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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种x射线检查装置及x射线检查系统。
技术介绍
1、专利文献1中公开有一种x射线异物检查装置,其具备:x射线发生器,在输送路径的中途的检查空间的上方分开规定高度配置,并且在该检查空间中,对依次被输送的被检查物照射x射线;及x射线线性传感器,在输送部内与x射线发生器对置配置,并且检测透射了被检查物的x射线。
2、专利文献1:日本专利第7060446号公报
3、然而,在专利文献1中所记载的x射线异物检查装置中,若对被检查物的曝光时间短,则会导致所获得的透射图像成为噪声多的图像。并且,例如,当检查较厚的被检查物时,若曝光时间短,则会导致所获得的透射图像成为不清晰的图像。因此,若对被检查物的曝光时间短,则无法提高检查精确度。
4、相对于此,若延长曝光时间,则能够获得噪声少且清晰的透射图像,但需要与延长了曝光时间对应地使被检查物的输送速度变慢,或根据情况使其暂停,从而无法进行有效的检查。
技术实现思路
1、本专利技术是鉴于上述情况而完成的,其目的在于提供一种能够在不降低被检查物的输送速度的情况下获得噪声少且清晰的透射图像的x射线检查装置及x射线检查系统。
2、本专利技术的第1方式的x射线检查装置具备:
3、x射线发生器10,对依次被输送的被检查物w照射x射线;
4、x射线检测器11,检测透射了所述被检查物的所述x射线;及
5、输送路径3,供所述被检查物通过,
6、所述x射线检查装置以
7、所述x射线发生器构成为在进行所述被检查物的拍摄时,能够在规定角度范围内旋转,
8、所述x射线检测器构成为能够与所述x射线发生器的旋转联动地沿所述被检查物的输送方向及与其相反的方向往复移动,
9、所述x射线发生器及所述x射线检测器构成为在所述被检查物从摄像开始位置pw1移动至摄像结束位置pw2的期间,以追随所述被检查物的方式进行追随移动,并且所述x射线检测器进行所述被检查物的拍摄。
10、根据该结构,在本专利技术所涉及的x射线检查装置中,x射线发生器及x射线检测器在被检查物从摄像开始位置移动至摄像结束位置的期间,x射线发生器以追随被检查物的方式旋转,并且x射线检测器沿输送方向移动并且进行被检查物的拍摄,因此与固定x射线发生器及x射线检测器来进行拍摄的结构相比,能够在不降低被检查物的输送速度的情况下延长曝光时间。因此,本专利技术所涉及的x射线检查装置能够在不降低被检查物的输送速度的情况下获得噪声少且清晰的透射图像。
11、本专利技术的第2方式的x射线检查装置在第1方式的x射线检查装置中,
12、所述x射线发生器及所述x射线检测器构成为在到所述摄像结束位置为止进行所述追随移动之后,进行在接着被输送的被检查物到达所述摄像开始位置之前返回所述摄像开始位置的复原移动。
13、根据该结构,在本专利技术所涉及的x射线检查装置中,在x射线发生器及x射线检测器移动至摄像结束位置之后,在接着被输送的被检查物到达摄像开始位置之前返回摄像开始位置,因此能够利用依次被输送的被检查物之间的间隙时间来使x射线发生器及x射线检测器返回摄像开始位置,以供下一被检查物的拍摄。
14、本专利技术的第3方式的x射线检查装置在第2方式的x射线检查装置中,
15、基准图像信息存储部26,存储有预先拍摄了所述被检查物的基准图像的图像信息即基准图像信息;
16、判断部27,判断通过所述拍摄而获得的x射线图像的图像信息是否与所述基准图像信息一致;及
17、控制部25,当通过所述判断部判断为通过所述拍摄而获得的x射线图像的图像信息与所述基准图像信息不一致时,调整所述x射线的照射范围及所述x射线检测器的移动速度。
