【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体设备领域，具体而言，涉及一种机械手臂及芯片抓取方法。
技术介绍
1、micro-led(micro light-emitting diode，微发光二极管)是新兴的显示技术，相对比常规的显示技术，以micro-led技术为核心的显示器具有响应速度快、自主发光、对比度高、使用寿命长、光电效率高等特点。
2、巨量转移是micro-led领域中的核心关键技术，通过高精度设备将大量micro-led芯片转移到驱动背板上。在众多巨量转移技术中pick up&place(拾取与放置)技术是目前较为成熟的技术，但该技术不能实现选择性转移，而micro-led显示面板中不仅涉及不同颜色led芯片的转移，还涉及led芯片的修补，所以选择性转移是必须的。因此，如何实现led芯片的选择性转移是目前亟需解决的问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种机械手臂及芯片抓取方法，旨在改善上述问题。
2、第一方面，本申请提供的一种机械手臂，包括：
3、抓手；
4、气流通道，所述气流通道设于所述抓手内；
5、多个吸嘴，多个所述吸嘴阵列设置在所述抓手上，且每一所述吸嘴均与所述气流通道联通；
6、多个阀门，多个所述阀门逐一安装在所述吸嘴与所述气流通道之间，用于控制所述气流通道的气流是否流向所述吸嘴；
7、其中，所述吸嘴用于在对应的所述阀门处于关闭状态时抓取待拾取的led芯片，且在部分所述阀门处于开启状态下对应的所述
8、在一可能的实施例中，所述气流通道包括一个第一流道和多个第二流道；
9、所述第一流道与每一所述第二流道垂直设置；
10、每一所述第二流道联通所述第一流道与一个所述吸嘴。
11、在一可能的实施例中，所述吸嘴为软橡胶材料的碗状结构。
12、第二方面，本申请提供的一种芯片抓取方法，包括：
13、提供如第一方面任意一项所述的机械手臂；
14、提供一芯片组件，所述芯片组件上阵列排列有多颗led芯片；
15、关闭所述抓手上需要抓取芯片区域对应的所述阀门；
16、控制所述机械手臂下压至所述芯片组件的上表面，使得待拾取的led芯片表面的所述吸嘴排气吸附所述待拾取的led芯片表面，其中，未关闭所述阀门的区域对该区域的芯片产生向外的推力，以避免吸附所述区域内的led芯片。
17、在一可能的实施例中，所述关闭所述抓手上需要抓取芯片区域对应的所述阀门，包括：
18、获取第一次抓取位置信息；
19、根据所述第一次抓取位置信息控制所述抓手上的抓取芯片区域中的多个所述阀门关闭。
20、在一可能的实施例中，所述控制所述机械手臂下压至所述芯片组件的上表面，包括：
21、控制所述机械手臂的所述抓手下压至所述芯片组件的上表面。
22、在一可能的实施例中，所述方法还包括：
23、提供一目标基板；
24、控制抓取有所述待拾取的led芯片的抓手下压至所述目标基板；
25、控制所述抓取芯片区域中的多个所述阀门开启，以使得所述吸嘴与所述气流通道联通，从而释放所述吸嘴对所述待拾取的led芯片的吸附力，并在气流的推力下，使得所述待拾取的led芯片落在所述目标基板上。
26、在一可能的实施例中，所述控制所述抓取芯片区域中的多个所述阀门开启，包括：
27、控制所述抓取芯片区域中的多个所述阀门开启并关闭除所述抓取芯片区域外的所述阀门。
28、上述本申请提供的一种机械手臂及芯片抓取方法，本申请通过控制阀门的开启于关闭，从而控制气流通道中的气流进入到吸嘴，从而实现对led芯片的选择性抓取，且在选择转移过程中，气流形成的向外推力以及吸嘴对芯片形成的吸力，可以精准转移芯片，提升良率。
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1.一种机械手臂，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述气流通道包括一个第一流道和多个第二流道；
3.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述吸嘴为软橡胶材料的碗状结构。
4.一种芯片抓取方法，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述关闭所述抓手上需要抓取芯片区域对应的所述阀门，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述控制所述机械手臂下压至所述芯片组件的上表面，包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述控制所述抓取芯片区域中的多个所述阀门开启，包括：
【技术特征摘要】
1.一种机械手臂，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述气流通道包括一个第一流道和多个第二流道；
3.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述吸嘴为软橡胶材料的碗状结构。
4.一种芯片抓取方法，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：车忠伟，李嵩松，
申请(专利权)人：威海联科智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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