System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种半导体化学品药液桶清洗装置制造方法及图纸_技高网

一种半导体化学品药液桶清洗装置制造方法及图纸

技术编号:42924705 阅读:2 留言:0更新日期:2024-10-11 15:50
本发明专利技术属于化工设备清洗技术领域,且公开了一种半导体化学品药液桶清洗装置,包括机壳、夹紧运输结构、内部清洗结构、外部清洁结构和驱动结构。在本发明专利技术中,通过设置的夹紧运输结构和驱动结构的配合,在药液桶进入机壳内后,通过启动驱动电机,使驱动电机带动药液桶旋转,随后通过向清洁喷管内输入清洗液,使清洁喷管对药液桶的外表面进行冲刷,当冲刷完成后,使用转向伸缩杆使清洁喷管转动并远离药液桶,随后驱动多级伸缩杆使内部清洁结构,使内部清洁结构对药液桶的内壁进行冲刷与摩擦,以将药液桶内部的残留物进行清理,同时通过使药液桶被夹持并旋转也起到了防止其在冲刷过程中发生倾倒,进而导致无法被继续清理的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于化工设备清洗,具体为一种半导体化学品药液桶清洗装置


技术介绍

1、在半导体生产中,需要使用多种药液来进行辅助生产,而随着长时间的使用,化工桶会在桶内壁处聚集残留物,在药液存储时残留物会影响药液的化学品质和化学反应的效果,导致生产时的次品率上升,进而导致财产损失。现有对化学品药液桶进行清洗时,通常采用多种设备组合的方式来对药液桶的内外表面进行冲刷清理,在对化工桶内壁的残留物进行清理使,需要长时间冲刷,造成水资源浪费,同时因为使用传送带等装置使药液桶进行移动,在药液桶被冲刷时易发生偏移,导致药液桶倾倒,使之无法参与后续的清洗步骤,导致清洗效果差。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种半导体化学品药液桶清洗装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为了实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种半导体化学品药液桶清洗装置,包括机壳,所述机壳的侧面开设有开口,所述机壳的内底面固定连接有多级伸缩杆,所述机壳的顶面固定连接有伸缩端贯穿其顶面的下压伸缩杆,还包括:

3、夹紧运输结构,其包括滑动架和夹持架,所述夹持架的顶面滑动连接有多个中心对称的夹块,所述夹持架的外表面固定套接有齿圈,所述滑动架的内部滑动连接有对称的滑动块,所述滑动块的顶面固定连接有对称的连接臂,所述连接臂的另一端转动安装有转动环,所述夹持架的底面开设有环形滑槽,所述转动环位于所述环形滑槽内;

4、内部清洁结构,其包括空心柱和支架,所述空心柱的底端固定连接在所述多级伸缩杆的伸缩端顶部,所述空心柱的外表面开设有两组高度不同的铰接槽,所述铰接槽内铰接有弯杆,所述空心柱的外表面铰接有多个连杆,所述连杆朝向所述空心柱的侧面开设有铰接滑槽,所述弯杆的长端滑动连接在所述铰接滑槽内,所述连杆呈垂直状态时,所述弯杆的短端呈水平状态,所述空心柱的内部滑动套接有触发器,所述触发器向下移动并与所述弯杆的短端接触时使所述连杆呈水平状态。

5、优选地,还包括外部清洁结构,其包括旋转接头和清洁喷管,所述旋转接头固定连接在所述机壳与开口相邻的内侧面上,其输入口贯穿所述机壳并与外部的供液管相连,所述清洁喷管的底端固定连接在所述旋转接头的输出端,所述清洁喷管呈倒l形且朝向机壳中心的方向上固定连接有高压喷头,所述清洁喷管竖直端的外表面固定套接有旋转齿轮,所述机壳的内侧面开设有贯通的齿轮槽,所述旋转齿轮的齿牙位于所述齿轮槽内,所述齿轮槽的内部滑动连接有第一齿条,所述第一齿条与所述旋转齿轮啮合,所述机壳的外侧面固定连接有转向伸缩杆,其伸缩端固定连接在所述第一齿条的背面,所述转向伸缩杆完全伸出后所述旋转齿轮旋转90度。

