【技术实现步骤摘要】
本公开实施例属于半导体设备，具体涉及一种湿制程系统用药液分离装置及湿制程系统。
技术介绍
1、如图1所示，半导体工艺湿蚀刻制程中，药液存储在药液存储槽110中，加热器120设置于药液存储槽110对药液进行加热至反应温度，药液流经经过药液输出管道130上的滤芯140进行过滤后进入工艺腔室150进行湿制程反应并产生反应生成物，带有反应生成物的药液经过药液注入管道160从药液存储槽110的顶部再次注入药液存储槽110，反应生成物在药液存储槽110内沉积，并通过滤芯140的过滤，使得湿制程反应生成物在药液中分离出来，避免影响产品品质。在湿制程药液与反应生成物分离过程中存在如下问题：
2、1)滤芯孔径小，过滤效果好，滤芯容易堵，影响生产时流量稳定性；2)滤芯孔径大，过滤效果差，无法有效过滤反应生成物，影响产品良率；3)药液温度影响反应生成物凝结颗粒大小，从而影响过滤及沉积效果；4)药液从药液存储槽的顶部注入，扰动药液存储槽底部已沉积的反应生成物，影响药液的分离效果。
3、针对上述问题，有必要提出一种设计合理且可以有效改善上述问题的湿制程系统用药液分离装置及湿制程系统。
技术实现思路
1、本公开实施例旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种湿制程系统用药液分离装置及湿制程系统。
2、本公开实施例提供一种湿制程系统用药液分离装置，包括第一药液存储槽、第二药液存储槽、工艺腔室、加热器、第一过滤件和至少一个第一隔板；
3、所述第一药液存储槽通
4、所述第二药液存储槽通过第二药液输出管道与所述工艺腔室相连通，所述第二药液输出管道串设有所述第一过滤件；
5、所述工艺腔室通过药液注入管道与所述第一药液存储槽相连通；其中，
6、所述第一药液存储槽内设置有所述至少一个第一隔板，以在所述第一隔板与所述第一药液存储槽的侧壁之间形成第一溢流通道。
7、可选的，所述第一药液存储槽内设置有多个第一隔板，多个所述第一隔板沿所述第一药液存储槽的宽度方向间隔分布，以在以在相邻两个所述第一隔板之间形成所述第一溢流通道。
8、可选的，多个所述第一隔板包括至少一个第一子隔板和至少一个第二子隔板，所述第一子隔板和所述第二子隔板间隔交替设置；其中，
9、所述第一子隔板的底部固定于所述第一药液存储槽的底壁，所述第一子隔板的顶部与所述第一药液存储槽的顶壁之间具有间隙；
10、所述第二子隔板的顶部固定于所述第一药液存储槽的顶壁，所述第二子隔板的底部与所述第一药液存储槽的底壁之间具有间隙。
11、可选的，还包括多个第二过滤件，所述第二过滤件沿所述第一药液存储槽的宽度方向固定于所述第一子隔板的顶部。
12、可选的，所述第一隔板的内部为中空设置；
13、所述装置还包括冷却水供水管道、冷却水回水管道和连接管道；
14、多个所述第一隔板之间通过所述连接管道相连通；
15、所述冷却水供水管道的出口与靠近所述第一药液存储槽侧壁的一个所述第一隔板的底部相连通；
16、所述冷却水回水管道的入口与靠近所述第一药液存储槽侧壁的另一个所述第一隔板的底部相连通。
17、可选的，所述药液注入管道的出口与所述第一药液存储槽的底部相连通。
18、可选的，还包括第三过滤件；
19、所述第三过滤件串设于所述第一药液输出管道；其中，
20、所述第三过滤件的过滤粒度大于所述第一过滤件的过滤粒度。
21、可选的，还包括设置于所述第二药液存储槽的至少一个第二隔板，以在所述第二隔板与所述第二药液存储槽的侧壁之间形成第二溢流通道。
22、可选的，还包括多个第二隔板，多个所述第二隔板沿所述第二药液存储槽的宽度方向间隔分布，以在相邻两个所述第二隔板之间形成所述第二溢流通道。
23、本公开实施例的另一方面提供一种湿制程系统，包括前文所述的湿制程系统用药液与反应生成物分离装置。
24、本公开实施例的湿制程系统用药液分离装置及湿制程系统，该湿制程系统用药液分离装置中，通过增设第一药液存储槽，并在第一药液存储槽内设置至少一个第一隔板，以在第一隔板与第一药液存储槽的侧壁之间形成第一溢流通道。第一溢流通道可以为药液的流动进行导流，加长药液流动行程，提高反应生成物的沉积效果，更好的实现在第一药液存储槽内药液与反应生成物的分离；反应生成物先进行沉积后再进行过滤，防止反应生成物堵塞过滤件，提升流量稳定性，提升过滤件的使用寿命；通过药液与反应生成物的分离，可以提高进入工艺腔的药液的纯度，实现药液的循环重复使用，节约了药液成本。
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1.一种湿制程系统用药液分离装置，其特征在于，包括第一药液存储槽、第二药液存储槽、工艺腔室、加热器、第一过滤件和至少一个第一隔板；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一药液存储槽内设置有多个第一隔板，多个所述第一隔板沿所述第一药液存储槽的宽度方向间隔分布，以在相邻两个所述第一隔板之间形成所述第一溢流通道。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，多个所述第一隔板包括至少一个第一子隔板和至少一个第二子隔板，所述第一子隔板和所述第二子隔板间隔交替设置；其中，
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括多个第二过滤件，所述第二过滤件沿所述第一药液存储槽的宽度方向固定于所述第一子隔板的顶部。
5.根据权利要求1至4任一项所述的装置，其特征在于，所述第一隔板的内部为中空设置；
6.根据权利要求1至4任一项所述的装置，其特征在于，所述药液注入管道的出口与所述第一药液存储槽的底部相连通。
7.根据权利要求1至4任一项所述的装置，其特征在于，还包括第三过滤件；
8.根据权利要求1至4任一项所
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括多个第二隔板，多个所述第二隔板沿所述第二药液存储槽的宽度方向间隔分布，以在相邻两个所述第二隔板之间形成所述第二溢流通道。
10.一种湿制程系统，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的湿制程系统用药液分离装置。
...【技术特征摘要】
1.一种湿制程系统用药液分离装置，其特征在于，包括第一药液存储槽、第二药液存储槽、工艺腔室、加热器、第一过滤件和至少一个第一隔板；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一药液存储槽内设置有多个第一隔板，多个所述第一隔板沿所述第一药液存储槽的宽度方向间隔分布，以在相邻两个所述第一隔板之间形成所述第一溢流通道。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，多个所述第一隔板包括至少一个第一子隔板和至少一个第二子隔板，所述第一子隔板和所述第二子隔板间隔交替设置；其中，
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括多个第二过滤件，所述第二过滤件沿所述第一药液存储槽的宽度方向固定于所述第一子隔板的顶部。
5.根据权利要求1至4任一项所述的装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪锋，
申请(专利权)人：厦门通富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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