划片机及主轴防漏水结构制造技术

本技术揭示了划片机及主轴防漏水结构，其中划片机包括划切箱及主轴，所述主轴可沿其轴向移动地穿设在密封组件上且所述主轴的外壁与所述密封组件密封连接，所述密封组件可相对密封板上下移动地设置在密封板上，所述密封板固定在所述划切箱内的防水板上。本技术使主轴密封连接在密封组件上，使密封组件跟随主轴上下滑动，在主轴沿轴向移动时，主轴上的积液能够被密封组件阻挡而无法流出道划切箱外，能够避免主轴向划切箱外部移动时其上的积液流到划切箱外出现漏水的问题，极大地改善了设备的电气安全，有利于设备稳定、安全的工作。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及划切设备领域，尤其是划片机及主轴防漏水结构。

技术介绍

1、划片机是用于晶圆等半导体器件划切的设备。

2、申请公开号为cn114074380a的专利技术专利申请揭示了一种划片装置。其主轴由划切箱外伸入到划切箱内且需要沿其轴向移动及上下移动以进行划切，为了使主轴能够上下移动，划切机的后背板上会开设条形的避让孔以供主轴移动。

3、但是，在划切过程中，会通过喷水罩向刀片及工件喷水，加工时的水雾以及主轴上的积水会通过避让孔流出到划切箱外，影响电气设备安全稳定的运行。

技术实现思路

1、本技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种划片机及主轴防漏水结构。

2、本技术的目的通过以下技术方案来实现：

3、划片机，包括划切箱及主轴，所述主轴可沿其轴向移动地穿设在密封组件上且所述主轴的外壁与所述密封组件密封连接，所述密封组件可相对密封板上下移动地设置在密封板上，所述密封板固定在所述划切箱内的防水板上。

4、优选的，所述划片机中，所述划切箱包括箱体及设置在所述箱体上的推拉门，所述推拉门的门扇为透明件。

5、优选的，所述划片机中，所述密封组件包括供所述主轴穿过的穿孔，所述穿孔处设置有与所述主轴密封连接的密封圈。

6、优选的，所述划片机中，所述密封组件包括固定为一体的第一板件和第二板件，所述第一板件和第二板件之间夹设有所述密封圈。

7、优选的，所述划片机中，所述密封圈为橡胶密封圈。>

8、优选的，所述划片机中，所述密封板包括第一挡板及第二挡板，所述第一挡板和第二挡板围合成一供所述密封组件上下移动的滑动空间，位于所述滑动空间内的密封组件不可沿所述主轴的轴向移动。

9、优选的，所述划片机中，所述第一挡板为u形，所述第二挡板包括主板，所述主板上设置有供所述主轴上下移动的避让孔，所述密封组件遮盖所述避让孔，所述主板朝向所述第一挡板的侧面边缘设置有挡条，所述挡条包括设置在所述主板一条长侧边处的第一凸条及设置在所述主板另一条长侧边处的第二凸条及第三凸条，所述第二凸条和第三凸条之间的间隙形成供所述密封组件进出所述滑动空间的进出口。

10、主轴防漏水结构，包括主轴，所述主轴可沿其轴向移动地穿设在一密封组件上且所述主轴与所述密封组件密封连接，所述密封组件可相对密封板上下移动地设置在密封板上，所述密封板固定在划切箱内的防水板上。

11、本技术技术方案的优点主要体现在：

12、本技术使主轴密封连接在密封组件上，使密封组件跟随主轴上下滑动，在主轴沿轴向移动时，主轴上的积液能够被密封组件阻挡而无法流出道划切箱外，能够避免主轴向划切箱外部移动时其上的积液流到划切箱外出现漏水的问题，极大地改善了设备的电气安全，有利于设备稳定、安全的工作。

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【技术保护点】

1.划片机，包括划切箱及主轴，其特征在于：所述主轴可沿其轴向移动地穿设在密封组件上且所述主轴的外壁与所述密封组件密封连接，所述密封组件可相对密封板上下移动地设置在密封板上，所述密封板固定在所述划切箱内的防水板上。

2.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于：所述划切箱包括箱体及设置在所述箱体上的推拉门，所述推拉门的门扇为透明件。

3.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于：所述密封组件包括供所述主轴穿过的穿孔，所述穿孔处设置有与所述主轴密封连接的密封圈。

4.根据权利要求3所述的划片机，其特征在于：所述密封组件包括固定为一体的第一板件和第二板件，所述第一板件和第二板件之间夹设有所述密封圈。

5.根据权利要求4所述的划片机，其特征在于：所述密封圈为橡胶密封圈。

6.根据权利要求1-5任一所述的划片机，其特征在于：所述密封板包括第一挡板及第二挡板，所述第一挡板和第二挡板围合成一供所述密封组件上下移动的滑动空间，位于所述滑动空间内的密封组件不可沿所述主轴的轴向移动。

7.根据权利要求6所述的划片机，其特征在于：所述第一挡板为U形，所述第二挡板包括主板，所述主板上设置有供所述主轴上下移动的避让孔，所述密封组件遮盖所述避让孔，所述主板朝向所述第一挡板的侧面边缘设置有挡条，所述挡条包括设置在所述主板一条长侧边处的第一凸条及设置在所述主板另一条长侧边处的第二凸条及第三凸条，所述第二凸条和第三凸条之间的间隙形成供所述密封组件进出所述滑动空间的进出口。

8.主轴防漏水结构，包括主轴，其特征在于：所述主轴可沿其轴向移动地穿设在一密封组件上且所述主轴与所述密封组件密封连接，所述密封组件可相对密封板上下移动地设置在密封板上，所述密封板固定在划切箱内的防水板上。

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【技术特征摘要】

1.划片机，包括划切箱及主轴，其特征在于：所述主轴可沿其轴向移动地穿设在密封组件上且所述主轴的外壁与所述密封组件密封连接，所述密封组件可相对密封板上下移动地设置在密封板上，所述密封板固定在所述划切箱内的防水板上。

2.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于：所述划切箱包括箱体及设置在所述箱体上的推拉门，所述推拉门的门扇为透明件。

3.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于：所述密封组件包括供所述主轴穿过的穿孔，所述穿孔处设置有与所述主轴密封连接的密封圈。

4.根据权利要求3所述的划片机，其特征在于：所述密封组件包括固定为一体的第一板件和第二板件，所述第一板件和第二板件之间夹设有所述密封圈。

5.根据权利要求4所述的划片机，其特征在于：所述密封圈为橡胶密封圈。

6.根据权利要求1-5任一所述的划片机，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：周井鑫，刘桂芳，孙志超，吕孝袁，高阳，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：