6、优选地,还包括驱动结构,其包括固定连接在所述机壳远离开口的外侧面的驱动电机,其输出轴伸入所述机壳的内部并固定套接有第一斜齿轮,所述机壳的内部转动安装有转轴,所述转轴上固定套接有第二斜齿轮和驱动齿轮,所述第一斜齿轮和所述第二斜齿轮相互啮合,所述驱动齿轮在所述夹持架位于所述机壳内时与所述齿圈相互啮合。

7、优选地,所述夹持架的顶面开设有多个中心对称的第一滑槽,所述夹块的底部滑动连接在所述第一滑槽内,所述夹块底部的侧面与所述第一滑槽的内侧面之间弹性连接有第一弹簧,所述第一弹簧的弹力将所述夹块向所述夹持架的圆心方向移动,所述夹块的顶部开设有斜滑面,所述夹块朝向所述夹持架圆心的面固定连接有橡胶块。

8、优选地,所述空心柱的外表面固定连接有与一组所述铰接槽数量相同的管夹,所述管夹的内部套接有软管,所述软管的一端贯穿所述空心柱并与供液装置相连,高度处于上方的所述铰接槽所对应的所述支架远离所述空心柱的侧面开设有多个出液口,多个所述出液口与所述软管相通。

9、优选地,所述空心柱的顶端内表面开设有第二滑槽,所述触发器的外表面固定套接有圆环,所述圆环滑动连接在所述第二滑槽内,所述圆环的底面与所述第二滑槽的底面之间弹性连接有第二弹簧,所述触发器的底面固定连接有多个中心对称的底块,所述触发器的侧面开设有多个中心对称的第一凹槽,所述触发器与所述底块的侧面开设有相连的挤压槽。

10、优选地,所述空心柱的内侧面滑动连接有贯穿所述空心柱的压杆,所述压杆伸出所述空心柱的外表面位于所述管夹内,所述压杆位于所述空心柱内部的一端转动安装有滚轮,所述压杆处于所述空心柱内的外表面活动套接有第三弹簧,所述第三弹簧将所述压杆向所述空心柱的内部推动,所述触发器向下移动时,所述滚轮与所述挤压槽的内侧面接触。

11、优选地,所述触发器的内部滑动连接有滑动杆,所述滑动杆的外表面活动套接有第四弹簧,所述第四弹簧带动所述滑动杆向上移动,所述滑动杆的底面固定连接有多个压板,所述压板的外侧面开设有斜滑面,所述底块的相对面均开设有横向滑槽,两个横向滑槽滑动连接有触发块,所述触发块顶面开设有斜槽,所述斜槽与所述压板的斜滑面相对应,所述横向滑槽的内部设置有第五弹簧,所述第五弹簧将所述触发块向所述滑动杆的方向推动。

12、优选地,所述触发器的外表面固定套接有底面清洁刷,所述底面清洁刷的刷毛长度大于所述滑动杆伸出所述触发器的长度,所述空心柱的外表面固定连接有两个磁铁环,所述连杆的侧面固定连接有磁铁块,所述连杆呈垂直状态时,所述磁铁块吸合在所述磁铁环的侧面。

13、优选地,所述支架靠近所述连杆的侧面开设有下压滑槽,所述下压滑槽的内部滑动连接有铰接滑块,所述连杆与所述铰接滑块铰接,所述铰接滑块的底面与所述下压滑槽的内底面之间弹性连接有第六弹簧。

14、本专利技术的有益效果如下:

15、1、在本专利技术中,通过设置的夹紧运输结构和驱动结构的配合,在药液桶进入机壳内后,通过启动驱动电机,使驱动电机带动药液桶旋转,随后通过向清洁喷管内输入清洗液,使清洁喷管对药液桶的外表面进行冲刷,当冲刷完成后,使用转向伸缩杆使清洁喷管转动并远离药液桶,随后驱动多级伸缩杆使内部清洁结构,使内部清洁结构对药液桶的内壁进行冲刷与摩擦,以将药液桶内部的残留物进行清理,同时通过使药液桶被夹持并旋转也起到了防止其在冲刷过程中发生倾倒,进而导致无法被继续清理的问题。

