【技术实现步骤摘要】
本申请涉及弹性波，特别涉及一种弹性波装置。
技术介绍
1、弹性波器件具有成本低、体积小和功能多等特点，在雷达、通信、导航等领域获得了广泛的应用。手机和基站通信中最常用的弹性波器件有弹性波谐振器、由多个弹性波谐振器组合而成的弹性波滤波器以及由多个弹性波滤波器组合而成的弹性波双工器和弹性波多工器。在任何类型的弹性波器件中，都在压电多层衬底上设置导电材料薄膜图形，以确定若干个叉指换能器(idt)电极，并且都利用idt电极的电信号转换成弹性波的转换功能的频率特性来获得带通特性。
2、移动通信系统正在从3g、4g向5g发展。5g通讯时代对弹性波滤波器高频率、高功率、大带宽、低损耗等性能提出了越来越苛刻的要求，使用频带则向3ghz以上的频带移动。传统的弹性波装置受制于压电体材料本身的限制，q值和耦合系数较低，不能充分满足移动通讯对器件高性能的要求。基于钽酸锂/铌酸锂压电薄膜的复合多层结构的弹性波装置集低插损、低温漂、大带宽、大功率等优点而备受关注。
3、弹性波滤波器作为频率源器件，通常存在由横向模式造成的杂散波，引起带内波动大，损耗大，即导致滤波器性能降低。业内通常采用不同加权形式的叉指换能器电极来抑制横向模式的产生。然而，这种方式存在以下缺陷：第一，器件本身会由于叉指换能器电极的加权而q值降低，增加弹性波滤波器的损耗，阻碍它在射频前端中的应用；第二，加权方式往往导致器件尺寸增大，阻碍器件小型化发展；第三，一部分加权方式工艺复杂会增加器件制备的难度。
技术实现思路
1、
2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案为：
3、第一方面，本申请提供了一种弹性波装置，包括：
4、石英基板，其水平剪切波曲率小于-4；
5、压电层，其设置在所述石英基板上，所述压电层的欧拉角为(0±2.5°，β±2.5°，0±2.5°)，且β满足90°≤β≤130°；以及
6、叉指换能器电极，其设置在所述压电层上。
7、在一种可能的实现方式中，所述石英基板的欧拉角为(0±2.5°，θ±2.5°，0±2.5°)的情况下，其欧拉角中的θ满足126°≤θ≤140°。
8、在一种可能的实现方式中，所述石英基板的欧拉角为(0±2.5°，θ±2.5°，90±2.5°)的情况下，其欧拉角中的θ满足135°≤θ≤150°。
9、在一种可能的实现方式中，所述叉指换能器电极的材料为铝，将弹性波的波长设为λ的前提下，所述叉指换能器电极的厚度h1满足0.01λ≤h1≤0.045λ。
10、在一种可能的实现方式中，所述叉指换能器电极的材料为铜，将弹性波的波长设为λ的前提下，所述叉指换能器电极的厚度h2满足0.01λ≤h2≤0.02λ。
11、在一种可能的实现方式中，所述叉指换能器电极的材料为除铝、铜以外的其他金属，将电极密度设为ρ3，铝的密度设为ρ1，铜的密度设为ρ2的前提下，所述叉指换能器电极的厚度h3满足h3＝h1ρ1/ρ3或h3＝h2ρ2/ρ3。
12、在一种可能的实现方式中，所述压电层为铌酸锂。
13、在一种可能的实现方式中，在将弹性波的波长设为λ的前提下，所述压电层的厚度hln满足0.05λ≤hln≤0.15λ。
14、在一种可能的实现方式中，在所述石英基板中声传播的声速比在所述压电层中声传播的声速高。
15、在一种可能的实现方式中，所述叉指换能器电极由一种或多种金属材料薄膜层叠而成。
16、在一种可能的实现方式中，所述叉指换能器电极的沿弹性波传播方向的两侧还具有反射器电极。
17、第二方面，本申请提供了一种滤波器装置，包括：
18、串联臂谐振器；以及
19、并联臂谐振器；
20、其中，所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器之中的至少一个谐振器是如上所述的弹性波装置。
21、第三方面，本申请提供了一种多工器，包括：
22、天线端子，其与天线连接；以及
23、多个滤波器装置，公共连接于所述天线端子；
24、其中，至少一个所述滤波器装置是如上所述的滤波器装置。
25、本申请提供的技术方案带来的有益效果至少包括：
26、通过设置水平剪切波曲率小于-4的石英基板、设置在石英基板上的压电层、以及设置在压电层上叉指换能器电极；其中，压电层的欧拉角为(0±2.5°，β±2.5°，0±2.5°)，且β满足90°≤β≤130°。在此情况下，通过石英基板作为支承基板，实现了一种能够抑制本征横向模式的大带宽的弹性波装置。
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1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
7.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
9.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
10.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
11.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
12.一种滤波器装置，包括：
13.一种多工器，包括：
【技术特征摘要】
1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于：
7.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：傅肃磊，俞振一，李壮，孙昭苏，许志斌，王为标，刘平，
申请(专利权)人：无锡市好达电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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