【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体工业，具体为一种干法刻蚀机用的片架。
技术介绍
1、刻蚀机也称为蚀刻机，是一种在微电子制造和半导体工业中广泛使用的关键设备，其主要功能是在薄膜材料表面进行微细图案的刻蚀加工，这一过程通过化学或物理方法将材料表面的一部分移除，以形成所需的图案或结构，刻蚀根据所工作原理可分为干法刻蚀和湿法刻蚀，其中干法刻蚀是指利用等离子体激活的化学反应或高能离子束轰击去除物质的方法，在半导体领域中较为常见；
2、在对半导体晶圆片进行干法刻蚀的过程中，一般需要将晶圆片放在片架上，利用片架对多个晶圆片进行放置，之后再进行刻蚀工作，刻蚀机片架是刻蚀机中的一个重要组成部分，它用于支撑和固定待刻蚀的晶圆片（如单晶硅片），以确保刻蚀过程的精确性和稳定性；
3、但在片架使用过程中，由于晶圆片位于两边的上下两侧与片架之间为贴合状态，因此在拿取和放置晶圆片时，晶圆片会与片架之间发生摩擦，容易导致晶圆片的表面出现划痕，影响晶圆片的产品质量，为此，我们提出一种干法刻蚀机用的片架。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种干法刻蚀机用的片架，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种干法刻蚀机用的片架，包括固定板，所述固定板设有两个，且两个所述固定板相对的一侧均设有若干个收纳槽，其特征在于：所述固定板设有若干个传动腔，且传动腔分布于每个收纳槽的上下两侧，所述收纳槽的内顶壁和内底壁均设有两个与相邻传动腔连通的定位孔，所述传
3、所述传动腔内滑动连接有连接杆，所述连接杆靠近安装板的一端固定连接有三角块，且三角块的下斜面与安装板的一侧接触。
4、优选的，所述安装盒的两侧均与固定板内的传动腔连通，所述安装盒内转动连接有若干个安装杆，所述安装杆的两端均固定连接有齿轮。
5、优选的，所述连接杆远离三角块的一端位于安装盒内，所述连接杆位于安装盒内的一端固定连接有与相邻的齿轮互相啮合的齿条b。
6、优选的，所述安装盒靠近固定板的一侧滑动连接有若干个传动座，且传动座分别与固定板上的收纳槽位置对齐，所述传动座靠近安装盒内的一侧固定连接有限位板，且限位板与安装盒内壁滑动连接，所述限位板两端的上下两侧均固定连接有与同侧相邻的齿轮互相啮合的齿条a，所述限位板与安装盒内壁之间均固定连接有若干个限位弹簧。
7、优选的，所述传动座远离安装盒一侧的顶部和底部均固定连接有安装架，且安装架之间转动连接有转杆，所述转杆之间设有传动带。
8、优选的，所述安装架上均设有限位孔，所述转杆的两端均固定连接有轴杆，且轴杆均位于同侧的限位孔内，所述轴杆与限位孔内壁之间均固定连接有发条。
9、优选的，两个所述固定板之间的收纳槽内均放置有晶圆片，且晶圆片的两侧均位于收纳槽内顶壁和内底壁的定位孔之间，所述晶圆片靠近安装盒的一侧与传动带接触。
10、优选的，所述安装盒任意一侧的固定板上设有安装槽，且安装槽位于固定板顶部远离安装盒的一侧，所述安装槽内壁设有限位槽，所述固定板的底部之间固定连接有若干个加固杆。
11、优选的，所述安装槽内转动连接有限位杆，所述限位杆位于安装槽内一端的侧壁设有固定槽，所述固定槽内滑动连接有限位块，所述限位块与固定槽内壁之间固定连接有固定弹簧。
12、优选的，所述固定板的顶部之间固定连接有顶板，所述顶板的顶部设有放置槽，且放置槽内转动连接有把手，所述顶板上固定连接有过滤网。
13、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
14、1、本专利技术通过较宽的收纳槽，在放置晶圆片时，可使晶圆片不与收纳槽内壁贴合，在晶圆片放置进片架后，使晶圆片抵在传动座上，此时传动座通过限位板带动齿条a移动，利用齿条a带动齿轮转动，此时齿条b带动连接杆朝着安装板的方向移动，而此时三角块的下斜面挤压安装板，可带动安装板朝着收纳槽方向进行移动，使定位杆从定位孔内伸出，利用橡胶滚珠与晶圆片表面进行贴合，完成对晶圆片的夹持固定，而在拿取晶圆片时，橡胶滚珠以其可转动且较为柔软的表面可降低与晶圆片之间的摩擦力，当晶圆片架移动一定距离后，此时传动座受到的挤压消失，限位弹簧开始反弹，此时齿轮与齿条b配合，带动连接杆朝着原位置移动，此时安装弹簧反弹，带动安装板移动，定位杆开始收缩，即可使橡胶滚珠与晶圆片分离，避免因晶圆片与片架之间发生摩擦，导致晶圆片表面容易产生划痕的问题。
15、2、本专利技术在将晶圆片放置在收纳槽时，此时晶圆片在抵到传动带上，并推动传动座移动的过程中，晶圆片发生偏移时，此时晶圆片会带动传动带一同移动，此时转杆会通过排轴杆带动发条收紧，此时在晶圆片停止移动时，发条开始收缩，通过转杆带动传动带朝原位置进行移动，此时传动带可带动晶圆片回到水平状态，有效的提高了该装置对于晶圆片进行放置过程中的辅助性。
16、3、本专利技术利用定位杆可对晶圆片的两侧进行夹持支撑，使晶圆片的两侧与片架的接触面减少，同时利用较宽的收纳槽，可使晶圆片之间的缝隙变大，此时对晶圆片进行刻蚀时，可使等离子体更稳定更均匀的轰击晶圆片表面，完成刻蚀工作，提高了该装置对于晶圆片进行刻蚀工作的工作效率。
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1.一种干法刻蚀机用的片架，包括固定板（1），所述固定板（1）设有两个，且两个所述固定板（1）相对的一侧均设有若干个收纳槽（11），其特征在于：所述固定板（1）设有若干个传动腔（12），且传动腔（12）分布于每个收纳槽（11）的上下两侧，所述收纳槽（11）的内顶壁和内底壁均设有两个与相邻传动腔（12）连通的定位孔（13），所述传动腔（12）内均滑动连接有安装板（4），所述安装板（4）靠近定位孔（13）的一侧固定连接有两个定位杆（41），且定位杆（41）均位于同侧的定位孔（13）内，所述定位杆（41）的端部均嵌合有转动连接的橡胶滚珠（42），所述安装板（4）远离定位杆（41）的一侧与传动腔（12）内壁之间固定连接有若干个安装弹簧（43），所述固定板（1）的一侧固定连接有安装盒（5）；
