【技术实现步骤摘要】
本申请涉及芯片加工设备，尤其涉及一种涂胶显影设备用定位工装。
技术介绍
1、涂胶显影设备是光刻工序中与光刻设备配套使用的涂胶、烘烤以及显影设备，包括涂胶机、喷胶机和显影机。此类设备一般都与光刻设备联机作业，组成配套的晶圆处理与光刻生产线，与光刻设备配合完成精细的光刻工艺流程。
2、显影机一般包括承载盘(chuck)、内杯(inner cup)、底杯(under cup)和外杯(outcup)，其中，承载盘表面的中心位置开设有中心孔，承载盘用于承载并吸附待涂胶的晶圆，以使晶圆与承载板相对固定，当晶圆表面涂胶后，承载盘能够带动晶圆旋转，以使胶液均布于晶圆表面；内杯用于对晶圆旋转时甩出的胶液进行引流；底杯用于收集内杯所引流的胶液；外杯布置于底杯上方位置，外杯中部设有避让孔，避让孔的直径大于晶圆的直径，外杯的底部设有凸沿，底杯上方设有用于容纳凸沿的柱形孔，凸沿外周面与柱形孔内周面间隙配合。
3、外杯顶部相对的两侧下方还分别布置有滑套和外杯气缸，滑套和外杯气缸分别固定安装于工作台，工作台的表面为平面，外杯顶部一侧下方固接有滑杆，滑杆滑动连接于滑套，外杯顶部另一侧固接于外杯气缸的活塞杆，外杯气缸的活塞杆带动外杯沿滑杆的轴线方向运动。
4、由于需要保证运动精度，外杯气缸需选用双杆气缸，双杆气缸的缸体底面紧抵于工作台，双杆气缸还包括四个首尾相接的缸体侧面，缸体侧面均垂直于缸体底面，显影机的部分构件需满足以下要求：滑杆的轴线、中心孔的轴线及双杆气缸的两个活塞杆轴线相平行；滑杆的轴线至中心孔的轴线距离与中心孔的轴
5、双杆气缸的活塞杆在运动过程中会与缸体自身发生摩擦，双杆气缸长时间工作，在活塞杆摩擦作用下，会导致双杆气缸的运动精度降低，进而会导致外杯的凸沿与底杯之间发生摩擦。因此需要定期更换双杆气缸，以保证双杆气缸及外杯的活动精度。
6、显影机的整体结构较为紧凑，为了确保外杯气缸定位准确，避免外杯气缸带动外杯动作的过程中外杯的凸沿与底杯之间发生摩擦，需要有经验的工作人员反复调整，目前每次更换外杯气缸都需要耗费3h以上，更换效率极低。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种涂胶显影设备用定位工装，能够快速完成待更换外杯气缸的定位，极大地提高了外杯气缸的更换效率。
2、第一方面，本申请实施例提供一种涂胶显影设备用定位工装，用于定位涂胶显影设备的显影机的外杯气缸，包括：基座，包括沿第一方向延伸的导向件和沿第二方向延伸的引导部，导向件包括定位套，用于可转动地连接至显影机的滑套，第一方向垂直于第二方向；定位总成，包括第一定位组件和第二定位组件，第一定位组件位于导向件和第二定位组件之间，第一定位组件和第二定位组件均与引导部沿第二方向可移动连接，第一定位组件上设有定位销，以插接至显影机的中心孔，定位销的轴线平行于第一方向，第二定位组件上设有第一定位面和辅助定位侧，第一定位面和辅助定位侧相交设置，定位套的轴线和定位销的轴线共同所在的平面垂直于第一定位面，第一定位面和辅助定位侧分别用于抵接至外杯气缸的两个相邻的缸体侧面。
3、在一些实施例中，导向件还包括与定位套相继分布的第一导柱，定位套背向第一导柱的一端设有套设孔，以套设于滑套。
4、在一些实施例中，定位套的侧壁螺纹连接有第一螺钉，定位套上用于连接第一螺钉的螺纹孔与套设孔相连通。
5、在一些实施例中，基座还包括第一架体，第一架体沿第一方向可移动连接于第一导柱，第一架体沿第二方向可移动连接于引导部。
6、在一些实施例中，引导部包括第二导柱，第一架体、第一定位组件和第二定位组件均设有连接孔，第一架体、第一定位组件和第二定位组件均通过相应的连接孔穿接于第二导柱。
7、在一些实施例中，辅助定位侧为第二导柱靠近第一定位面的母线。
8、在一些实施例中，第二导柱的个数为二，两个第二导柱沿第三方向间隔分布，第三方向同时垂直于第一方向和第二方向。
9、在一些实施例中，两个第二导柱之间的间距与待定位的外杯气缸的宽度相同。
10、在一些实施例中，第一定位组件上还设有第二定位面，以抵接至显影机的承载盘上表面，定位销凸设于第二定位面，第二定位面垂直于第一方向。
11、在一些实施例中，第一定位面位于第二定位组件背向第一定位组件的位置。
