System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种芯片成品检测系统及其多工位视觉检测机构技术方案_技高网

一种芯片成品检测系统及其多工位视觉检测机构技术方案

技术编号:42921058 阅读:11 留言:0更新日期:2024-10-11 15:48
本发明专利技术涉及一种外观检测设备,公开了一种芯片成品检测系统及其多工位视觉检测机构,其包括正面检测机构和反面检测机构,正面检测机构包括正面2D视觉检测模组(11),反面检测机构包括呈直线型的反面检测线,反面检测线上依次间隔设置有反面2D视觉检测模组(12)、反面3D视觉检测模组(13)以及反面5S视觉检测模组(14)。本发明专利技术提供了一种芯片成品检测系统及其多工位视觉检测机构,其通过在多个工位设置不同的视觉检测模组,能够有效实现对芯片成品多种缺陷进行多方位检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种外观检测设备,尤其涉及了一种芯片成品检测系统及其多工位视觉检测机构


技术介绍

1、片产品在出厂前,需要进行外观检测以保证出厂品质、功能验收一体化,继而保证设备可靠度达标后发货。

2、常见的芯片产品检测需要对芯片产品表面裂痕,划痕和粘胶、芯片引脚、字符印字等缺陷检测,提供一种能够对芯片成品多种缺陷进行多方位检测的机构是本领域持续需要解决的技术问题。


技术实现思路

1、本专利技术针对现有技术中芯片产品检测过程中如何实现对芯片成品多种缺陷进行多方位检测的问题,提供了一种芯片成品多工位视觉检测机构。

2、为了解决上述技术问题,本专利技术通过下述技术方案得以解决:

3、多工位视觉检测机构,包括正面检测机构和反面检测机构,正面检测机构包括正面2d视觉检测模组,正面2d视觉检测模组包括正面检测相机;反面检测机构包括呈直线型的反面检测线,反面检测线上依次间隔设置有反面2d视觉检测模组、反面3d视觉检测模组以及反面5s视觉检测模组,反面2d视觉检测模组包括第一反面检测相机、反面3d视觉检测模组包括3d激光轮廓仪,反面5s视觉检测模组包括反射棱镜和设置于反射棱镜下部的第二反面检测相机。

4、作为优选,反面检测机构还包括反面取放料模组,反面取放料模组包括能够在水平方向上沿反面检测线长度方向运动且能够在竖直方向上运动的吸嘴组件,吸嘴组件包括多个间隔均匀且呈直线排列的吸嘴。通过多个直线排列的吸嘴组件来实现对工件的整排吸取,能够有效提高检测效率。

5、作为优选,反面取放料模组包括取放料机架,取放料机架的上部设有长度方向沿反面检测线长度方向设置的第一水平直线电机,反面2d视觉检测模组、反面3d视觉检测模组以及反面5s视觉检测模组均设置于取放料机架下部且位于第一水平直线电机下方;第一水平直线电机的动子座上安装有用于驱动吸嘴组件在竖直方向上运动的吸嘴组件竖直驱动机构。

6、作为优选,吸嘴组件包括吸嘴安装板和与多个吸嘴一一对应的吸嘴安装组件,吸嘴安装板上安装有多动子直线电机,多个吸嘴安装组件一一对应的安装于多动子直线电机的动子座上;吸嘴安装组件包括安装在多动子直线电机的动子座上的连接座、固定在连接座上的导向块以及用于安装吸嘴的吸嘴安装座,导向块内滑动连接有竖向设置且两端均伸出导向块的滑动气管,滑动气管的上端部构成第一气口,下端部连接于吸嘴安装座处且能够与吸嘴连通,滑动气管外套设有上下两端分别抵靠在导向块和吸嘴安装座上的缓冲弹簧。缓冲弹簧和导向块的设置能够有效起到导向和缓冲作用,使得吸嘴在与芯片接触时对物料产生损伤。

7、作为优选,吸嘴安装座包括相互扣合的上安装座和下安装座,滑动气管下端部连接于上安装座处,上安装座内部构成有与滑动气管连通的过气通道且过气通道底部构成第二气口,吸嘴安装于下安装座的下端部,下安装座上端面处设有于吸嘴连通的第三气口,上安装座和下安装座相互扣合时第二气口与第三气口抵紧对接。相互扣合的上安装座和下安装座将吸嘴安装座设计成可拆分的两个部分,实现具有更高的兼容性,使其能够快速装配不同型号的吸嘴,充分灵活的实现对不同场景不同需求的替换。

