【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空设备，特别涉及一种真空传样装置及真空传样系统。
技术介绍
1、真空系统中，例如工业型分子束外延(mbe)系统中，衬底托盘的运送是一个重要的环节。而且，工业型mbe系统对样品进出样时操作环境的洁净度要求很高。现有衬底托盘的运送一般是将样品架集成在衬底托盘运送装置上，例如将样品架与传样车集成在一起，更换或取放样品托盘时，需要将传样车从真空腔体脱耦。然而因为传样车较为笨重，且每次取放样都要脱耦，存在污染腔体的风险。
技术实现思路
1、本申请提供了一种真空传样装置，包括：
2、样品车，包括：
3、样品车架，用于承载至少一个样品；以及
4、样品车滑动组件，设置在样品车架底部；
5、传样车，包括：
6、传样车体，用于承载样品车，传样车体包括至少一根轨道，样品车滑动组件与至少一根轨道配合，以使得样品车能够滑上或滑下传样车体。
7、在一些实施例中，传样车还包括至少一组传样车滚轮，设置在传样车体底部，至少一组传样车滚轮与真空腔体轨道配合，用于使传样车体在真空腔体轨道上滑动。
8、在一些实施例中，传样车还包括至少一个驱动块，设置在传样车体上，用于接收磁力驱动，以带动传样车体滑动。
9、在一些实施例中，至少一根轨道包括左凹槽轨道和右凹槽轨道，左凹槽轨道和右凹槽轨道的输入端包括横向导入结构和/或纵向导入结构；
10、样品车滑动组件包括至少一组样品车滚轮，每组样品车滚轮包括左滚轮和右滚轮
11、在一些实施例中，样品车还包括固定组件，设置在样品车架上；
12、传样车包括固定结构，设置在传样车体上，固定结构与固定组件配合，用于将样品车固定在传样车体上。
13、在一些实施例中，固定结构包括：
14、至少一个插销孔，设置在传样车体上；
15、固定组件包括：
16、至少一个插销，设置在样品车架上，与传样车的至少一个插销孔配合，用于将样品车固定在传样车体上。
17、在一些实施例中，插销为可复位插销；和/或
18、插销包括设置在顶端的把手，用于推拉样品车滑上或滑下传样车体。
19、在一些实施例中，真空传样装置还包括至少一个定位销，安装在传样车体的远端，用于对样品车的远端进行定位。
20、在一些实施例中，样品车架包括：
21、多个样品车架纵向立柱；以及
22、多个样品架托爪，设置在多个样品车架纵向立柱上，用于承载样品。
23、本申请提供了一种真空传样系统，包括：
24、真空腔；
25、真空腔体轨道，设置在真空腔内；
26、根据本申请任意一项实施例的真空传样装置，传样车设置在真空腔内的真空腔体轨道上，样品车滑上或滑下传样车体，以用于运送样品；以及
27、驱动装置，设置在真空腔外，用于驱动传样车在真空腔体轨道上滑动。
28、根据本申请一些实施例的真空传样装置及真空传样系统能够带来有益的技术效果。例如，本申请一些实施方式中，将真空传样装置分成传样车和样品车两个部分，使传样车不用脱耦就能完成衬底托盘架的更换，降低了污染腔体的可能。又例如，本申请一些实施方式中，真空传样装置结构简单可靠。再例如，在根据本申请一些实施例的真空传样装置及真空传样系统中，更换样品托盘时，只需要将样品车滑出传样车，更换样品车上的样品托盘，然后再将样品车滑进传样车上，操作便捷，减少腔体污染。
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1.一种真空传样装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空传样装置，其特征在于，所述传样车还包括至少一组传样车滚轮，设置在所述传样车体底部，所述至少一组传样车滚轮与真空腔体轨道配合，用于使所述传样车体在所述真空腔体轨道上滑动。
3.根据权利要求2所述的真空传样装置，其特征在于，所述传样车还包括至少一个驱动块，设置在所述传样车体上，用于接收磁力驱动，以带动所述传样车体滑动。
4.根据权利要求1所述的真空传样装置，其特征在于，所述至少一根轨道包括左凹槽轨道和右凹槽轨道，所述左凹槽轨道和右凹槽轨道的输入端包括横向导入结构和/或纵向导入结构；
5.根据权利要求1所述的真空传样装置，其特征在于，所述样品车还包括固定组件，设置在所述样品车架上；
6.根据权利要求5所述的真空传样装置，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的真空传样装置，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的真空传样装置，其特征在于，还包括至少一个定位销，安装在所述传样车体的远端，用于对所述样品车的远端进行定位。
9.根据
10.一种真空传样系统，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种真空传样装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空传样装置，其特征在于，所述传样车还包括至少一组传样车滚轮，设置在所述传样车体底部，所述至少一组传样车滚轮与真空腔体轨道配合，用于使所述传样车体在所述真空腔体轨道上滑动。
3.根据权利要求2所述的真空传样装置，其特征在于，所述传样车还包括至少一个驱动块，设置在所述传样车体上，用于接收磁力驱动，以带动所述传样车体滑动。
4.根据权利要求1所述的真空传样装置，其特征在于，所述至少一根轨道包括左凹槽轨道和右凹槽轨道，所述左凹槽轨道和右凹槽轨道的输入端包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢斌平，徐鑫，张朱锋，郭维，
申请(专利权)人：费勉仪器科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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