【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种尖峰退火设备。
技术介绍
1、近年来，随着半导体技术的发展，晶圆的特征尺寸已进入纳米时代。在半导体器件尺寸不断缩小的过程中，其掺杂元素在退火后的横向和纵向扩散程度也要求相应减小，且结深要浅。为了控制掺杂元素的扩散以及得到较浅的结深，尖峰退火在65nm之后的超浅结工艺中得到广泛应用。
2、尖峰退火的特点是注重快速升/降温过程，但基本没有保温过程。尖峰退火在高温点滞留时间很短，其主要作用是激活掺杂元素。在实际应用中，晶圆由某一稳定待机温度点开始快速升温，到达目标温度点后立即降温。由于在目标温度点(即尖峰温度点)的维持时间很短，因此使该退火过程能够实现杂质活化程度最大化和杂质扩散程度最小化，同时具有良好的缺陷退火修复特性，形成的接合质量较高，漏电流较低。
3、现有的尖峰退火设备由于吸热结构吸热能力过强，导致升温速率极慢，现有技术只能通过提升功率来缩短升温时间，由于低温下无法将功率设置过大，不然会引起机台不稳定，因此目前即使将功率提升至临界点，前半段升温速度仍旧不理想。
技术实现思路
1、本技术解决的技术问题是提供一种尖峰退火设备，改善尖峰退火设备的升温速度，最终提升生产效率。
2、为解决上述技术问题，本实施例提供一种尖峰退火设备，包括：反应腔室，所述反应腔室用于容纳晶圆和用于加热所述晶圆的至少一组光源，所述光源的发光面正对所述晶圆；吸热结构，所述吸热结构的第一面与所述任意一组光源的背光面相对设置，且所述吸热结构的第一面
3、本申请一些实施例中，所述至少一组光源包括第一光源组和第二光源组，分别设置在所述晶圆的正反两侧。
4、本申请一些实施例中，所述吸热结构包括第一吸热结构和第二吸热结构，所述第一吸热结构与所述第一光源组的背光面相对设置，所述第二吸热结构与所述第二光源组的背光面相对设置。
5、本申请一些实施例中，所述移动组件是旋转组件或伸缩组件。
6、本申请一些实施例中，所述旋转组件包括：连接在所述吸热结构的第二面的至少一个转动柱，以及与所述转动柱连接的驱动部件，所述驱动部件驱动所述至少一个转动柱向所述吸热结构施加靠近或远离所述光源的力。
7、本申请一些实施例中，所述转动柱为多个，间距均匀的连接在所述吸热结构的第二面。
8、本申请一些实施例中，所述伸缩组件包括：与所述吸热结构连接的至少一个伸缩件，以及与所述伸缩件连接的驱动部件，所述驱动部件驱动所述至少一个伸缩件向所述吸热结构施加靠近或远离所述光源的力。
9、本申请一些实施例中，所述驱动部件为驱动电机或气缸。
10、本申请一些实施例中，所述吸热结构的材料为尖晶石类材质。
11、本申请一些实施例中，所述光源为多根卤素灯管。
12、与现有技术相比，本实施例的技术方案具有以下有益效果：采用移动组件带动吸热结构移动后，在升温阶段，移动组件带动吸热结构远离光源组，使加热过程不受影响，保持高升温效率；在升温结束后，移动组件带动吸热结构移动，并于尖峰温度处靠近并接触光源组表面，达到快速降温效果。移动组件带动吸热结构根据不同工艺情况进行移动，使升温过程与降温过程的环境条件产生差异，互相不受制约，能够在满足极快降温速度的工艺需求下，达到生产效率的提升。
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1.一种尖峰退火设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述至少一组光源包括第一光源组和第二光源组，分别设置在所述晶圆的正反两侧。
3.如权利要求2所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述吸热结构包括第一吸热结构和第二吸热结构，所述第一吸热结构与所述第一光源组的背光面相对设置，所述第二吸热结构与所述第二光源组的背光面相对设置。
4.如权利要求1所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述移动组件是旋转组件或伸缩组件。
5.如权利要求4所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述旋转组件包括：连接在所述吸热结构的第二面的至少一个转动柱，以及与所述转动柱连接的驱动部件，所述驱动部件驱动所述至少一个转动柱向所述吸热结构施加靠近或远离所述光源的力。
6.如权利要求5所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述转动柱为多个，间距均匀的连接在所述吸热结构的第二面。
7.如权利要求4所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述伸缩组件包括：与所述吸热结构连接的至少一个伸缩件，以及与所述伸缩件连接的驱动部件，所述驱动部件驱动所
8.如权利要求5或7所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述驱动部件为驱动电机或气缸。
9.如权利要求1所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述吸热结构的材料为尖晶石类材质。
10.如权利要求1所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述光源为多根卤素灯管。
...【技术特征摘要】
1.一种尖峰退火设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述至少一组光源包括第一光源组和第二光源组，分别设置在所述晶圆的正反两侧。
3.如权利要求2所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述吸热结构包括第一吸热结构和第二吸热结构，所述第一吸热结构与所述第一光源组的背光面相对设置，所述第二吸热结构与所述第二光源组的背光面相对设置。
4.如权利要求1所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述移动组件是旋转组件或伸缩组件。
5.如权利要求4所述的尖峰退火设备，其特征在于，所述旋转组件包括：连接在所述吸热结构的第二面的至少一个转动柱，以及与所述转动柱连接的驱动部件，所述驱动部件驱动所述至少一个转动...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵阳，邢长昕，朱松冉，
申请(专利权)人：北方集成电路技术创新中心北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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