8、作为优选,上安装座包括安装座壳体和设置于安装座壳体内部的气管连接块,安装座壳体与气管连接块在纵向上相互限位,横向上能够相对滑动;滑动气管下端部连接于气管连接块处且过气通道设置于气管连接块内部,下安装座上端部设有l型勾槽,l型勾槽包括竖向插入部和横向扣合部,安装座壳体下端部设有能够自竖向插入部伸入l型勾槽并扣合在横向扣合部处的扣合勾,安装座壳体能够在水平方向上相对气管连接块运动且安装座壳体与气管连接块之间设有用于驱动扣合勾朝向横向扣合部运动的驱动弹簧。驱动弹簧的设置能够保上安装座与下安装座能够稳定扣合。

9、作为优选,气管连接块上设有横向设置的限位柱,下安装座上端面处设有开口向上且向下延伸的限位长槽,上安装座和下安装座相互扣合时限位柱卡入限位长槽内。限位长槽与限位柱的配合能够进一步保证上安装座与下安装座的连接稳定性,且保证第二气口与第三气口能够持续精准密封对齐。

10、作为优选,安装座壳体的侧面上设有卡槽,导向块上设有能够卡入卡槽的卡勾,卡勾转动连接在导向块上且导向块处设有用于驱动卡勾卡在卡槽内的卡勾弹簧。卡勾与卡槽的设置,能够实现对吸嘴选择性屏蔽,完成更加灵活的对物料进行吸取。

11、作为优选,正面2d视觉检测模组还包括用于实现正面检测相机在水平方向和竖直方向运动的正面2d相机移载模组,还包括设置于正面检测相机下方的第一光源;反面2d视觉检测模组还包括用于分别实现第一反面检测相机在水平方向和竖直方向上运动的第一直线驱动模组和第一相机调距模组,还包括设置于第一反面检测相机上方的第二光源;反面5s视觉检测模组还包括用于分别实现第二反面检测相机在水平方向和竖直方向上运动的第二直线驱动模组和第二相机调距模组;反面3d视觉检测模组还包括用于实现3d激光轮廓仪在水平方向上运动的第三直线驱动模组。通过光源、调距装置以及丝杠模组的设置能够使得相机更佳的对产品进行拍摄,以确保检测准确性和高效性。

12、一种芯片成品检测系统,其包括前述的多工位视觉检测机构。

13、本专利技术由于采用了以上技术方案,具有显著的技术效果:

14、本专利技术提供了一种芯片成品检测系统及其多工位视觉检测机构,其通过在多个工位设置不同的视觉检测模组,能够有效实现对芯片成品多种缺陷进行多方位检测。

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【技术保护点】

1.多工位视觉检测机构,包括正面检测机构和反面检测机构,其特征在于:正面检测机构包括正面2D视觉检测模组(11),正面2D视觉检测模组(11)包括正面检测相机(101);反面检测机构包括呈直线型的反面检测线,反面检测线上依次间隔设置有反面2D视觉检测模组(12)、反面3D视觉检测模组(13)以及反面5S视觉检测模组(14),反面2D视觉检测模组(12)包括第一反面检测相机(102)、反面3D视觉检测模组(13)包括3D激光轮廓仪(103),反面5S视觉检测模组(14)包括反射棱镜(104)和设置于反射棱镜(104)下部的第二反面检测相机(105)。

2.根据权利要求1所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:反面检测机构还包括反面取放料模组(15),反面取放料模组(15)包括能够在水平方向上沿反面检测线长度方向运动且能够在竖直方向上运动的吸嘴组件(16),吸嘴组件(16)包括多个间隔均匀且呈直线排列的吸嘴(106)。

3.根据权利要求2所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:反面取放料模组(15)包括取放料机架(107),取放料机架(107)的上部设有长度方向沿反面检测线长度方向设置的第一水平直线电机(108),反面2D视觉检测模组(12)、反面3D视觉检测模组(13)以及反面5S视觉检测模组(14)均设置于取放料机架(107)下部且位于第一水平直线电机(108)下方;第一水平直线电机(108)的动子座上安装有用于驱动吸嘴组件(16)在竖直方向上运动的吸嘴组件竖直驱动机构(17)。

4.根据权利要求2所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:吸嘴组件(16)包括吸嘴安装板(109)和与多个吸嘴(106)一一对应的吸嘴安装组件(110),吸嘴安装板(109)上安装有多动子直线电机(111),多个吸嘴安装组件(110)一一对应的安装于多动子直线电机(111)的动子座上;吸嘴安装组件(110)包括安装在多动子直线电机(111)的动子座上的连接座(112)、固定在连接座(112)上的导向块(113)以及用于安装吸嘴(106)的吸嘴安装座(114),导向块(113)内滑动连接有竖向设置且两端均伸出导向块(113)的滑动气管(115),滑动气管(115)的上端部构成第一气口(116),下端部连接于吸嘴安装座(114)处且能够与吸嘴(106)连通,滑动气管(115)外套设有上下两端分别抵靠在导向块(113)和吸嘴安装座(114)上的缓冲弹簧。