16、2、本专利技术通过设置的内部清洁结构,通过使用多级伸缩杆控制空心柱向上移动,当底面清洁刷与药液桶的底面接触后会对其进行清洁,随着空心柱的继续上升,触发器被向下推动,进而带动上方的弯杆转动,进而使与其对应的支架靠近药液桶的内壁,随着向软管提供清洗液,清洗液从出液口喷出,并对药液桶的内壁进行冲刷,且通过在出液口附近设置刷毛,可以在冲刷的同时对内壁进行摩擦清洁,提高清洁效果,在冲刷完成后,继续控制空心柱上升,使触发器下移,进而使触发器驱动下方的弯杆转动,使与其相对应的支架靠近药液桶的内壁并对其进行刮擦,以将残留物和清洗液进行刮除,此时上方的弯杆以及与之对应的支架回缩并贴合在空心柱的外侧面,在刮擦完成后,使多级伸缩杆回缩,此时触发器会在第二弹簧的驱动下自动复位。

17、3、本专利技术通过设置的滑动杆以及触发块,在触发器被下压时,滑动杆同步下压本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体化学品药液桶清洗装置,包括机壳(1),所述机壳(1)的侧面开设有开口,所述机壳(1)的内底面固定连接有多级伸缩杆(11),所述机壳(1)的顶面固定连接有伸缩端贯穿其顶面的下压伸缩杆(12),其特征在于,还包括:

2.根据权利要求1所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:还包括外部清洁结构(4),其包括旋转接头(41)和清洁喷管(42),所述旋转接头(41)固定连接在所述机壳(1)与开口相邻的内侧面上,其输入口贯穿所述机壳(1)并与外部的供液管相连,所述清洁喷管(42)的底端固定连接在所述旋转接头(41)的输出端,所述清洁喷管(42)呈倒L形且朝向机壳(1)中心的方向上固定连接有高压喷头,所述清洁喷管(42)竖直端的外表面固定套接有旋转齿轮(43),所述机壳(1)的内侧面开设有贯通的齿轮槽(13),所述旋转齿轮(43)的齿牙位于所述齿轮槽(13)内,所述齿轮槽(13)的内部滑动连接有第一齿条(44),所述第一齿条(44)与所述旋转齿轮(43)啮合,所述机壳(1)的外侧面固定连接有转向伸缩杆(45),其伸缩端固定连接在所述第一齿条(44)的背面,所述转向伸缩杆(45)完全伸出后所述旋转齿轮(43)旋转90度。

3.根据权利要求2所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:还包括驱动结构(5),其包括固定连接在所述机壳(1)远离开口的外侧面的驱动电机(51),其输出轴伸入所述机壳(1)的内部并固定套接有第一斜齿轮(53),所述机壳(1)的内部转动安装有转轴(52),所述转轴(52)上固定套接有第二斜齿轮(54)和驱动齿轮(55),所述第一斜齿轮(53)和所述第二斜齿轮(54)相互啮合,所述驱动齿轮(55)在所述夹持架(25)位于所述机壳(1)内时与所述齿圈(26)相互啮合。

4.根据权利要求3所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:所述夹持架(25)的顶面开设有多个中心对称的第一滑槽(210),所述夹块(28)的底部滑动连接在所述第一滑槽(210)内,所述夹块(28)底部的侧面与所述第一滑槽(210)的内侧面之间弹性连接有第一弹簧(211),所述第一弹簧(211)的弹力将所述夹块(28)向所述夹持架(25)的圆心方向移动,所述夹块(28)的顶部开设有斜滑面,所述夹块(28)朝向所述夹持架(25)圆心的面固定连接有橡胶块(29)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:所述空心柱(31)的外表面固定连接有与一组所述铰接槽(32)数量相同的管夹(312),所述管夹(312)的内部套接有软管(36),所述软管(36)的一端贯穿所述空心柱(31)并与供液装置相连,高度处于上方的所述铰接槽(32)所对应的所述支架(35)远离所述空心柱(31)的侧面开设有多个出液口(37),多个所述出液口(37)与所述软管(36)相通。

