【技术实现步骤摘要】
本申请涉及微电子，具体而言，涉及一种用于晶圆形传感器的储运盒。
技术介绍
1、目前，晶圆形传感器包括：晶圆形运动传感器（wafer dynamic sensor，wds）、晶圆形图像对准传感器（wafer alignment sensor，was）、晶圆形颗粒物传感器（waferparticle sensor，wps）、以及晶圆形温度传感器（wafer temperature sensor，wts），每类晶圆形传感器按尺寸分为6英寸、8英寸以及12英寸三种。为了对晶圆形传感器进行运输，所以需要设计对晶圆形传感器在运输过程中使用的储运盒。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本申请实施例的目的在于提供一种用于晶圆形传感器的储运盒。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种用于晶圆形传感器的储运盒，包括：储运盒盖体、储运盒底座、传感器支撑部和无线充电装置；
3、所述储运盒盖体和所述储运盒底座通过转轴连接；
4、所述传感器支撑部为“十”字型，所述传感器支撑部设置在储运盒底座内，所述传感器支撑部放置所述晶圆形传感器的表面与所述储运盒盖体的内表面相对；
5、所述传感器支撑部的中部设置有容置空间，所述无线充电装置通过嵌入的方式设置在所述容置空间内。
6、本申请实施例上述第一方面提供的方案中，利用通过转轴连接的储运盒盖体和储运盒底座形成储运盒的壳体，并在储运盒底座内设置用来放置晶圆形传感器的传感器支撑部，从而形成了对晶圆形传感器进行运输时使用
7、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，包括：储运盒盖体、储运盒底座、传感器支撑部和无线充电装置；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，所述无线充电装置，包括：装置盖板、无线充电发射器、电池和电池管理模块；
3.根据权利要求1所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，所述传感器支撑部放置所述晶圆形传感器的表面上设置有防滑胶垫；所述晶圆形传感器放置到所述传感器支撑部上时，与所述防滑胶垫接触。
4.根据权利要求3所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，所述防滑胶垫设置在所述传感器支撑部的端部；
5.根据权利要求4所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，还包括：密封圈；
6.根据权利要求1所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，还包括：至少两个扣合部；
7.根据权利要求2所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，还包括：充电口；
8.根据权利要求1-7任一项所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，所述转轴采用阻尼转轴。
9.根据权利要求1-
10.根据权利要求1-7任一项所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，所述储运盒底座的底部设置有多个缓冲垫。
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，包括：储运盒盖体、储运盒底座、传感器支撑部和无线充电装置；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，所述无线充电装置，包括：装置盖板、无线充电发射器、电池和电池管理模块；
3.根据权利要求1所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，所述传感器支撑部放置所述晶圆形传感器的表面上设置有防滑胶垫；所述晶圆形传感器放置到所述传感器支撑部上时，与所述防滑胶垫接触。
4.根据权利要求3所述的用于晶圆形传感器的储运盒，其特征在于，所述防滑胶垫设置在所述传感器支撑部的端部；
5.根据权利要求4所述的用于晶...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫志敏，高春艳，董义兵，
申请(专利权)人：沈阳乘风半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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