一种石英端片双面打磨设备制造技术

本技术公开了一种石英端片双面打磨设备，包括：一对滚轮式运输器、凹型运输打磨块以及凹型套装加工支架，所述凹型套装加工支架安装于所述凹型运输打磨块上，一对所述滚轮式运输器安装于所述凹型运输打磨块的内侧，所述凹型运输打磨块以及所述凹型套装加工支架上安装有升降翻转结构，所述凹型套装加工支架上安装有打磨结构；本技术涉及石英加工技术领域,通过对石英端面打磨过程中，通过两侧垂直方向上的相对伸缩挤压固定的同时，进行垂直固定进行调节以及垂直方向上旋转调节，从而改变石英端面进行调节，从而方便对石英端面进行上下两端稳定打磨。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英加工，具体为一种石英端片双面打磨设备。

技术介绍

1、石英dome采用高纯透明石英和高纯乳白石英融合制作，具有耐腐蚀、耐高温、耐热震等性能，同时对密封性要求较高。在高温加工中，不会向外释放杂质微粒，确保石英dome内所承载的器件物体的纯度和密封性。石英dome产品，对外观、洁净度有较高的要求，研磨是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。用于材料的单面研磨、抛光，现有的半导体石英研磨装置在对石英件进行研磨的过程中，由于半导体需要用到的石英件形状各异，无法对异形的石英件进行一次性研磨需要分段进行研磨，并且在对石英件研磨的过程中无法上下双面同时进行研磨只能单面研磨，在对例如石英dome件进行研磨时由于石英dome件边缘为弧度，无法对石英dome件进行稳定的夹持，并且在现有的相对石英dome件的研磨机也无法对大小不同的石英dome件进行调节夹持，造成了工作效率低下并且使用环境单一的问题，针对上述问题，现有技术中可能已经存在了解决的技术手段，但是本案想要提供一种替代或替换的技术方案。

技术实现思路

1、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种石英端片双面打磨设备，包括：一对滚轮式运输器、凹型运输打磨块以及凹型套装加工支架，所述凹型套装加工支架安装于所述凹型运输打磨块上，一对所述滚轮式运输器安装于所述凹型运输打磨块的内侧，所述凹型运输打磨块以及所述凹型套装加工支架上安装有升降翻转结构，所述凹型套装加工支架上安装有打磨结构；

2、所述升降翻转结构包含有：一对升降限位块、一对凹型圆环限位块、一对旋转圆盘、一对旋转驱动机、若干个升降限位滑块、若干个升降限位滑道、一对升降螺纹杆、一对升降螺纹管、一对升降驱动机、一对升降齿轮箱、若干个升降限位轴管、若干个升降凸型轴杆、两对凹型夹紧块、两对齿装夹紧块、两对夹紧电磁铁、两对夹紧磁铁、若干个夹紧胶垫、辅助支撑组件以及水平调节组件；

3、所述凹型套装加工支架上开设有一对升降限位槽，一对所述升降限位块分别活动插装于一对所述升降限位槽的内侧，若干个所述升降限位滑道分别相对平行安装于一对所述升降限位槽的内侧，若干个所述升降限位滑块分别安装于一对所述升降限位块的两侧上，且若干个所述升降限位滑块分别活动插装于若干个所述升降限位滑道的内侧吗，一对所述凹型圆环限位块分别插装于一对所述升降限位块上，一对所述升降驱动机分别安装于一对所述凹型圆环限位块的内侧，一对所述旋转圆盘分别安装于一对所述旋转驱动机的驱动端上，一对所述升降螺纹管插装于所述凹型套装加工支架上，一对所述升降螺纹杆分别活动插装于一对所述升降螺纹管的内侧，且一对所述升降螺纹杆分别连接于一对所述升降限位块上，一对所述升降齿轮箱分别套装于一对所述升降螺纹管上，一对所述升降驱动机驱动端分别连接于一对所述升降齿轮箱上，若干个所述升降限位轴管分别安装于一对所述升降限位槽的内侧，一对所述升降凸型轴杆分别活动插装于若干个所述升降限位轴管的内侧，且一对所述升降凸型轴杆分别连接于一对所述升降限位块上，两对所述凹型夹紧块通过所述水平调节组件安装于一对所述旋转圆盘上，两对所述凹型夹紧块上分别开设有齿装升降槽，两对所述齿装夹紧块分别活动插装于两对所述齿装升降槽的内侧，两对所述夹紧电磁铁分别安装于两对所述齿装升降槽的内侧，两对所述夹紧磁铁分别安装于两对所述齿装夹紧块上，若干个所述夹紧胶垫分别安装于两对所述齿装夹紧块上，所述辅助支撑组件安装于所述凹型运输打磨块上，所述水平调节组件安装于一对所述旋转圆盘上；

