【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶舟盒搬运，特别涉及一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构。
技术介绍
1、在半导体晶圆制造中，晶圆通常是通过晶舟盒运输的。以300mm的晶舟盒为例，满载时可容纳25片晶圆片，重量超过7公斤。
2、频繁搬运这种尺寸和重量的晶舟盒，现有操作人员是人工搬运，通常操作人员使用四轮小车，将晶舟盒从生产平台上搬运到小车上，然后通过小车运送，小车仅仅使用常规推车，不具备与生产平台锁止功能。在操作人员在搬运过程中容易发生磕碰和振动，导致晶圆产品报废。因此，关于一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构尚未见报道。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术目的是提供一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构；具体技术方案如下：
2、一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构，包括安装板、立板、中间板、脚踏杆、拉杆、锁止座、锁止块、销导向板、顶轴、尼龙垫、尼龙撞块、连接杆、支撑轴、停止块、脚踏连杆、锁止块弹簧、直线轴承、顶轴弹簧、弹簧支柱、拉簧、导向板安装柱、等高螺栓、调整螺栓、铰链杆和铰链销；所述中间板设有多个销孔和安装孔；所述销导向板通过导向板安装柱从中间板下端面的销孔穿过从而定位和安装；所述中间板上端通过设置两立板连接安装板；所述脚踏连杆之间分布有多个支撑轴，其脚踏连杆前端倾斜向下，后端呈z字型；所述脚踏连杆前端设有连接杆；所述脚踏连杆前端头设有圆孔，通过铰链杆与拉杆连接；所述脚踏连杆后端设有停止块，其尾部通过螺钉连接脚踏杆；所述拉杆两侧均设有锁止座，锁止块通过铰链销安装在锁止座上；
3、所述的一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构，其优选方案为，所述尼龙撞块的尺寸根据semi e83标准接口设置。
4、所述的一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构，其优选方案为，所述锁止块呈l型，其前侧下端设有导向斜面，用于通过导向斜面过渡后在锁止块弹簧的作用下卡入semi e83接口定位板内。
5、所述的一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构，其优选方案为，所述拉杆在脚踏连杆的拖动下能够绕铰链杆转动，形成一个双摇杆连杆机构。
6、一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构的工作原理：销导向板通过导向板安装柱定位和安装在中间板上，其作用是接触定位销并导正晶舟盒搬运小车，实现晶舟盒搬运小车左右方向的定位。锁止块通过铰链销安装在锁止座上，并与拉杆相连，拉杆在脚踏连杆的拖动下可绕铰链转动，形成一个双摇杆连杆机构，人工可以在连接在脚踏连杆上的脚踏杆施加向下的力实现机构的运动，最终在锁止块弹簧和机构重力的作用下复位。锁止块在接触到e83接口定位板时绕铰链销旋转，通过导向斜面过渡后，在弹簧作用下卡入e83接口定位板特征内，同时尼龙撞块在直线轴承导向作用和顶轴弹簧的反作用力下，将锁止块与e83接口定位板锁死，从而实现晶舟盒搬运小车前后方向的定位。这样，晶舟盒搬运小车水平四个方向均被锁定。人工通过在脚踏杆施加向下的力即可解锁。
7、本专利技术的优点是：本专利技术无需人工反复调整晶舟盒搬运小车的位置，轻松推入即可锁止，减少人工工作强度，提高工作效率；前后位置定位通过弹簧和锁止块共同作用，解锁时解锁块抬起，在弹簧作用下小车自动与e83接口脱离，操作简便；通过锁止机构可实现晶舟盒搬运小车位置的快速锁止、快速解锁，避免晶舟盒发生碰撞。
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1.一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构，其特征在于：包括安装板（1）、立板（2）、中间板（3）、脚踏杆（4）、拉杆（5）、锁止座（6）、锁止块（7）、销导向板（8）、顶轴（9）、尼龙垫（10）、尼龙撞块（11）、连接杆（12）、支撑轴（13）、停止块（14）、脚踏连杆（15）、锁止块弹簧（16）、直线轴承（17）、顶轴弹簧（18）、弹簧支柱（19）、拉簧（20）、导向板安装柱（21）、等高螺栓（22）、调整螺栓（23）、铰链杆（24）和铰链销（25）；
2.根据权利要求1所述的一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构，其特征在于，所述尼龙撞块（11）的尺寸根据SEMI E83标准接口设置。
3.根据权利要求1所述的一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构，其特征在于，所述锁止块（7）呈L型，其前侧下端设有导向斜面（26），用于通过导向斜面（26）过渡后在锁止块弹簧（16）的作用下卡入SEMI E83标准接口定位板内。
4.根据权利要求1所述的一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构，其特征在于，所述拉杆（5）在脚踏连杆（15）的拖动下能够绕铰链杆（24）转动，形成一个双
...【技术特征摘要】
1.一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构，其特征在于：包括安装板（1）、立板（2）、中间板（3）、脚踏杆（4）、拉杆（5）、锁止座（6）、锁止块（7）、销导向板（8）、顶轴（9）、尼龙垫（10）、尼龙撞块（11）、连接杆（12）、支撑轴（13）、停止块（14）、脚踏连杆（15）、锁止块弹簧（16）、直线轴承（17）、顶轴弹簧（18）、弹簧支柱（19）、拉簧（20）、导向板安装柱（21）、等高螺栓（22）、调整螺栓（23）、铰链杆（24）和铰链销（25）；
2.根据权利要求1所述的一种晶舟盒搬...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏文通，赵闯，王杨，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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