【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用垂直腔面发射激光器模块对半导体晶圆或玻璃基板等平板基板进行加热的平板基板加热装置。
技术介绍
1、半导体晶圆或玻璃基板等平板基板可进行硅薄膜结晶化工序、离子注入工序及活化工序等热处理工序。通常，上述热处理工序由作为光源包括卤素灯的卤素灯加热装置执行。
2、上述卤素灯加热装置向平板基板的前表面或后表面照射光，构成利用反射板向平板基板再次照射光的结构。因此，为了增加平板基板的温度均匀度，上述卤素灯加热装置具有复杂的闪光灯排列结构及反射板结构。并且，由于卤素灯较短的使用寿命，上述卤素灯加热装置存在装置维护维修成本增加的问题。
3、最近，正在开发利用垂直腔面发射激光器(vcsel，vertical cavity surfaceemitting laser)的平板基板加热装置。利用上述垂直腔面发射激光器的平板基板加热装置按照平面形状排列包括多个垂直腔面发射激光器的垂直腔面发射激光器模块并向大面积区域照射激光束。由于利用上述垂直腔面发射激光器的平板基板加热装置向各个垂直腔面发射激光器模块单独供给电力，因此，随着电线数量的增加，可导致配线变得复杂。而且，在某一个垂直腔面发射激光器产生故障的情况下，利用上述垂直腔面发射激光器的平板基板加热装置存在难以分离相应垂直腔面发射激光器模块与电线的问题。并且，利用上述垂直腔面发射激光器的平板基板加热装置需要向各个垂直腔面发射激光器模块供给冷却水，因此，电线可导致结构变得复杂。并且，随着每单位面积的电线数量及结构部件数量的增加，利用上述垂直腔面发射激光器的平板基板加
技术实现思路
1、技术问题
2、本专利技术的目的在于，提供设置有垂直腔面发射激光器模块的平板基板加热装置，即，随着减少电线及结构部件的数量，不仅能够简化结构，而且，可提高维护维修的效率。
3、技术方案
4、本专利技术的平板基板加热装置包括：模块支撑板，在上表面设置有多个单位模块区域；多个垂直腔面发射激光器模块，具有多个垂直腔面发射激光器器件，分别放置在上述模块支撑板的单位模块区域；供电基板，位于上述模块支撑板的下部，用于向上述垂直腔面发射激光器模块供给电力；以及电极端子，将上述垂直腔面发射激光器模块和供电基板可分离地固定在上述模块支撑板的上表面和下表面并使它们电连接，上述模块支撑板在内部形成有冷却水供给部，用于向上述垂直腔面发射激光器模块供给冷却水。
5、并且，上述垂直腔面发射激光器模块可包括：器件基板，具有器件区域和端子区域，在上述端子区域形成有从上表面向下表面贯通的器件端子孔；垂直腔面发射激光器器件，排列在上述器件基板的器件区域；端子垫片，沿着上述器件端子孔的上端外径形成为环形；以及冷却块，位于上述器件基板的下部，形成有块端子孔。
6、并且，在上述模块支撑板具有支撑本体板，上述支撑本体板具有在上述单位模块区域中形成在与上述器件端子孔相对应的位置的支撑端子孔，上述供电基板具有电力端子孔，形成在与上述支撑端子孔相对应的位置，上述电极端子可包括：上部端子螺栓，贯通上述器件端子孔和块端子孔并向上述支撑端子孔的上部插入；下部端子螺栓，贯通上述电力端子孔并向上述支撑端子孔的下部插入；以及连接螺母，位于上述支撑端子孔的内部，与上述上部端子螺栓及上述下部端子螺栓螺纹结合。
7、并且，上述上部端子螺栓与上述端子垫片电连接，上述下部端子螺栓可以与上述供电基板电连接。
8、并且，上述电极端子还可包括绝缘管，位于上述支撑端子孔的内周面与连接螺母的外周面之间。
9、并且，上述冷却水供给部包括：本体内部流路，在上述支撑本体板的内部沿着x方向或y方向水平延伸而成；本体上部流路，在上述支撑本体板的内部上下延伸，下端与上述本体内部流路相连接，上端朝向上述支撑本体板的上表面开放；以及本体下部流路，在上述支撑本体板的内部上下延伸，上端与上述本体内部流路相连接，下端朝向上述支撑本体板的下表面开放，上述冷却块还包括块冷却流路，与上述本体上部流路相连接，可使得用于冷却上述垂直腔面发射激光器器件的冷却水通过上述本体上部流路和上述块冷却流路流动。
10、并且，上述冷却水供给部还可包括：冷却水流入管，用于向上述本体下部流路供给上述冷却水；以及冷却水流出管，使得上述冷却水从上述本体下部流路流出。
11、并且，在上述本体内部流路形成有多对的情况下，上述支撑本体板还可包括连接流路，用于连接上述本体内部流路。
12、专利技术的效果
13、在本专利技术的平板基板加热装置中，用于向多个垂直腔面发射激光器模块供给冷却水的冷却水流路形成在用于支撑垂直腔面发射激光器模块的模块支撑板，因此，可简化整体结构，而无需冷却水供给模块。
14、并且，本专利技术的平板基板加热装置可通过减少用于冷却水流路的各个结构之间的连接部分的数量来减少漏水可能性。
15、并且，本专利技术的平板基板加热装置可通过简化整体结构来减少用于形成冷却水流路的加工，由此，可使得维护维修变得简单。
16、并且，本专利技术的平板基板加热装置利用可上下分离的电极端子并通过模块支撑板将各个垂直腔面发射激光器模块连接在模块型电极基板，因此，可进一步轻易分离产生故障的垂直腔面发射激光器模块。
17、本专利技术的平板基板加热装置利用电极端子和供电基板向各个垂直腔面发射激光器模块供给电力，由于无需电线，因此，可有效进行维护维修。
18、并且，本专利技术的平板基板加热装置通过独立形成在由金属制成的模块支撑板的支撑冷却水孔和突起冷却水孔向各个垂直腔面发射激光器模块供给冷却水，因此，可简化冷却水流路并有效进行维护维修。
19、并且，在本专利技术的平板基板加热装置形成有向各个垂直腔面发射激光器模块供给冷却水的流路，因此，可单独轻易分离产生故障的垂直腔面发射激光器模块。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种平板基板加热装置，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的平板基板加热装置，其特征在于，上述垂直腔面发射激光器模块包括：
3.根据权利要求2所述的平板基板加热装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的平板基板加热装置，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的平板基板加热装置，其特征在于，上述电极端子还包括绝缘管，位于上述支撑端子孔的内周面与连接螺母的外周面之间。
6.根据权利要求3所述的平板基板加热装置，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的平板基板加热装置，其特征在于，上述冷却水供给部还包括：
8.根据权利要求7所述的平板基板加热装置，其特征在于，在上述本体内部流路形成有多对的情况下，上述支撑本体板还包括连接流路，用于连接上述本体内部流路。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种平板基板加热装置，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的平板基板加热装置，其特征在于，上述垂直腔面发射激光器模块包括：
3.根据权利要求2所述的平板基板加热装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的平板基板加热装置，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的平板基板加热装置，其特征在于，上述电极端子还包括绝缘管，位...
【专利技术属性】
技术研发人员：金亨骏，金炳局，朴旺濬，李俊熙，
申请(专利权)人：微传科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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