5.根据权利要求4所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:吸嘴安装座(114)包括相互扣合的上安装座(117)和下安装座(118),滑动气管(115)下端部连接于上安装座(117)处,上安装座(117)内部构成有与滑动气管(115)连通的过气通道且过气通道底部构成第二气口(119),吸嘴(106)安装于下安装座(118)的下端部,下安装座(118)上端面处设有于吸嘴(106)连通的第三气口(120),上安装座(117)和下安装座(118)相互扣合时第二气口(119)与第三气口(120)抵紧对接。

6.根据权利要求5所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:上安装座(117)包括安装座壳体(121)和设置于安装座壳体(121)内部的气管连接块(122),安装座壳体(121)与气管连接块(122)在纵向上相互限位,横向上能够相对滑动;

7.根据权利要求6所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:气管连接块(122)上设有横向设置的限位柱(128),下安装座(118)上端面处设有开口向上且向下延伸的限位长槽(129),上安装座(117)和下安装座(118)相互扣合时限位柱(128)卡入限位长槽(129)内。

8.根据权利要求6所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:安装座壳体(121)的侧面上设有卡槽(130),导向块(113)上设有能够卡入卡槽(130)的卡勾(131),卡勾(131)转动连接在导向块(113)上且导向块(113)处设有用于驱动卡勾(131)卡在卡槽(130)内的卡勾弹簧。

9.根据权利要求1所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:正面2D视觉检测模组(11)还包括用于实现正面检测相机(101)在水平方向和竖直方向运动的正面2D相机移载模组(132),还包括设置于正面检测相机(101)下方的第一光源(133);

10.一种芯片成品检测系统,其特征在于,其包括权利要求1-9任意一项所述的多工位视觉检测机构。

...

【技术特征摘要】

1.多工位视觉检测机构,包括正面检测机构和反面检测机构,其特征在于:正面检测机构包括正面2d视觉检测模组(11),正面2d视觉检测模组(11)包括正面检测相机(101);反面检测机构包括呈直线型的反面检测线,反面检测线上依次间隔设置有反面2d视觉检测模组(12)、反面3d视觉检测模组(13)以及反面5s视觉检测模组(14),反面2d视觉检测模组(12)包括第一反面检测相机(102)、反面3d视觉检测模组(13)包括3d激光轮廓仪(103),反面5s视觉检测模组(14)包括反射棱镜(104)和设置于反射棱镜(104)下部的第二反面检测相机(105)。

2.根据权利要求1所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:反面检测机构还包括反面取放料模组(15),反面取放料模组(15)包括能够在水平方向上沿反面检测线长度方向运动且能够在竖直方向上运动的吸嘴组件(16),吸嘴组件(16)包括多个间隔均匀且呈直线排列的吸嘴(106)。

3.根据权利要求2所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:反面取放料模组(15)包括取放料机架(107),取放料机架(107)的上部设有长度方向沿反面检测线长度方向设置的第一水平直线电机(108),反面2d视觉检测模组(12)、反面3d视觉检测模组(13)以及反面5s视觉检测模组(14)均设置于取放料机架(107)下部且位于第一水平直线电机(108)下方;第一水平直线电机(108)的动子座上安装有用于驱动吸嘴组件(16)在竖直方向上运动的吸嘴组件竖直驱动机构(17)。

4.根据权利要求2所述的多工位视觉检测机构,其特征在于:吸嘴组件(16)包括吸嘴安装板(109)和与多个吸嘴(106)一一对应的吸嘴安装组件(110),吸嘴安装板(109)上安装有多动子直线电机(111),多个吸嘴安装组件(110)一一对应的安装于多动子直线电机(111)的动子座上;吸嘴安装组件(110)包括安装在多动子直线电机(111)的动子座上的连接座(112)、固定在连接座(112)上的导向块(113)以及用于安装吸嘴(106)的吸嘴安装座(114),导向块(113)内滑动连接有竖向设置且两端均伸出导向块(113)的滑动气管(115),滑动气管(115...

【专利技术属性】
技术研发人员:王孟哲梁正南赖勉力李恩全刘文义
申请(专利权)人:宁波九纵智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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