【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多晶硅生产中还原炉钟罩的清洗工艺及设备，具体涉及基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法。
技术介绍
1、随着近年来多晶硅生产领域的快速发展，生产工艺更加成熟，且能实现规模化生产，晶硅价格逐步下降，生产企业考虑从生产工艺上不断地优化，提高生产效率，缩短非生产时间，降低能耗，提高产品质量等方面着手，降低生产成本，保证企业利润，最终赢得市场。
2、对于还原炉炉体钟罩的清洗系统，本公司之前采用的装置有：如于2021年4月30日公开的申请号为“202021578118.x”，名称为“一种用于多晶硅还原炉的清洗系统”，又如于2024年6月18日公开的申请号为“202322794094.1”，名称为“一种改良型还原炉钟罩用清洗液的加热系统”，上述现有技术中，为保证各设备稳定运行、尽可能延长柱塞泵和换热器的使用寿命，洗涤液一般限制其温度不超过60~70℃，这样导致还原炉钟罩的清洗时间相对较长，使得还原炉非生产时间也就越长。
3、另外，原清洗工艺中，烘干系统的的冷凝水、升温洗涤液的冷凝水均直接外排，造成了大量废水的外排，同时也造成了能源的浪费。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，清洗液的温度可以提升至120℃左右，可以明显加快原炉内壁附着物反应，使得节约清洗时间，另外，列管式换热器ⅰ和列管式换热器ⅱ的被升温后的介质通过管线连接清水箱的回水箱，经回水箱中净化机构对其进行处理，可以回用该介质，减少废水的排放。>
2、本专利技术通过下述技术方案实现：
3、基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，改良型还原炉钟罩清洗系统包括清水箱、烘干装置、三维洗罐装置和废水箱，
4、清水箱包括上方的碱液槽、脱盐水槽、超纯水槽和下方的回水箱，碱液槽、脱盐水槽和超纯水槽上均开设有放净口、溢流口、出水口；三个槽中分别安装有液位计；三个槽的侧面或顶部均连接有相应的洗涤液补给管线；回水箱中设有净化机构，碱液槽、脱盐水槽和超纯水槽的出水口分别通过管线连接增压泵，增压泵通过管线ⅰ连接过滤器ⅰ，过滤器ⅰ通过管线ⅱ连接列管式换热器ⅰ，列管式换热器ⅰ的物料出口通过管线ⅲ连接柱塞泵，柱塞泵通过管线ⅳ连接三维洗罐装置的高压注水软管；
5、所述烘干装置包括初效过滤机构、折纸高效过滤机构和带翅片的列管式换热器ⅱ，烘干装置通过管线ⅴ连接三维洗罐装置的进风口；
6、所述列管式换热器ⅰ和列管式换热器ⅱ的介质出口通过管线连接清水箱的回水箱；
7、碱液槽、脱盐水槽、超纯水槽和回水箱的放净口通过管线连接废水箱的废水进口，三维洗罐装置的排污口通过管线连接废水箱的废水进口；
8、清洗方法包括下述步骤：
9、a、碱洗
10、将碱液槽中的碱液从出水口通过管线送至增压泵，增压泵与碱液槽中的液位计联锁，碱液经增压泵升压后经管线ⅰ送至过滤器ⅰ，得到的清液经管线ⅱ送至列管式换热器ⅰ中，将碱液升温至50~120℃后再经管线ⅲ送至柱塞泵，柱塞泵与管线ⅳ上的压力变送器联锁，当管线ⅳ上压力超出10~18mpa时柱塞泵停止运行，经柱塞泵后的碱液通过管线ⅳ、高压注水软管后用于对还原炉钟罩进行碱洗3~5次，每次洗涤1000~1200s为宜；
11、b、脱盐水洗
12、完成碱洗后，再将脱盐水槽中的脱盐水输送至还原炉钟罩所在的操作平台处对钟罩进行洗涤，脱盐水温度控制为50~120℃，洗涤2~4次，每次洗涤600~800s为宜；
13、c、超纯水洗涤
14、完成脱盐水洗后，再将超纯水槽中的超纯水输送至还原炉钟罩所在的操作平台处对钟罩进行洗涤，脱盐水温度控制为50~120℃，洗涤4~6次，每次洗涤300~500s为宜；
15、d、烘干
16、环境中的空气经烘干装置的初效过滤机构、折纸高效过滤机构处理后，除去0.1μm及以上颗粒，清洁的气体经列管式换热器ⅱ加热至130℃，再送至三维洗罐装置处对放置在操作平台上的还原炉钟罩进行烘干。
17、进一步的，所述回水箱包括斜管沉降区、精滤区和清水区，每个区设置有放净口，清水区的清水输送至脱盐水槽中再次利用。
18、进一步的，所述斜管沉降区内设有若干排斜管，没排斜管紧密排列，精滤区的过滤精度为120μm。
19、进一步的，所述回水箱内部设有加强筋。
20、进一步的，所述碱液槽中设有用于投加片碱的格栅斗，碱液槽中还设有搅拌机构。
21、进一步的，所述柱塞泵的密封环为peek材料的密封环。