18、具备当通过判断部判断为通过拍摄而获得的x射线图像的图像信息与基准图像信息不一致时,调整x射线的照射范围及x射线检测器的移动速度的控制部,因此即使在因在被检查物的移动与x射线的照射范围及x射线检测器的追随移动之间产生偏差而例如x射线图像内的被检查物变得不清晰,或x射线图像内的被检查物的位置从基准图像内的工件图像的位置偏离而x射线图像的质量降低的情况下,也能够通过调整x射线的照射范围及x射线检测器的移动速度来改善x射线图像的质量。
19、本专利技术的第4方式的x射线检查装置在第3方式的x射线检查装置中,
20、当通过所述拍摄而获得的x射线图像内的被检查物的对比度与所述基准图像内的被检查物的对比度不同时,所述判断部判断为通过所述拍摄而获得的x射线图像的图像信息与所述基准图像信息不一致的第1图案,
21、在所述第1图案的情况下,所述控制部调整所述追随移动的移动速度。
22、根据该结构,在本专利技术所涉及的x射线检查装置中,当通过拍摄而获得的x射线图像内的被检查物的对比度与基准图像内的被检查物的对比度不同时,判断为通过拍摄而获得的x射线图像的图像信息与基准图像信息不一致的第1图案,在该情况下,调整追随移动的移动速度,因此能够使x射线的照射范围及x射线检测器进行追随移动时的移动速度与被检查物的输送速度一致。由此,能够使通过拍摄而获得的x射线图像内的被检查物的对比度与基准图像内的被检查物的对比度一致,从而能够改善x射线图像的质量。
23、本专利技术的第5方式的x射线检查装置在第3方式的x射线检查装置中,
24、当通过所述拍摄而获得的x射线图像内的被检查物的位置与所述基准图像内的被检查物的位置不同时,所述判断部判断为通过所述拍摄而获得的x射线图像的图像信息与所述基准图像信息不一致的第2图案,
25、在所述第2图案的情况下,所述控制部调整所述复原移动的移动速度。
26、根据该结构,在本专利技术所涉及的x射线检查装置中,当通过拍摄而获得的x射线图像内的被检查物的位置与基准图像内的被检查物的位置不同时,判断为通过拍摄而获得的x射线图像的图像信息与基准图像信息不一致的第2图案,在该情况下,调整复原移动的移动速度,因此能够调整x射线的照射范围及x射线检测器返回能够拍摄位于摄像开始位置的被检查物的位置的时刻。由此,能够使被检查物到达摄像开始位置的时刻与x射线发生器及x射线检测器开始拍摄的时刻一致。其结果,能够使通过拍摄而获得的x射线图像内的被检查物的位置与基准图像内的被检查物的位置一致,从而能够改善x射线图像的质量。
27、本专利技术的第6方式的x射线检查装置在第3或第4方式的x射线检查装置中,
28、当通过所述拍摄而获得的x射线图像内的被检查物的位置与所述基准图像内的被检查物的位置不同时,所述判断部判断为通过所述拍摄而获得的x射线图像的图像信息与所述基准图像信息不一致的第2图案,
29、在所述第2图案的情况下,所述控制部将通过所述拍摄而获得的x射线图像的图像信息与所述基准图像信息不一致的情况通知给外本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种X射线检查装置,其具备:
2.根据权利要求1所述的X射线检查装置,其中,
3.根据权利要求2所述的X射线检查装置,其还具备:
4.根据权利要求3所述的X射线检查装置,其中,
5.根据权利要求3所述的X射线检查装置,其中,
6.根据权利要求3或4所述的X射线检查装置,其中,
7.根据权利要求3所述的X射线检查装置,其中,
8.根据权利要求2或3所述的X射线检查装置,其中,
9.根据权利要求1至3中任一项所述的X射线检查装置,其中,
10.一种X射线检查系统,其包括:
【技术特征摘要】
1.一种x射线检查装置,其具备:
2.根据权利要求1所述的x射线检查装置,其中,
3.根据权利要求2所述的x射线检查装置,其还具备:
4.根据权利要求3所述的x射线检查装置,其中,
5.根据权利要求3所述的x射线检查装置,其中,
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