【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体设备，具体而言，涉及一种循环利用制绒剂的制绒方法。
技术介绍
1、硅片通过制绒处理形成金字塔绒面结构，起到降低反射率的作用。制绒主要利用制绒添加剂，通过制绒添加剂与晶面结合，提高单晶硅片在碱溶液中的各项腐蚀异性，形成金字塔结构。由于制绒设备一般是连续釜式反应器，通过连续添加反应物（制绒添加剂）的方式维持溶液体系，在体系内对硅片进行制绒处理。
2、但是，在实际使用过程中，发现虽然体系内在不断补入反应物，但是随着时间的推移，即使在同样的处理参数下，硅片的金字塔绒面微观尺寸会形成差异，甚至出现外观不均匀、雨点印等外观绒面不良，影响硅片的金字塔结构稳定性。而对此的处理方法，通常时候在使用50批次左右就需要将反应器内的制绒添加剂进行全部更换，这无疑导致制绒成本高。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种循环利用制绒剂的制绒方法，此方法可以解决硅片金字塔稳定性差、外观异常和解决制绒剂使用寿命短、成本高的问题。
2、为解决上述问题，本专利技术采用的技术方案为：
3、本专利技术提供一种循环利用制绒剂的制绒方法，包括如下步骤：
4、将制绒剂放入反应器主槽内，将硅片放入主槽内，每批硅片在主槽内制绒处理后再取出，制绒期间无篮鼓泡、一直溢流，溢流的制绒剂流入副槽，再从副槽补入主槽内循环使用；
5、在1批～100批硅片制绒过程中，制绒剂补入主槽的循环速度为78l/min～82l/min；
6、在101批～20
7、在201批～250批硅片制绒过程中，制绒剂补入主槽的循环速度为92l/min～98l/min。
8、本专利技术的一些实施例中，上述每批硅片制绒处理具体是置于主槽内，在80～85℃温度下制绒处理400s～450s再取出。
9、本专利技术的一些实施例中，上述制绒剂包括如下体积份的原料：氢氧化钠7份～8份、制绒添加剂2.5份～3份和去离子水650份～700份。
10、本专利技术的一些实施例中，上述在1批～100批、101批～200批和201批～250批硅片制绒过程中，每批硅片处理时均向主槽内补入制绒剂原料。
11、本专利技术的一些实施例中，上述在1批～100批硅片制绒过程中，每批硅片处理时均向主槽内补入如下重量份原料：氢氧化钠0.7份～0.73份、制绒添加剂0.2份～0.23份和去离子水1.7份～1.9份，所述去离子水温度为80℃～85℃。
12、本专利技术的一些实施例中，在101批～200批硅片制绒过程中，每批硅片处理时均向主槽内补入如下重量份原料：氢氧化钠0.7份～0.73份、制绒添加剂0.19份～0.21份和去离子水1.7份～1.9份，所述去离子水温度为80℃～85℃。
13、本专利技术的一些实施例中，上述在201批～250批硅片制绒过程中，每批硅片处理时均向主槽内补入如下重量份原料：氢氧化钠0.7份～0.73份、制绒添加剂0.19份～0.21份和去离子水1.7份～1.9份，所述去离子水温度为80℃～85℃。
14、本专利技术的一些实施例中，在1批～100批、101批～200批和201批～250批硅片制绒过程中，每批硅片处理后，均排液70s～90s。
15、本专利技术的一些实施例中，上述主槽在排液后，维持主槽溶液体积在690l～710l。
16、本专利技术的一些实施例中，上述主槽容积为720l～750l。
17、相对于现有技术，本专利技术的专利技术至少具有如下优点或有益效果：
18、本专利技术通过控制主槽内的制绒剂溶液的循环速度，采用阶段式循环的方式，可以维持稳定的制绒剂与硅片的反应效率，使得金字塔绒面微观尺寸稳定，避免出现外观不均匀的绒面不良情况。这是由于在制绒剂与硅片反应后会生成副产物（硅酸盐），而在多批次循环制绒后，副产物会累积，造成反应体系的前期、中期和末期的溶液粘度不同，而经过阶段式控制循环速度就能够改善制绒剂和硅片的接触，从而提高金字塔绒面稳定性。
19、具体来说，在前期循环速度慢，由于制绒剂浓度够，硅酸盐浓度低，溶液粘度小，循环速度慢，会促进化学反应，金字塔成核数量多，形成较大的金字塔结构，有较大的比表面积；逐渐到后期，循环速度加快，会促进化学反应，即使随着批次增多而硅酸盐浓度增大、溶液粘度增加，也能够在一定程度上促进金字塔的成核，获得一定的金字塔高度，形成较大的比表面积。
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1.一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，所述每批硅片制绒处理具体是置于主槽内，在80℃～85℃温度下制绒处理400s～450s再取出。
3.根据权利要求1所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，所述制绒剂包括如下体积份的原料：氢氧化钠7份～8份、制绒添加剂2.5份～3份和去离子水650份～700份。
4.根据权利要求3所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，在1批～100批、101批～200批和201批～250批硅片制绒过程中，每批硅片处理时均向主槽内补入制绒剂原料。
5.根据权利要求3或4所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，所述在1批～100批硅片制绒过程中，每批硅片处理时均向主槽内补入如下重量份原料：氢氧化钠0.7份～0.73份、制绒添加剂0.2份～0.23份和去离子水1.7份～1.9份，所述去离子水温度为80℃～85℃。
6.根据权利要求3或4所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，所述在10
7.根据权利要求3或4所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，所述在201批～250批硅片制绒过程中，每批硅片处理时均向主槽内补入如下重量份原料：氢氧化钠0.7份～0.73份、制绒添加剂0.19份～0.21份和去离子水1.7份～1.9份，所述去离子水温度为80℃～85℃。
8.根据权利要求4所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，在1批～100批、101批～200批和201批～250批硅片制绒过程中，每批硅片处理后，均排液70s～90s。
9.根据权利要求8所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，所述主槽在排液后，维持主槽溶液体积在690L～710L。
10.根据权利要求8所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，所述主槽容积为720L～750L。
...【技术特征摘要】
1.一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，所述每批硅片制绒处理具体是置于主槽内，在80℃～85℃温度下制绒处理400s～450s再取出。
3.根据权利要求1所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，所述制绒剂包括如下体积份的原料：氢氧化钠7份～8份、制绒添加剂2.5份～3份和去离子水650份～700份。
4.根据权利要求3所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，在1批～100批、101批～200批和201批～250批硅片制绒过程中，每批硅片处理时均向主槽内补入制绒剂原料。
5.根据权利要求3或4所述的一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，所述在1批～100批硅片制绒过程中，每批硅片处理时均向主槽内补入如下重量份原料：氢氧化钠0.7份～0.73份、制绒添加剂0.2份～0.23份和去离子水1.7份～1.9份，所述去离子水温度为80℃～85℃。
6.根据权利要求3或4所述的一种循环利用制绒剂的制绒...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓仕彬，
申请(专利权)人：宜宾英发德耀科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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