22、进一步的，所述过滤器ⅰ为过滤精度为30μm的篮式过滤器，管线ⅳ上还设有过滤精度为60μm的高精度过滤器。
23、进一步的，所述废水箱包括箱体和集风罩，集风罩置于箱体上方并与箱体可拆卸连接，箱体上设有废水进口和排液口，箱体内从废水进口至排液口之间依次设置有粗过滤板、斜板混凝区、斜管沉降区和精过滤板，所述粗过滤板为过滤精度20目、拦截粒径915μm粒子的滤板，所述斜板混凝区的上下部交错设置有隔板，隔板上设有若干斜板，斜管沉降区设有若干斜管，斜管垂直于流体的运动方向安装布置并与水平面呈30°~80°夹角。
24、进一步的，所述粗过滤板、精过滤板均金属编织方孔筛过滤板，精过滤板的过滤精度为60目，拦截粒径301μm。
25、进一步的，所述隔板上的斜板斜向下安装，斜板与隔板呈30°~70°设置，所述隔板包括3~5块，相邻隔板间隔40~70cm，相邻斜板间隔15~40cm。
26、进一步的，所述改良型还原炉钟罩清洗系统还包括控制柜，以及安装在钟罩旁侧用于检测钟罩的光电传感器，以及安装在操作平台下方检测操作平台所受力的重力传感器，控制柜分别与光电传感器、重力传感器和高压泵控制连接。
27、进一步的，所述光电传感器与钟罩距离100~1500mm，安装高度为距离还原炉基座800~1000mm，光电传感器的光感辐射夹角20~60°；所述重力传感器包括2~5个，全部重力传感器以钟罩中心轴为中心均布在操作平台下方。
28、本专利技术与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：
29、一、本专利技术中，提出了一种基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，是在现有钟罩清洗工艺上的进一步优化，新清洗系统可以满足50~120℃清洗液（碱液、除盐水和超纯水）从清水箱正常输送至三维洗罐装置处对钟罩进行清洗，且系统能稳定、连续运行较长时间。当清洗液在较高温度（如120℃）条件下时，可以明显加快清洗液（特别是碱液）与还原炉钟罩内壁附着物的反应，缩短反应时间，最终节约清洗时间，也能缩短还原炉非生产时间。经试验，以40对棒型号的还原炉钟罩为例，单个钟罩单次清洗时间可节约60min。
30、二、本专利技术中，提出了一种新的清水箱结构，对还原炉钟罩的清洗时间也可根据清水箱中的清洗液来确定或系统设定时间，或两者相结合来确定，可满足不同规格型号的还原炉钟本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：改良型还原炉钟罩清洗系统包括清水箱、烘干装置（5）、三维洗罐装置（6）和废水箱（7），
2.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述回水箱（4）包括斜管沉降区（4.1）、精滤区（4.2）和清水区（4.3），每个区设置有放净口，清水区（4.3）的清水输送至脱盐水槽（2）中再次利用。
3.根据权利要求2所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述斜管沉降区（4.1）内设有若干排斜管，每排斜管紧密排列，精滤区（4.2）的过滤精度为120μm。
4.根据权利要求2所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述回水箱（4）内部设有加强筋。
5.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述碱液槽（1）中设有用于投加片碱的格栅斗（18），碱液槽（1）中还设有搅拌机构（19）。
6.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述柱塞泵（15）的密封环为
7.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述过滤器Ⅰ（12）为过滤精度为30μm的篮式过滤器，管线Ⅳ（16）上还设有过滤精度为60μm的高精度过滤器。
8.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述废水箱（7）包括箱体（7.2）和集风罩（7.3），集风罩（7.3）置于箱体（7.2）上方并与箱体（7.2）可拆卸连接，箱体（7.2）上设有废水进口（7.1）和排液口（7.4），箱体（7.2）内从废水进口（7.1）至排液口（7.4）之间依次设置有粗过滤板（7.5）、斜板混凝区（7.6）、斜管沉降区（4.1）和精过滤板（7.8），所述粗过滤板（7.5）为过滤精度20目、拦截粒径915μm粒子的滤板，所述斜板混凝区（7.6）的上下部交错设置有隔板（7.9），隔板（7.9）上设有若干斜板（7.10），斜管沉降区（4.1）设有若干斜管，斜管垂直于流体的运动方向安装布置并与水平面呈30°~80°夹角。