2.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：所述安装盒（5）的两侧均与固定板（1）内的传动腔（12）连通，所述安装盒（5）内转动连接有若干个安装杆（51），所述安装杆（51）的两端均固定连接有齿轮（52）。
3.根据权利要求2所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征
4.根据权利要求2所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：所述安装盒（5）靠近固定板（1）的一侧滑动连接有若干个传动座（6），且传动座（6）分别与固定板（1）上的收纳槽（11）位置对齐，所述传动座（6）靠近安装盒（5）内的一侧固定连接有限位板（61），且限位板（61）与安装盒（5）内壁滑动连接，所述限位板（61）两端的上下两侧均固定连接有与同侧相邻的齿轮（52）互相啮合的齿条A（62），所述限位板（61）与安装盒（5）内壁之间均固定连接有若干个限位弹簧（63）。
5.根据权利要求4所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：所述传动座（6）远离安装盒（5）一侧的顶部和底部均固定连接有安装架（7），且安装架（7）之间转动连接有转杆（72），所述转杆（72）之间设有传动带（73）。
6.根据权利要求5所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：所述安装架（7）上均设有限位孔（71），所述转杆（72）的两端均固定连接有轴杆（74），且轴杆（74）均位于同侧的限位孔（71）内，所述轴杆（74）与限位孔（71）内壁之间均固定连接有发条（75）。
7.根据权利要求5所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：两个所述固定板（1）之间的收纳槽（11）内均放置有晶圆片（2），且晶圆片（2）的两侧均位于收纳槽（11）内顶壁和内底壁的定位孔（13）之间，所述晶圆片（2）靠近安装盒（5）的一侧与传动带（73）接触。
8.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：所述安装盒（5）任意一侧的固定板（1）上设有安装槽（14），且安装槽（14）位于固定板（1）顶部远离安装盒（5）的一侧，所述安装槽（14）内壁设有限位槽（15），所述固定板（1）的底部之间固定连接有若干个加固杆（16）。
9.根据权利要求8所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：所述安装槽（14）内转动连接有限位杆（3），所述限位杆（3）位于安装槽（14）内一端的侧壁设有固定槽（31），所述固定槽（31）内滑动连接有限位块（32），所述限位块（32）与固定槽（31）内壁之间固定连接有固定弹簧（33）。
10.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：所述固定板（1）的顶部之间固定连接有顶板（9），所述顶板（9）的顶部设有放置槽（91），且放置槽（91）内转动连接有把手（92），所述顶板（9）上固定连接有过滤网（93）。
...【技术特征摘要】
1.一种干法刻蚀机用的片架，包括固定板（1），所述固定板（1）设有两个，且两个所述固定板（1）相对的一侧均设有若干个收纳槽（11），其特征在于：所述固定板（1）设有若干个传动腔（12），且传动腔（12）分布于每个收纳槽（11）的上下两侧，所述收纳槽（11）的内顶壁和内底壁均设有两个与相邻传动腔（12）连通的定位孔（13），所述传动腔（12）内均滑动连接有安装板（4），所述安装板（4）靠近定位孔（13）的一侧固定连接有两个定位杆（41），且定位杆（41）均位于同侧的定位孔（13）内，所述定位杆（41）的端部均嵌合有转动连接的橡胶滚珠（42），所述安装板（4）远离定位杆（41）的一侧与传动腔（12）内壁之间固定连接有若干个安装弹簧（43），所述固定板（1）的一侧固定连接有安装盒（5）；
2.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：所述安装盒（5）的两侧均与固定板（1）内的传动腔（12）连通，所述安装盒（5）内转动连接有若干个安装杆（51），所述安装杆（51）的两端均固定连接有齿轮（52）。
3.根据权利要求2所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：所述连接杆（8）远离三角块（82）的一端位于安装盒（5）内，所述连接杆（8）位于安装盒（5）内的一端固定连接有与相邻的齿轮（52）互相啮合的齿条b（81）。
4.根据权利要求2所述的一种干法刻蚀机用的片架，其特征在于：所述安装盒（5）靠近固定板（1）的一侧滑动连接有若干个传动座（6），且传动座（6）分别与固定板（1）上的收纳槽（11）位置对齐，所述传动座（6）靠近安装盒（5）内的一侧固定连接有限位板（61），且限位板（61）与安装盒（5）内壁滑动连接，所述限位板（61）两端的上下两侧均固定连接有与同侧相邻的齿轮（52）互相啮合的齿条a（62），所述限位板（61）与安装盒（5）内壁之间均固定连接有若干个限位弹簧...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙文彬，潘磊，
申请(专利权)人：无锡邑文微电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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