4、需要说明的是，上述中，通过凹型运输打磨块上的滚轮式运输器运行，带动石英端面进行水平稳定运输，将石英端面运输到两对凹型夹紧块之间，通过两对凹型夹紧块内侧的两对夹紧电磁铁通电，通过两对夹紧电磁铁分别对两对夹紧磁铁进行磁性排斥，通过两对夹紧磁铁分别带动其上的齿装夹紧块，通过两对齿装夹紧块的相对伸缩，从而达到将石英板材进行上下两端进行活动挤压固定，通过水平调节组件对石英板材进行水平推送，通过升降驱动机运行，带动升降驱动机驱动端上的升降齿轮箱运行，通过升降齿轮箱带动其内侧的升降螺纹杆进行旋转，通过升降螺纹管带动其内侧升降螺纹杆，升降螺纹杆带动其升降限位板进行升降，通过升降限位块带动其内侧的凹型圆环限位块，通过凹型圆环限位块的内侧旋转驱动机运行，带动旋转驱动机驱动端上的旋转圆盘旋转，使得旋转圆盘沿着凹型圆环限位块的内侧进行旋转，通过旋转圆盘带动其上的水平调节组件以及其上的两对凹型夹紧块进行垂直方向上的旋转，通过升降限位块上的若干个升降限位滑块与升降限位槽内侧的若干个升降限位滑道的配合，从而的将一对升降限位块上的两对凹型夹紧块的垂直固定进行调节的同时，通过旋转，从而达到翻面的效果，通过若干个升降限位轴管与若干个升降凸型轴杆的配合，从而达到将升降限位块的升降进行限位。

5、优选的，所述水平调节组件包含有：两对水平调节丝杠模组、两对凹型水平调节块以及四对水平限位轴；

6、一对所述旋转圆盘上分别开设有两对水平调节槽，两对所述水平调节丝杠模组分别安装于两对所述水平调节槽的内侧，两对所述凹型水平调节块分别套装于两对所述水平调节丝杠模组的移动端上，四对所述水平限位轴分别插装于两对所述水平调节槽的内侧，且四对所述水平限位轴分别活动插装于两对所述凹型水平调节块上；

7、需要说明的是，上述中，通过两对水平调节丝杠模组运行，分别带动其上的两对凹型水平调节块，使得两对水平调节块分别在两对水平调节槽的内侧进行水平移动，同时通过四对水平限位轴对凹型水平调节块进行水平方向上的限位，从而改变两对凹型夹紧块之间的距离。

8、优选的，所述辅助支撑组件包含有：内齿装支撑块以及若干个内支撑滚筒；

9、所述内齿装支撑块安装于所述凹型运输打磨块的内侧，若干个所述内支撑滚筒均匀的安装于所述内齿装支撑块上；

10、需要说明的是，上述中，通过内齿装支撑块以及若干个内支撑滚筒对石英板材进行支撑，通过加工支架上的打磨设备的配合，从而达到将需要打磨的设备升降移动到打磨设备底端的同时进行水平位移调节。

11、优选的，所述凹型套装加工支架上设置有收集箱以及收集泵。

12、优选的，所述收集箱的内侧设置有回形过滤块以及过滤网。

13、优选的，所述回形过滤块上设置有过滤炭。

14、有益效果

15、本技术提供了一种石英端片双面打磨设备。具备以下有益效果，该一种石英端片双面打磨设备，与现有技术相比：通过对石英端面打磨过程中，通过两侧垂直方向上的相对伸缩挤压固定的同时，进行垂直固定进行调节以及垂直方向上旋转调节，从而改变石英端面进行调节，从而方便对石英端面进行上下两端稳定打磨。

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【技术保护点】

1.一种石英端片双面打磨设备，包括：一对滚轮式运输器、凹型运输打磨块以及凹型套装加工支架，其特征在于，所述凹型套装加工支架安装于所述凹型运输打磨块上，一对所述滚轮式运输器安装于所述凹型运输打磨块的内侧，所述凹型运输打磨块以及所述凹型套装加工支架上安装有升降翻转结构，所述凹型套装加工支架上安装有打磨结构；

2.根据权利要求1所述的一种石英端片双面打磨设备，其特征在于，所述水平调节组件包含有：两对水平调节丝杠模组、两对凹型水平调节块以及四对水平限位轴；

3.根据权利要求2所述的一种石英端片双面打磨设备，其特征在于，所述辅助支撑组件包含有：内齿装支撑块以及若干个内支撑滚筒；

4.根据权利要求3所述的一种石英端片双面打磨设备，其特征在于，所述凹型套装加工支架上设置有收集箱以及收集泵。

5.根据权利要求4所述的一种石英端片双面打磨设备，其特征在于，所述收集箱的内侧设置有回形过滤块以及过滤网。

6.根据权利要求5所述的一种石英端片双面打磨设备，其特征在于，所述回形过滤块上设置有过滤炭。

【技术特征摘要】

1.一种石英端片双面打磨设备，包括：一对滚轮式运输器、凹型运输打磨块以及凹型套装加工支架，其特征在于，所述凹型套装加工支架安装于所述凹型运输打磨块上，一对所述滚轮式运输器安装于所述凹型运输打磨块的内侧，所述凹型运输打磨块以及所述凹型套装加工支架上安装有升降翻转结构，所述凹型套装加工支架上安装有打磨结构；

2.根据权利要求1所述的一种石英端片双面打磨设备，其特征在于，所述水平调节组件包含有：两对水平调节丝杠模组、两对凹型水平调节块以及四对水平限位轴；

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【专利技术属性】
技术研发人员：乔春莲，赵林花，
申请(专利权)人：沈阳芯联弘锐半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：