【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，特别涉及一种适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构。
技术介绍
1、电弧离子镀膜技术是在真空条件下，通过控制电弧在靶材表面移动，来蒸发靶材金属，并在基片上施加一个高偏压，使得电弧蒸发出来的靶材粒子高速轰击在基片上，形成薄膜的过程。由于靶材表面上的电弧是一个低电压、大电流的直流电源来供给，所以本身只能维持电弧不能自发产生电弧，产生电弧的时候需要单独的引狐结构。引弧时，通过引弧针施加阳极电，靶材施加阴极电，引弧针短暂接触靶材使得阴阳极短暂短路，然后引弧针在离开靶材表面时，阴阳极电路出现击穿电弧，在通过电弧电源提供一个稳定的低电压、大电流输出，实现电弧的自我维持。
2、现有的引弧针一般采用气动引狐，即在引弧针后面加装一个气缸，通过气缸的前后动作实现引弧针与靶面的接触、分离。在镀膜过程中，引弧针位置与靶材表面距离过近，引弧针针尖温度将不断升高，持续烧蚀的电弧会使针尖部分熔断，造成灭弧后镀膜工作无法继续进行；引弧针位置与靶材距离过远，弧针针尖与靶面不能接触，以致无法放电启弧。
3、此外，引弧针与真空室的密封方式是采用橡胶密封，但是引弧针在前后移动的时候不可避免与橡胶摩擦，使得橡胶易于老化或者收到损伤，导致真空室漏气，严重影响镀膜质量。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供了一种适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，以解决上述技术问题。
2、一种适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其包括一个炉壳组件，一个设置在所述炉壳组件上的驱动
3、进一步地，所述弧靶组件穿过所述内围板与外围板设置，并通过法兰设置在位于所述内围板的远离所述外围板的一侧露出。
4、进一步地，所述驱动组件还包括一个设置在所述外围板上的绝缘垫，以及一个设置在所述绝缘垫上的密封圈。
5、进一步地，所述绝缘垫通过紧固件固定在所述穿管的末端，并位于所述外围板的远离所述内围板的一侧。
6、进一步地，所述密封圈为位于所述穿管与绝缘垫之间。
7、进一步地，所述气缸固定在所述安装座上，驱动方向朝向远离所述外围板的方向。
8、进一步地，所述推拉杆一端与所述连接块连接，且能够以中心轴为轴进行转动，另一端穿过所述内围板与外围板并朝向远离所述内围板的自由端延伸。
9、进一步地，所述推拉槽设置在所述推拉杆的杆身上，开槽方向为所述推拉杆的径向，且所述推拉槽的长度方向为沿着所述推拉杆的表面并与所述推拉杆的轴向呈15～45°倾斜。
10、与现有技术相比，本技术提供的适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构通过设置所述驱动组件推动所述引弧组件运动，使得所述引弧针在需要点火时靠近所述弧靶组件，在不需要点火时远离所述弧靶组件，两者距离可控，工作更稳定，且不会因为长时间接触而使得所述引弧针有熔断的风险。同时通过设置所述限位柱和推拉槽，使得所述推料杆在运动时发生转动，从而实现所述引弧针的位置变化。最后通过设置波纹管，使得在所述驱动组件不会摩擦到密封件并导致橡胶老化，避免真空的作业环境有漏气的风险。
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1.一种适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其特征在于：所述适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构包括一个炉壳组件，一个设置在所述炉壳组件上的驱动组件，以及一个穿过所述炉壳组件上的引弧组件，所述炉壳组件包括一个内围板，一个与所述内围板间隔设置的外围板，一个设置在所述内围板与外围板上的穿管，以及一个穿过所述内围板与外围板设置的弧靶组件，所述内围板与外围板间隔设置，所述穿管同时穿过所述内围板与外围板，所述弧靶组件包括一个弧靶辅阳与一个弧靶靶材，所述驱动组件包括一个安装座，一个设置在所述安装座上的气缸，一个设置在所述气缸上的连接块，以及一个设置在所述连接块与所述安装座之间的波纹管，所述连接块一端固定在所述气缸的驱动端上，另一端固定在所述引弧组件上，所述波纹管两端分别固定在所述安装座与连接块上，所述引弧组件包括一个穿过所述内围板与外围板的推拉杆，一个连接在所述推拉杆上的引弧针，一个设置在所述推拉杆上的推拉槽，一个设置在所述安装座上的导向块，以及一个设置在所述导向块上的限位柱，所述引弧针通过紧固件固定在所述推拉杆上，并位于所述推拉杆远离所述内围板的自由端上，所述限位柱一端固定在所述导向
2.如权利要求1所述的适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其特征在于：所述弧靶组件穿过所述内围板与外围板设置，并通过法兰设置在位于所述内围板的远离所述外围板的一侧露出。
3.如权利要求1所述的适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其特征在于：所述驱动组件还包括一个设置在所述外围板上的绝缘垫，以及一个设置在所述绝缘垫上的密封圈。
4.如权利要求3所述的适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其特征在于：所述绝缘垫通过紧固件固定在所述穿管的末端，并位于所述外围板的远离所述内围板的一侧。
5.如权利要求3所述的适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其特征在于：所述密封圈为位于所述穿管与绝缘垫之间。
6.如权利要求1所述的适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其特征在于：所述气缸固定在所述安装座上，驱动方向朝向远离所述外围板的方向。
7.如权利要求1所述的适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其特征在于：所述推拉杆所述推拉杆一端与所述连接块连接，且能够以中心轴为轴进行转动，另一端穿过所述内围板与外围板并朝向远离所述内围板的自由端延伸。
8.如权利要求1所述的适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其特征在于：所述推拉槽设置在所述推拉杆的杆身上，开槽方向为所述推拉杆的径向，且所述推拉槽的长度方向为沿着所述推拉杆的表面并与所述推拉杆的轴向呈15～45°倾斜。
...【技术特征摘要】
1.一种适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其特征在于：所述适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构包括一个炉壳组件，一个设置在所述炉壳组件上的驱动组件，以及一个穿过所述炉壳组件上的引弧组件，所述炉壳组件包括一个内围板，一个与所述内围板间隔设置的外围板，一个设置在所述内围板与外围板上的穿管，以及一个穿过所述内围板与外围板设置的弧靶组件，所述内围板与外围板间隔设置，所述穿管同时穿过所述内围板与外围板，所述弧靶组件包括一个弧靶辅阳与一个弧靶靶材，所述驱动组件包括一个安装座，一个设置在所述安装座上的气缸，一个设置在所述气缸上的连接块，以及一个设置在所述连接块与所述安装座之间的波纹管，所述连接块一端固定在所述气缸的驱动端上，另一端固定在所述引弧组件上，所述波纹管两端分别固定在所述安装座与连接块上，所述引弧组件包括一个穿过所述内围板与外围板的推拉杆，一个连接在所述推拉杆上的引弧针，一个设置在所述推拉杆上的推拉槽，一个设置在所述安装座上的导向块，以及一个设置在所述导向块上的限位柱，所述引弧针通过紧固件固定在所述推拉杆上，并位于所述推拉杆远离所述内围板的自由端上，所述限位柱一端固定在所述导向块上，另一端插入在所述推拉槽内。
2.如权利要求1所述的适用于真空高温环境的电弧靶旋转推拉机构，其特征在于：所述弧靶组件穿过所述内围板与外...
【专利技术属性】
技术研发人员：毕凯，王董祎，
申请(专利权)人：嘉兴岱源真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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