述传片腔体相通后，向所述传输装置下达所述确认指令。
13、可选的，所述调度控制单元预存有安全控制程序，所述步骤s1执行的过程中，所述调度控制单元根据与所述主控制单元之间的信息交互情况判断与所述主控制单元之间的通讯断开，或者根据所述外部控制信息判断所述主控制单元对所述传输装置的控制失效后，所述调度控制单元执行所述安全控制程序，所述安全控制程序用于使高速运转的所述承载装置以设定速率变化梯度降速直至处于静止状态以防止飞片。
14、可选的，所述安全控制程序还用于停止向所述工艺腔体内供应反应源气，和/或停止对所述工艺腔体内的加热。
15、可选的，所述步骤s4中，所述实时状态信息包括所述工艺腔体的腔内温度信息，以及所述隔离装置的开闭信息，所述调度控制单元判断所述传片单元位于所述工艺腔体内且所述工艺腔体内的温度高于耐受阈值温度的步骤包括：
16、s41：所述调度控制单元根据所述隔离装置的开闭信息判断所述隔离装置为打开状态；
17、s42：所述调度控制单元根据所述工艺腔体的腔内温度信息判断所述工艺腔体内的温度高于所述耐受阈值温度。
18、可选的，所述步骤s42执行完毕后，所述调度控制单元向所述传输装置发送慢速复位指令以驱动所述传片单元远离所述工艺腔体。
19、可选的，所述传输装置包括位于所述传片腔体内并与所述传片单元连接的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基片传输控制方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述调度控制单元与所述主控制单元之间进行信息交互的步骤包括，所述主控制单元按第一时间间隔向所述调度控制单元发出心跳信息，所述步骤S3中，所述调度控制单元判断在接收到上一所述心跳信息后的第一互联时间间隔内未接收到下一所述心跳信息后，则判断与所述主控制单元之间的通讯断开。
3.根据权利要求2所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述步骤S1还包括，所述调度控制单元响应于所述主控制单元发送的心跳信息按第二时间间隔向所述主控制单元发出反馈心跳信息，所述步骤S3还包括，所述主控制单元判断在接收到上一所述反馈心跳信息后的第二互联时间间隔内未接收到下一所述反馈心跳信息，则停止对所述传输装置的控制以使所述传片单元停止运动。
4.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述外部控制信息来源于急停单元，所述急停单元分别与所述传输装置以及所述调度控制单元通信连接，所述步骤S3中：
5.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于
6.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述调度控制单元预存有安全控制程序，所述步骤S1执行的过程中，所述调度控制单元根据与所述主控制单元之间的信息交互情况判断与所述主控制单元之间的通讯断开，或者根据所述外部控制信息判断所述主控制单元对所述传输装置的控制失效后，所述调度控制单元执行所述安全控制程序，所述安全控制程序用于使高速运转的所述承载装置以设定速率变化梯度降速直至处于静止状态以防止飞片。
7.根据权利要求6所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述安全控制程序还用于停止向所述工艺腔体内供应反应源气，和/或停止对所述工艺腔体内的加热。
8.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述步骤S4中，所述实时状态信息包括所述工艺腔体的腔内温度信息，以及所述隔离装置的开闭信息，所述调度控制单元判断所述传片单元位于所述工艺腔体内且所述工艺腔体内的温度高于耐受阈值温度的步骤包括：
9.根据权利要求8所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述步骤S42执行完毕后，所述调度控制单元向所述传输装置发送慢速复位指令以驱动所述传片单元远离所述工艺腔体。
10.根据权利要求8所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述传输装置包括位于所述传片腔体内并与所述传片单元连接的关节结构，所述信息获取单元包括设于所述关节结构的姿态位置传感单元，所述步骤S41执行完毕后，所述调度控制单元根据所述姿态位置传感单元发送的姿态位置信息判断所述传片单元位于所述工艺腔体内，以及所述步骤S42执行完毕后，所述调度控制单元向所述传输装置发送快速缩回指令以驱动所述传片单元远离所述工艺腔体。
