一种氢气稳压供气装置及设备制造方法及图纸

本技术提供一种氢气稳压供气装置及设备，包括直供管和两个稳压罐。稳压罐用于储存氢气。直供管的第一端用于连接供氢站，第二端用于连接外延气体混配设备。直供管的两端之间设有直供阀。每个稳压罐连接有补气管和供气管。补气管的第一端用于连接供氢站，第二端连接稳压罐。补气管的两端之间设有补气阀。供气管的第一端连接稳压罐，第二端用于连接外延气体混配设备。供气管的两端之间设有供气阀。本技术通过在直供管外设置两个稳压罐，稳压罐的进出口两端设置阀门，进一步可在供氢站氢气供应压力不稳定时，稳压罐可通过供气管向外延气体混配设备供应氢气，确保氢气供应压力稳定、提升外延生长速率稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及外延供气，尤其涉及一种氢气稳压供气装置及设备。

技术介绍

1、硅外延工艺的掺杂剂包括磷、硼和砷等。外延生长中通过外延气体混配设备控制掺杂剂浓度。例如，外延气体混配设备将相应比例的氢气与掺杂剂混合，并将混配后的外延气体输送至外延炉中。量产外延工艺为了精确控制掺杂剂浓度，对混配气体压力的稳定性要求较高。影响混配气体压力稳定性的主要因素为外延气体混配设备的氢气供应压力稳定性。

2、现在氢气供气方式多为管道直接供气，即制氢站或供气站的氢气通过管道直接供应至外延气体混配设备。受制氢站或供气站的压力不稳定情况影响，混配设备的混配浓度波动较大，最终影响外延速率、产生质量问题。

技术实现思路

1、本技术提供了一种氢气稳压供气装置及设备，以解决供氢站氢气供应压力不稳、导致外延速率不稳定的问题。

2、第一方面，本技术提供了一种氢气稳压供气装置，包括：直供管和两个稳压罐。所述稳压罐用于储存氢气。所述直供管的第一端用于连接供氢站，第二端用于连接外延气体混配设备。所述直供管的两端之间设有直供阀。每个所述稳压罐连接有补气管和供气管。所述补气管的第一端用于连接供氢站，第二端连接所述稳压罐。所述补气管的两端之间设有补气阀。所述供气管的第一端连接所述稳压罐，第二端用于连接外延气体混配设备。所述供气管的两端之间设有供气阀。

3、在一种可能的实现方式中，所述外延气体混配设备为多个。所述直供管第二端用于连接各个所述外延气体混配设备。任一所述稳压罐通过其供气管连接任一所述外延气体混配设备。

4、在一种可能的实现方式中，还包括：压力传感器。所述直供管、供气管的第二端通过同一汇总管连接所述外延气体混配设备。相应的，所述压力传感器设置在所述汇总管上。

5、在一种可能的实现方式中，所述直供阀关闭，相应的，至少一个所述稳压罐的补气阀关闭、供气阀开启，以通过至少一个稳压罐向所述外延气体混配设备供气。

6、在一种可能的实现方式中，任一稳压罐的补气阀开启、供气阀关闭，以向该稳压罐内补充氢气。

7、在一种可能的实现方式中，所述汇总管上还连接有文丘里真空发生器。

8、在一种可能的实现方式中，在补气管的第一端与供氢站之间还设有单向阀。所述单向阀的流动方向由供氢站指向稳压罐。

9、在一种可能的实现方式中，所述直供阀开启，相应的，至少一个所述稳压罐的补气阀关闭、供气阀开启，以通过直供管和至少一个稳压罐向所述外延气体混配设备供气。

10、在一种可能的实现方式中，所述稳压罐的容量范围为20升至40升。

11、第二方面，本技术提供了一种氢气稳压供气设备，包括如上述任一项可能的实现方式中所述的氢气稳压供气装置。

12、本技术提供一种氢气稳压供气装置及设备，该装置包括：直供管和两个稳压罐。稳压罐用于储存氢气。直供管的第一端用于连接供氢站，第二端用于连接外延气体混配设备。直供管的两端之间设有直供阀。每个稳压罐连接有补气管和供气管。补气管的第一端用于连接供氢站，第二端连接稳压罐。补气管的两端之间设有补气阀。供气管的第一端连接稳压罐，第二端用于连接外延气体混配设备。供气管的两端之间设有供气阀。本技术通过在直供管外设置两个稳压罐，稳压罐的进出口两端设置阀门，第一方面，稳压罐可通过补气管存储供氢站输送的氢气，进一步可在供氢站氢气供应压力不稳定时，稳压罐可通过供气管向外延气体混配设备供应氢气，确保氢气供应压力稳定、提升外延生长速率稳定性。第二方面，两稳压罐可交替供气，确保连续对外延气体混配设备供气，提升供气的稳定性、提升外延生长速率稳定性。

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【技术保护点】

1.一种氢气稳压供气装置，其特征在于，包括：直供管和两个稳压罐；所述稳压罐用于储存氢气；

2.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，所述外延气体混配设备为多个；

3.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，还包括：压力传感器；

4.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，所述直供阀关闭，相应的，至少一个所述稳压罐的补气阀关闭、供气阀开启，以通过至少一个稳压罐向所述外延气体混配设备供气。

5.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，任一稳压罐的补气阀开启、供气阀关闭，以向该稳压罐内补充氢气。

6.如权利要求3所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，所述汇总管上还连接有文丘里真空发生器。

7.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，在补气管的第一端与供氢站之间还设有单向阀；所述单向阀的流动方向由供氢站指向稳压罐。

8.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，所述直供阀开启，相应的，至少一个所述稳压罐的补气阀关闭、供气阀开启，以通过直供管和至少一个稳压罐向所述外延气体混配设备供气。

9.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，所述稳压罐的容量范围为20升至40升。

10.一种氢气稳压供气设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的氢气稳压供气装置。

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【技术特征摘要】

1.一种氢气稳压供气装置，其特征在于，包括：直供管和两个稳压罐；所述稳压罐用于储存氢气；

2.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，所述外延气体混配设备为多个；

3.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，还包括：压力传感器；

4.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，所述直供阀关闭，相应的，至少一个所述稳压罐的补气阀关闭、供气阀开启，以通过至少一个稳压罐向所述外延气体混配设备供气。

5.如权利要求1所述的氢气稳压供气装置，其特征在于，任一稳压罐的补气阀开启、供气阀关闭，以向该稳压罐内补充氢气。

6.如权利要求3所述的氢...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟祥鹏，贺东升，
申请(专利权)人：河北普兴电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：