12、本申请实施例的涂胶显影设备用定位工装包括基座和定位总成，其中，基座包括沿第一方向延伸的导向件和沿第二方向延伸的引导部，导向件包括定位套，第一方向垂直于第二方向；定位总成包括第一定位组件和第二定位组件，第一定位组件和第二定位组件均与引导部沿第二方向可移动连接，也就是说，当定位总成处于第一状态下，第一定位组件与第二定位组件均能够相对于引导部沿第二方向移动；当定位总成处于第二状态下，第一定位组件、第二定位组件与引导部保持相对固定，第一定位组件上设有定位销，定位销的轴线平行于第一方向，第二定位组件上设有第一定位面和辅助定位侧，第一定位面和辅助定位侧相交设置，定位套的轴线和定位销的轴线共同所在的平面垂直于第一定位面。在定位总成处于第一状态下，工作人员可以在显影机外对导向件、第一定位组件及第二定位组件之间的距离预调节至预设尺寸，操作方便，不会受到显影机结构紧凑的限制；当定位总成调节至第二状态后，将定位套可转动连接于滑套，将定位销插接于中心孔，将缸体底面抵接于工作台，通过将外杯气缸的两个相邻的缸体侧面分别抵接至第一定位面和辅助定位侧，可快速完成待更换外杯气缸的定位，极大地提高了外杯气缸的更换效率，且上述定位过程普通人员即可完成，对工作人员的工作经验要求较低。
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1.一种涂胶显影设备用定位工装，用于定位涂胶显影设备的显影机的外杯气缸，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述导向件还包括与所述定位套相继分布的第一导柱，所述定位套背向所述第一导柱的一端设有套设孔，以套设于所述滑套。
3.根据权利要求2所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述定位套的侧壁螺纹连接有第一螺钉，所述定位套上用于连接所述第一螺钉的螺纹孔与所述套设孔相连通。
4.根据权利要求2所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述基座还包括第一架体，所述第一架体沿所述第一方向可移动连接于所述第一导柱，所述第一架体沿所述第二方向可移动连接于所述引导部。
5.根据权利要求4所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述引导部包括第二导柱，所述第一架体、所述第一定位组件和所述第二定位组件均设有连接孔，所述第一架体、所述第一定位组件和所述第二定位组件均通过相应的所述连接孔穿接于所述第二导柱。
6.根据权利要求5所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述辅助定位侧为所述第二导
7.根据权利要求6所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述第二导柱的个数为二，两个所述第二导柱沿第三方向间隔分布，所述第三方向同时垂直于所述第一方向和所述第二方向。
8.根据权利要求7所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，两个所述第二导柱之间的间距与待定位的所述外杯气缸的宽度相同。
9.根据权利要求1所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述第一定位组件上还设有第二定位面，以抵接至所述显影机的承载盘上表面，所述定位销凸设于所述第二定位面，所述第二定位面垂直于所述第一方向。
10.根据权利要求1所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述第一定位面位于所述第二定位组件背向所述第一定位组件的位置。
...【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影设备用定位工装，用于定位涂胶显影设备的显影机的外杯气缸，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述导向件还包括与所述定位套相继分布的第一导柱，所述定位套背向所述第一导柱的一端设有套设孔，以套设于所述滑套。
3.根据权利要求2所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述定位套的侧壁螺纹连接有第一螺钉，所述定位套上用于连接所述第一螺钉的螺纹孔与所述套设孔相连通。
4.根据权利要求2所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述基座还包括第一架体，所述第一架体沿所述第一方向可移动连接于所述第一导柱，所述第一架体沿所述第二方向可移动连接于所述引导部。
5.根据权利要求4所述的涂胶显影设备用定位工装，其特征在于，所述引导部包括第二导柱，所述第一架体、所述第一定位组件和所述第二定位组件均设有连接孔，所述第一架体、所述第一定位组件和所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：万晖，赵森，徐文杰，林晓晖，
申请(专利权)人：台积电中国有限公司，
类型：新型
国别省市：
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