11.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述步骤S2进行的过程中，所述主控制单元根据所述实时状态信息和所述工艺程序信息控制所述工艺腔体内的压力与工艺压力相当，并控制所述工艺腔体内的温度与工艺温度相当。
12.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述工艺腔体内设有与所述承载装置的承载面相对的气体注入装置以提供具有特定温度的吹扫气体，设有排气装置以向所述工艺腔体外排气，所述实时状态信息包括所述工艺腔体的腔内压力信息，所述步骤S4中，执行控制所述传输装置驱动所述传片单元远离所述工艺腔体的步骤之前或进行的过程中，执行以下工艺调整步骤：
13.根据权利要求12所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述调度控制单元预存有所述传片单元在各耐受温度下所对应耐受时长的对应关系数据，以及用于控制所述传输装置驱动所述传片单元运动的对应速率信息，所述实时状态信息包括所述工艺腔体的腔内温度信息和所述传片单元的位置信息，所述调度控制单元根据所述腔内温度信息、所述对应关系数据、所述对应速率信息以及所述传片单元的位置信息判断所述传片单元的预计传输时长大于所述工艺腔体的腔内温度下所对应的耐受时长后，执行所述工艺调整步骤。
14.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述实时状态信息包括所述工艺腔体的腔内温度信息，所述传片单元设有冷却装置，所述步骤S4中，执行控制所述传输装置驱动所述传片单元远离所述工艺腔体的步骤之前或者进行的过程中，所述调度控制单元控制所述冷却装置对所述传片单元降温。...
【技术特征摘要】
1.一种基片传输控制方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述步骤s1中，所述调度控制单元与所述主控制单元之间进行信息交互的步骤包括，所述主控制单元按第一时间间隔向所述调度控制单元发出心跳信息，所述步骤s3中，所述调度控制单元判断在接收到上一所述心跳信息后的第一互联时间间隔内未接收到下一所述心跳信息后，则判断与所述主控制单元之间的通讯断开。
3.根据权利要求2所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述步骤s1还包括，所述调度控制单元响应于所述主控制单元发送的心跳信息按第二时间间隔向所述主控制单元发出反馈心跳信息，所述步骤s3还包括，所述主控制单元判断在接收到上一所述反馈心跳信息后的第二互联时间间隔内未接收到下一所述反馈心跳信息，则停止对所述传输装置的控制以使所述传片单元停止运动。
4.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述外部控制信息来源于急停单元，所述急停单元分别与所述传输装置以及所述调度控制单元通信连接，所述步骤s3中：
5.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述步骤s2中，所述调度控制单元根据所述传片比对信息和所述实时状态信息判断所述承载装置处于静止状态，且所述隔离装置处于开启状态使所述工艺腔体和所述传片腔体相通后，向所述传输装置下达所述确认指令。
6.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述调度控制单元预存有安全控制程序，所述步骤s1执行的过程中，所述调度控制单元根据与所述主控制单元之间的信息交互情况判断与所述主控制单元之间的通讯断开，或者根据所述外部控制信息判断所述主控制单元对所述传输装置的控制失效后，所述调度控制单元执行所述安全控制程序，所述安全控制程序用于使高速运转的所述承载装置以设定速率变化梯度降速直至处于静止状态以防止飞片。
7.根据权利要求6所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述安全控制程序还用于停止向所述工艺腔体内供应反应源气，和/或停止对所述工艺腔体内的加热。
8.根据权利要求1所述的基片传输控制方法，其特征在于，所述步骤s4中，所述实时状态信息包括所述工艺腔体的腔内温度信息，以及所述隔离装置的开闭信息，所述调度控制单元判断所述传片单元位于所述工艺腔体内且所述工艺腔体内...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪亮良，汤健明，王军，
申请(专利权)人：楚赟精工科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。