9.根据权利要求8所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述粗过滤板（7.5）、精过滤板（7.8）均金属编织方孔筛过滤板，精过滤板（7.8）的过滤精度为60目，拦截粒径301μm。
10.根据权利要求8所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述隔板（7.9）上的斜板（7.10）斜向下安装，斜板（7.10）与隔板（7.9）呈30°~70°设置，所述隔板（7.9）包括3~5块，相邻隔板（7.9）间隔40~70cm，相邻斜板（7.10）间隔15~40cm。
11.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述改良型还原炉钟罩（23）清洗系统还包括控制柜（28），以及安装在钟罩（23）旁侧用于检测钟罩（23）的光电传感器（26），以及安装在操作平台（27）下方检测操作平台（27）所受力的重力传感器（29），控制柜（28）分别与光电传感器（26）、重力传感器（29）和柱塞泵（15）控制连接。
12.根据权利要求11所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述光电传感器（26）与钟罩（23）距离100~1500mm，安装高度为距离还原炉基座（30）800~1000mm，光电传感器（26）的光感辐射夹角20~60°；所述重力传感器（29）包括2~5个，全部重力传感器（29）以钟罩（23）中心轴为中心均布在操作平台（27）下方。
...【技术特征摘要】
1.基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：改良型还原炉钟罩清洗系统包括清水箱、烘干装置（5）、三维洗罐装置（6）和废水箱（7），
2.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述回水箱（4）包括斜管沉降区（4.1）、精滤区（4.2）和清水区（4.3），每个区设置有放净口，清水区（4.3）的清水输送至脱盐水槽（2）中再次利用。
3.根据权利要求2所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述斜管沉降区（4.1）内设有若干排斜管，每排斜管紧密排列，精滤区（4.2）的过滤精度为120μm。
4.根据权利要求2所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述回水箱（4）内部设有加强筋。
5.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述碱液槽（1）中设有用于投加片碱的格栅斗（18），碱液槽（1）中还设有搅拌机构（19）。
6.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述柱塞泵（15）的密封环为peek材料的密封环。
7.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述过滤器ⅰ（12）为过滤精度为30μm的篮式过滤器，管线ⅳ（16）上还设有过滤精度为60μm的高精度过滤器。
8.根据权利要求1所述的基于改良型还原炉钟罩清洗系统的清洗方法，其特征在于：所述废水箱（7）包括箱体（7.2）和集风罩（7.3），集风罩（7.3）置于箱体（7.2）上方并与箱体（7.2）可拆卸连接，箱体（7.2）上设有废水进口（7.1）和排液口（7.4），箱体（7.2）内从废水进口（7.1）至排液口（7.4）之间依次设置有粗过滤板（7.5）、斜板混凝区（7...
【专利技术属性】
技术研发人员：李春洋，罗小平，蒲勇，何云鼎，李旭，曹杰，严凤林，晏涛，王旭东，张凡，
申请(专利权)人：四川永祥新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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