【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，具体而言，涉及一种纳米针组件及光罩微粒去除装置。
技术介绍
1、在高阶光罩的制作过程中，会有顽固性微粒出现影响图形，往往这种顽固性微粒在清洗和高阶电子束修正机修正中无法去除。目前，采用机械原子力的方法使顽固性微粒附着性降低，即利用纳米针沿水平方向移动、以推动微粒相对于光罩移动，从而减小微粒对光罩的附着性，再进行清洗的方式进行移除。
2、现有技术中，刮除后的顽固颗粒黏附在纳米针针尖部分，需要进行及时清洁，在清洁时需要移动纳米针至清洁区进行纳米针清洁，清洁步骤较为繁琐。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种纳米针组件及光罩微粒去除装置，其能够简化纳米针的清洁步骤。
2、本申请的实施例是这样实现的：
3、本申请实施例的一方面，提供一种纳米针组件，包括驱动件和多个呈线阵排布的纳米去污件，每个所述纳米去污件包括套筒以及设置于所述套筒相对两端的纳米针和清洁件，所述驱动件用于将所述线阵前端的纳米去污件搬运至所述线阵尾端，以在所述线阵尾端通过一个所述纳米去污件的清洁件对相邻的另一所述纳米去污件的纳米针清洁。
4、可选地，作为一种可实施的方式，还包括滑套，所述纳米去污件呈线阵排布在所述滑套内，所述驱动件将所述滑套前端的纳米去污件搬运至所述滑套尾端。
5、可选地，作为一种可实施的方式，所述滑套朝向纳米针的一端设置有橡胶限位件。
6、可选地，作为一种可实施的方式，所述滑套内壁设置弹性卡凸，所述弹性卡凸对所述滑
7、可选地，作为一种可实施的方式，所述套筒包括相互连接的第一管体和第二管体，所述纳米针设置在所述第二管体远离所述第一管体的一端，所述清洁件设置在所述第一管体内的容置腔室内，所述第一管体的内径大于或等于所述第二管体的外径。
8、可选地，作为一种可实施的方式，所述清洁件由聚氨酯橡胶制成。
9、可选地，作为一种可实施的方式，所述纳米针为锥形纳米针，所述锥形纳米针远离针尖的一端与所述套筒连接。
10、本申请实施例的另一方面，提供一种光罩微粒去除装置，包括承载台、扫描电子显微镜、驱动机构以及如上任意一项所述的纳米针组件，所述承载台用于承载待去微粒的光罩，所述扫描电子显微镜用于扫描所述光罩并确定所述光罩上微粒的位置，所述驱动机构与所述纳米针组件连接以驱动所述纳米针组件移动至所述微粒所在位置并粘连所述微粒。
11、可选地，作为一种可实施的方式，所述光罩微粒去除装置还包括控制器，所述控制器分别与所述扫描电子显微镜和所述驱动机构电连接。
12、可选地，作为一种可实施的方式，所述驱动机构上设置有夹臂，所述夹臂用于夹持所述纳米针组件。
13、本申请实施例的有益效果包括：
14、本申请提供的纳米针组件及光罩微粒去除装置，包括驱动件和多个呈线阵排布的纳米去污件，每个纳米去污件包括套筒以及设置于套筒相对两端的纳米针和清洁件，驱动件用于将线阵前端的纳米去污件搬运至线阵尾端，以在线阵尾端通过一个纳米去污件的清洁件对相邻的另一纳米去污件的纳米针清洁。通过相邻两纳米去污件进行首位清洁，以保证以简化纳米针的清洁步骤，同时节省了更换纳米针的时间，从而能够提高光罩微粒的清洁效率。
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1.一种纳米针组件，其特征在于，包括驱动件和多个呈线阵排布的纳米去污件，每个所述纳米去污件包括套筒以及设置于所述套筒相对两端的纳米针和清洁件，所述驱动件用于将所述线阵前端的所述纳米去污件搬运至所述线阵尾端，以在所述线阵尾端通过一个所述纳米去污件的清洁件对相邻的另一所述纳米去污件的纳米针清洁。
2.根据权利要求1所述的纳米针组件，其特征在于，还包括滑套，所述纳米去污件呈线阵排布在所述滑套内，所述驱动件将所述滑套前端的纳米去污件搬运至所述滑套尾端。
3.根据权利要求2所述的纳米针组件，其特征在于，所述滑套朝向纳米针的一端设置有橡胶限位件。
4.根据权利要求2所述的纳米针组件，其特征在于，所述滑套内壁设置弹性卡凸，所述弹性卡凸对所述滑套内的所述纳米去污件限位卡持。
5.根据权利要求1所述的纳米针组件，其特征在于，所述套筒包括相互连接的第一管体和第二管体，所述纳米针设置在所述第二管体远离所述第一管体的一端，所述清洁件设置在所述第一管体内的容置腔室内，所述第一管体的内径大于或等于所述第二管体的外径。
6.根据权利要求1所述的纳米针
7.根据权利要求1所述的纳米针组件，其特征在于，所述纳米针为锥形纳米针，所述锥形纳米针远离针尖的一端与所述套筒连接。
8.一种光罩微粒去除装置，其特征在于，包括承载台、扫描电子显微镜、驱动机构以及权利要求1-7任意一项所述的纳米针组件，所述承载台用于承载待去微粒的光罩，所述扫描电子显微镜用于扫描所述光罩并确定所述光罩上微粒的位置，所述驱动机构与所述纳米针组件连接以驱动所述纳米针组件移动至所述微粒所在位置并粘连所述微粒。
9.根据权利要求8所述的光罩微粒去除装置，其特征在于，所述光罩微粒去除装置还包括控制器，所述控制器分别与所述扫描电子显微镜和所述驱动机构电连接。
10.根据权利要求9所述的光罩微粒去除装置，其特征在于，所述驱动机构上设置有夹臂，所述夹臂用于夹持所述纳米针组件。
...【技术特征摘要】
1.一种纳米针组件，其特征在于，包括驱动件和多个呈线阵排布的纳米去污件，每个所述纳米去污件包括套筒以及设置于所述套筒相对两端的纳米针和清洁件，所述驱动件用于将所述线阵前端的所述纳米去污件搬运至所述线阵尾端，以在所述线阵尾端通过一个所述纳米去污件的清洁件对相邻的另一所述纳米去污件的纳米针清洁。
2.根据权利要求1所述的纳米针组件，其特征在于，还包括滑套，所述纳米去污件呈线阵排布在所述滑套内，所述驱动件将所述滑套前端的纳米去污件搬运至所述滑套尾端。
3.根据权利要求2所述的纳米针组件，其特征在于，所述滑套朝向纳米针的一端设置有橡胶限位件。
4.根据权利要求2所述的纳米针组件，其特征在于，所述滑套内壁设置弹性卡凸，所述弹性卡凸对所述滑套内的所述纳米去污件限位卡持。
5.根据权利要求1所述的纳米针组件，其特征在于，所述套筒包括相互连接的第一管体和第二管体，所述纳米针设置在所述第二管体远离所述第一管体的一端，所述清洁件设置在所述第一管体内...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵金株，王梅侠，廖英哲，高翌，陈亚苓，
申请(专利权)人：泉意光罩光电科技济南有限公司，
类型：新型
国别省市：
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