【技术实现步骤摘要】
本技术涉及芯片封装设备，具体为一种惰性气体两孔手套箱。
技术介绍
1、手套箱主要由主箱体、过渡室两部分组成，主箱体上有两个或以上的手套操作接口，分布在箱体两侧，另外前后都有观察窗，方便使用者观察。另外过渡室有抽气和充气接嘴，在需要时进行接入。而国内手套箱多采用圆柱形传递箱或者是双传递箱，并没有真空烘箱，不利于产品进入手套箱前进行除水除氧，从而不适用于高可靠性要求的密封封装。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种惰性气体两孔手套箱，具备快速除水除氧的优点，解决了手套箱多采用圆柱形传递箱且没有真空烘箱，不利于产品进入手套箱前进行除水除氧的问题。
2、为实现上述快速除水除氧的目的，本技术提供如下技术方案：一种惰性气体两孔手套箱，包括手套箱支柱，所述手套箱支柱的顶部固定安装有手套箱主腔体，所述手套箱主腔体的左侧固定安装有真空烘箱，所述手套箱主腔体的右侧固定安装有传递箱，所述真空烘箱与传递箱的侧面均铰接有电磁锁门，所述电磁锁门的表面固定安装有门把手，所述手套箱主腔体左侧上方固定连通有转子流量计，所述转子流量计的表面和顶部分别固定安装有急停按钮和三色灯，所述手套箱主腔体的右侧上方固定安装有plc控制器，所述手套箱支柱的左侧固定安装有配电箱，所述配电箱的表面分别嵌设有总电源开关和温控表，所述真空烘箱与传递箱的背面分别固定安装有真空计、压力传感器和电磁阀，所述真空计的另一端固定连接有气动挡板阀a，所述压力传感器的另一端固定连接有气动挡板阀b，所述气动挡板阀a和气动挡板
3、优选的，所述手套箱支柱的底部四角分别固定安装有移动转轮、地脚和固定脚。
4、优选的，所述手套箱主腔体的顶部分别固定连通有kf法兰口a和kf法兰口b。
5、优选的，所述手套箱支柱的内侧支撑板上固定安装有气体减压阀，所述气体减压阀通过电磁阀分别与真空烘箱、传递箱连通。
6、优选的，所述手套箱主腔体右侧的后方固定安装有露点仪。
7、优选的，所述手套箱主腔体的背面固定安装有气体过滤器和气动挡板阀c，所述气体过滤器与转子流量计连通，所述转子流量计与气体减压阀连通。
8、优选的，所述手套箱主腔体的正面设置有两个手套通孔。
9、与现有技术相比，本技术提供了一种惰性气体两孔手套箱，具备以下有益效果：
10、惰性气源通过气体减压阀传输到设备的各个气动元件、真空烘箱和传递箱中；其中一条气源通过转子流量计进入到气体过滤器中，并进入手套箱主腔体中；通过不断地换气，从而使手套箱主腔体内达到一个无水、无氧的惰性气体环境；同时通过对真空烘箱中产品的加热烘烤和抽真空，使其中的物品所处环境与手套箱主腔体一致，这样物品在传入手套箱主腔体时不会破坏其环境并适合进行封焊、贴装或者回流焊接；在手套箱的双箱结构中，设计结构为方形，便于取放更大尺寸的物品，且增加了真空烘箱的设计，在传递器件或者产品进入手套箱的时候，通过真空烘箱进行烘烤和抽气，能较好去除产品表面吸附的气体和水汽，能更好的维持手套箱腔体内的气分。
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1.一种惰性气体两孔手套箱，包括手套箱支柱（14），其特征在于：所述手套箱支柱（14）的顶部固定安装有手套箱主腔体（21），所述手套箱主腔体（21）的左侧固定安装有真空烘箱（5），所述手套箱主腔体（21）的右侧固定安装有传递箱（17），所述真空烘箱（5）与传递箱（17）的侧面均铰接有电磁锁门（4），所述电磁锁门（4）的表面固定安装有门把手（16），所述手套箱主腔体（21）左侧上方固定连通有转子流量计（2），所述转子流量计（2）的表面和顶部分别固定安装有急停按钮（3）和三色灯（1），所述手套箱主腔体（21）的右侧上方固定安装有PLC控制器（18），所述手套箱支柱（14）的左侧固定安装有配电箱（6），所述配电箱（6）的表面分别嵌设有总电源开关（7）和温控表（9），所述真空烘箱（5）与传递箱（17）的背面分别固定安装有真空计（24）、压力传感器（25）和电磁阀（26），所述真空计（24）的另一端固定连接有气动挡板阀A（23），所述压力传感器（25）的另一端固定连接有气动挡板阀B（27），所述气动挡板阀A（23）和气动挡板阀B（27）的另一端均固定安装有波纹管（28），两个所述波纹管（2
2.根据权利要求1所述的一种惰性气体两孔手套箱，其特征在于：所述手套箱支柱（14）的底部四角分别固定安装有移动转轮（11）、地脚（12）和固定脚（13）。
3.根据权利要求1所述的一种惰性气体两孔手套箱，其特征在于：所述手套箱主腔体（21）的顶部分别固定连通有KF40法兰口A（19）和KF40法兰口B（20）。
4.根据权利要求1所述的一种惰性气体两孔手套箱，其特征在于：所述手套箱支柱（14）的内侧支撑板上固定安装有气体减压阀（10），所述气体减压阀（10）通过电磁阀（26）分别与真空烘箱（5）、传递箱（17）连通。
5.根据权利要求1所述的一种惰性气体两孔手套箱，其特征在于：所述手套箱主腔体（21）右侧的后方固定安装有露点仪（30）。
6.根据权利要求1所述的一种惰性气体两孔手套箱，其特征在于：所述手套箱主腔体（21）的背面固定安装有气体过滤器（22）和气动挡板阀C（29），所述气体过滤器（22）与转子流量计（2）连通，所述转子流量计（2）与气体减压阀（10）连通。
7.根据权利要求1所述的一种惰性气体两孔手套箱，其特征在于：所述手套箱主腔体（21）的正面设置有两个手套通孔。
...【技术特征摘要】
1.一种惰性气体两孔手套箱，包括手套箱支柱（14），其特征在于：所述手套箱支柱（14）的顶部固定安装有手套箱主腔体（21），所述手套箱主腔体（21）的左侧固定安装有真空烘箱（5），所述手套箱主腔体（21）的右侧固定安装有传递箱（17），所述真空烘箱（5）与传递箱（17）的侧面均铰接有电磁锁门（4），所述电磁锁门（4）的表面固定安装有门把手（16），所述手套箱主腔体（21）左侧上方固定连通有转子流量计（2），所述转子流量计（2）的表面和顶部分别固定安装有急停按钮（3）和三色灯（1），所述手套箱主腔体（21）的右侧上方固定安装有plc控制器（18），所述手套箱支柱（14）的左侧固定安装有配电箱（6），所述配电箱（6）的表面分别嵌设有总电源开关（7）和温控表（9），所述真空烘箱（5）与传递箱（17）的背面分别固定安装有真空计（24）、压力传感器（25）和电磁阀（26），所述真空计（24）的另一端固定连接有气动挡板阀a（23），所述压力传感器（25）的另一端固定连接有气动挡板阀b（27），所述气动挡板阀a（23）和气动挡板阀b（27）的另一端均固定安装有波纹管（28），两个所述波纹管（28）之间连通有不锈钢管道（15），所述真空烘箱（5）和传递箱（17）均通过不锈钢管道（15）...
【专利技术属性】
技术研发人员：田鹏康，
申请(专利权)人：中科光智重庆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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