6.根据权利要求5所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:所述空心柱(31)的顶端内表面开设有第二滑槽(311),所述触发器(38)的外表面固定套接有圆环(316),所述圆环(316)滑动连接在所述第二滑槽(311)内,所述圆环(316)的底面与所述第二滑槽(311)的底面之间弹性连接有第二弹簧(39),所述触发器(38)的底面固定连接有多个中心对称的底块(321),所述触发器(38)的侧面开设有多个中心对称的第一凹槽(317),所述触发器(38)与所述底块(321)的侧面开设有相连的挤压槽(322)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:所述空心柱(31)的内侧面滑动连接有贯穿所述空心柱(31)的压杆(313),所述压杆(313)伸出所述空心柱(31)的外表面位于所述管夹(312)内,所述压杆(313)位于所述空心柱(31)内部的一端转动安装有滚轮(315),所述压杆(313)处于所述空心柱(31)内的外表面活动套接有第三弹簧(314),所述第三弹簧(314)将所述压杆(313)向所述空心柱(31)的内部推动,所述触发器(38)向下移动时,所述滚轮(315)与所述挤压槽(322)的内侧面接触。

8.根据权利要求7所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:所述触发器(38)的内部滑动连接有滑动杆(318),所述滑动杆(318)的外表面活动套接有第四弹簧(319),所述第四弹簧(319)带动所述滑动杆(318)向上移动,所述滑动杆(318)的底面固定连接有多个压板(320),所述压板(320)的外侧面开设有斜滑面,所述底块(321)的相对面均开设有横向滑槽(323),两个横向滑槽(323)滑动连接有触发块(324),所述触...

【技术特征摘要】

1.一种半导体化学品药液桶清洗装置,包括机壳(1),所述机壳(1)的侧面开设有开口,所述机壳(1)的内底面固定连接有多级伸缩杆(11),所述机壳(1)的顶面固定连接有伸缩端贯穿其顶面的下压伸缩杆(12),其特征在于,还包括:

2.根据权利要求1所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:还包括外部清洁结构(4),其包括旋转接头(41)和清洁喷管(42),所述旋转接头(41)固定连接在所述机壳(1)与开口相邻的内侧面上,其输入口贯穿所述机壳(1)并与外部的供液管相连,所述清洁喷管(42)的底端固定连接在所述旋转接头(41)的输出端,所述清洁喷管(42)呈倒l形且朝向机壳(1)中心的方向上固定连接有高压喷头,所述清洁喷管(42)竖直端的外表面固定套接有旋转齿轮(43),所述机壳(1)的内侧面开设有贯通的齿轮槽(13),所述旋转齿轮(43)的齿牙位于所述齿轮槽(13)内,所述齿轮槽(13)的内部滑动连接有第一齿条(44),所述第一齿条(44)与所述旋转齿轮(43)啮合,所述机壳(1)的外侧面固定连接有转向伸缩杆(45),其伸缩端固定连接在所述第一齿条(44)的背面,所述转向伸缩杆(45)完全伸出后所述旋转齿轮(43)旋转90度。

3.根据权利要求2所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:还包括驱动结构(5),其包括固定连接在所述机壳(1)远离开口的外侧面的驱动电机(51),其输出轴伸入所述机壳(1)的内部并固定套接有第一斜齿轮(53),所述机壳(1)的内部转动安装有转轴(52),所述转轴(52)上固定套接有第二斜齿轮(54)和驱动齿轮(55),所述第一斜齿轮(53)和所述第二斜齿轮(54)相互啮合,所述驱动齿轮(55)在所述夹持架(25)位于所述机壳(1)内时与所述齿圈(26)相互啮合。

4.根据权利要求3所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:所述夹持架(25)的顶面开设有多个中心对称的第一滑槽(210),所述夹块(28)的底部滑动连接在所述第一滑槽(210)内,所述夹块(28)底部的侧面与所述第一滑槽(210)的内侧面之间弹性连接有第一弹簧(211),所述第一弹簧(211)的弹力将所述夹块(28)向所述夹持架(25)的圆心方向移动,所述夹块(28)的顶部开设有斜滑面,所述夹块(28)朝向所述夹持架(25)圆心的面固定连接有橡胶块(29)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体化学品药液桶清洗装置,其特征在于:所述空心柱(31)的外表面固定连接有与一组所述铰接槽(32)数量相同的管夹(312),所述管夹(312)的内部套接有软管(36),所述软管(36)的一端贯穿所述空心柱(31)并与供液装置相连,高度处于上方的所述铰接槽(32)所对应的所述支架(35)远离所述空心柱(31)的侧面开设有多个出液口(37),多个所述出液口(37)与所述软管(36)相通。

6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙伟伟马雨任阳阳
申请(专利权)人:苏州冠礼科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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