【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，特别涉及一种用于晶圆清洗机的安装装置及清洗机安装方法。
技术介绍
1、晶圆清洗机是晶圆清洗的主要设备，晶圆清洗模组包括兆声清洗和清洗刷刷洗两种清洗单元，其中清洗刷刷洗单元至少具有两个平行设置的清洗刷，分别为支撑辊轮和驱动辊轮，清洗时晶圆片与清洗刷接触，通过清洗刷转动去除晶圆片上的脏污。
2、安装晶圆清洗机时，需要将清洗刷辊轮的两端分别安装在清洗机的安装片上。目前在实施安装的过程中，先直接将清洗机的轴承安装座固定在底板上，再将安装片安装在轴承安装座上，并不对安装片上的安装孔进行同轴度的校正。这就导致清洗刷不能同轴或者不能平行地安装在清洗机上，进而影响清洗机整体传动的稳定性和清洗刷驱动电机的使用寿命。
技术实现思路
1、为了解决现有技术中的至少一个技术问题，本专利技术实施例提供了一种用于晶圆清洗机的安装装置及清洗机安装方法。技术方案如下：
2、第一方面，本专利技术公开一种用于晶圆清洗机的安装装置，包括：
3、第一安装件，所述第一安装件设置在晶圆清洗机的底座的两端，与设置在所述底座两端的轴承座连接，所述第一安装件上开具有：安装槽，所述轴承座设置在所述安装槽中；
4、第二安装件，所述第二安装件设置在所述晶圆清洗机的电机安装片上，所述底座的两端分别设置有两个所述电机安装片，所述电机安装片与所述轴承座连接，所述电机安装片具有电机安装孔，所述第二安装件包括：主板和卡接板，所述卡接板设置在所述主板上，所述卡接板设置在所述电机
5、进一步地，所述第二安装件还包括：连接板，所述连接板与所述主板的顶端连接，设置在所述电机安装片的顶部。
6、进一步地，所述第一安装件还设置有：卡槽，所述卡槽设置在所述第一安装件的底部，所述第一安装件通过所述卡槽卡接在所述底座的端部上。
7、进一步地，所述底座两端的所述电机安装片之间设置连接主轴。
8、进一步地，所述轴承座包括：安装部和连接部，所述安装部和连接部垂直连接，所述安装部设置在所述第一安装件的所述安装槽中，所述连接部与所述电机安装片连接。
9、进一步地，所述晶圆清洗机还包括：固定座，所述固定座设置在所述底座的两端，所述轴承座设置在所述固定座上，所述轴承座具有腰形孔，所述轴承座通过所述腰形孔与所述固定座连接。
10、第二方面，本专利技术公开一种晶圆清洗机的安装方法，包括：
11、将第一安装件安装在晶圆清洗机的底座两端，所述第一安装件具有安装槽，将轴承座设置在安装槽中；
12、将所述晶圆清洗机的电机安装片预安装在所述轴承座上，所述底座的两端分别设置两个所述电机安装片，拆除所述底座两端的所述第一安装件；
13、将第二安装件安装在所述电机安装片的顶部，所述电机安装件上具有电机安装孔，所述第二安装件包括：主板和卡接板，所述卡接板设置在所述主板上，将所述卡接板设置在所述电机安装孔中，使所述卡接板与所述电机安装孔紧密贴合，所述主板的顶端与所述电机安装片的顶端对齐设置；
14、将所述电机安装片固定安装在所述轴承座上，拆除所述第二安装件。
15、进一步地，所述第二安装件还包括：连接板，所述方法还包括：
16、将连接板安装在所述主板与所述电机安装片的顶端。
17、进一步地，在安装所述第二安装件之前，所述方法还包括：将晶圆清洗机的连接主轴安装在所述底座两端的所述电机安装片之间。
18、进一步地，所述方法还包括：
19、将所述晶圆清洗机的固定座设置在所述第一安装件的所述安装槽中，所述轴承座具有腰形孔，将所述轴承座通过所述腰形孔与所述固定座连接。
20、本专利技术实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：
21、1、本专利技术公开的用于晶圆清洗机的安装装置，通过第一安装件限制轴承座的位置，确保底座两侧的电机安装片的安装位置相对，通过第二安装件保证位于底座同侧的电机安装片的安装位置的平行度，可在晶圆清洗机安装的过程中实现电机安装片同轴度的校准。
22、2、通过本专利技术实施例公开的晶圆清洗机的安装方法，可在安装过程中实现电机安装片的同轴度校准，避免后续在安装清洗刷时发生倾斜的问题，保证晶圆清洗效果。
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1.一种用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，所述第二安装件还包括：连接板，所述连接板与所述主板的顶端连接，设置在所述电机安装片的顶部。
3.如权利要求1所述的用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，所述第一安装件还设置有：卡槽，所述卡槽设置在所述第一安装件的底部，所述第一安装件通过所述卡槽卡接在所述底座的端部上。
4.如权利要求1所述的用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，所述底座两端的所述电机安装片之间设置连接主轴。
5.如权利要求1所述的用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，所述轴承座包括：安装部和连接部，所述安装部和连接部垂直连接，所述安装部设置在所述第一安装件的所述安装槽中，所述连接部与所述电机安装片连接。
6.如权利要求5所述的用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，所述晶圆清洗机还包括：固定座，所述固定座设置在所述底座的两端，所述轴承座设置在所述固定座上，所述轴承座具有腰形孔，所述轴承座通过所述腰形孔与所述固定座连接。
7.一种晶圆
8.如权利要求7所述的晶圆清洗机的安装方法，其特征在于，所述第二安装件还包括：连接板，所述方法还包括：
9.如权利要求7所述的晶圆清洗机的安装方法，其特征在于，在安装所述第二安装件之前，所述方法还包括：将晶圆清洗机的连接主轴安装在所述底座两端的所述电机安装片之间。
10.如权利要求7所述的晶圆清洗机的安装方法，其特征在于，所述方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，所述第二安装件还包括：连接板，所述连接板与所述主板的顶端连接，设置在所述电机安装片的顶部。
3.如权利要求1所述的用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，所述第一安装件还设置有：卡槽，所述卡槽设置在所述第一安装件的底部，所述第一安装件通过所述卡槽卡接在所述底座的端部上。
4.如权利要求1所述的用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，所述底座两端的所述电机安装片之间设置连接主轴。
5.如权利要求1所述的用于晶圆清洗机的安装装置，其特征在于，所述轴承座包括：安装部和连接部，所述安装部和连接部垂直连接，所述安装部设置在所述第一安装件的所述安装槽中...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯益锋，李峰，周昌，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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