【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种供应体系，尤其是涉及一种盐酸供应体系。
技术介绍
1、盐酸是一种用途广泛的基本工业原料，在半导体制造工艺中也经常用于蚀刻和清洗基板。另外盐酸气化而得到的氯化氢气体，同样也可用作半导体制造工序中的蚀刻气体或清洁气体。
2、半导体工厂使用的盐酸，往往是外部盐酸生产商处提供，由运输车从盐酸生产商处运输并填充于半导体制造工厂的盐酸供应体系中，这就需要一个能够与外部对接的盐酸供应体系。
技术实现思路
1、本技术的目的是确保半导体制造工厂有稳定的盐酸供应，避免因供应中断导致生产暂停或减产。
2、为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
3、本技术提供了一种盐酸供应体系，包括ccb控制柜、盐酸供应柜、盐酸储存罐。其中，ccb控制柜设有密封隔离的对接区，对接区设有盐酸管道接口，盐酸管道接口第一端连接与外部盐酸供应设备连接的盐酸供应管；盐酸运输管道接口第二端连接盐酸第一运输管道的第一端，盐酸第一运输管道的第二端穿过ccb控制柜后连接到盐酸储存罐，盐酸储存罐连接盐酸第二运输管道第一端，盐酸第二运输管道第二端进入盐酸供应柜，并在盐酸供应柜的柜体内连接第一盐酸过滤器的进口端，第一盐酸过滤器的出口端连接到盐酸供应柜的生产线接口。
4、在一种优选实施例中，盐酸第二运输管道设有泵，例如可以是磁力泵，所述泵位于第一盐酸过滤器的上游。
5、其中，所述泵可以是一个或至少两个，当泵是至少两个时候，泵可以是并联设置。
6、在一种优选实施
7、在一种优选实施例中，第一盐酸过滤器与生产线接口之间，连接第一盐酸运输支路，第一盐酸运输支路通过盐酸供应柜外部的盐酸第三运输管道连接到盐酸储存罐。
8、在一种优选实施例中，盐酸供应柜内设有第一取样箱，第一盐酸运输支路在连接盐酸第三运输管道的之前，连接有第二盐酸运输支路，第二盐酸运输支路连接至第一取样箱，所述第一取样箱设有盐酸检测口。
9、在一种优选实施例中，盐酸供应柜设有第一清洗水源接口，第一清洗水源接口通过清洗水管连接到第一取样箱。
10、在一种优选实施例中，所述盐酸供应柜内设有ibc吨桶，所述盐酸供应柜还设有生产线第二接口；所述盐酸第二运输管道在盐酸供应柜内磁力泵上游，连接第三盐酸运输支路第一端，第三盐酸运输支路的第二端穿出盐酸供应柜柜体后连接至生产线第二接口；所述ibc吨桶通过吨桶输送管连接到所述第三盐酸运输支路。
11、在一种优选实施例中，盐酸供应柜内设有两个清洗水枪，所述ibc吨桶在盐酸供应柜内被隔离在独立的腔室内，更优选地，第一清洗水源接口还连接两个清洗水枪，其中一个清洗水枪位于所述独立的腔室内。
12、在一种优选实施例中，第三盐酸运输支路从第一端到第二端依次设有波纹管泵或隔膜泵、混合器、第二盐酸过滤器，其中，吨桶输送管连接到波纹管泵或隔膜泵的上游。
13、在一种优选实施例中，第二盐酸过滤器与生产线第二接口之间，连接有第四盐酸运输支路，第四盐酸运输支路连接到所述第一取样箱。
14、在一种优选实施例中，第二盐酸过滤器和第四盐酸运输支路之间的管道上，连接有第五盐酸运输支路，第五盐酸运输支路穿过盐酸供应柜后，通过盐酸第四运输管道，连接到盐酸储存罐。
15、在一种优选实施例中，所述盐酸供应柜还设有第一氮气源接口、第一气体过滤器、第一阀门控制区、氮气第一运输管道，氮气第一运输管道的第一端连接到第一氮气源接口，第二端在盐酸供应柜内穿过第一气体过滤器、然后穿出盐酸供应柜后连接到盐酸储存罐。
16、在一种优选实施例中，所述氮气第一运输管道在第一气体过滤器下游连接第一阀门控制区。
17、在一种优选实施例中，盐酸供应柜还设有第一排气管，所述第一排气管设有液位计，所述氮气第一运输管道在第一阀门控制区下游通过一个独立的支管道连接到液位计。
18、在一种优选实施例中，所述第一阀门控制区分别连接第一氮气运输支路，依次连接气动阀和ibc吨桶。在一种优选实施例中，在所述气动阀和ibc吨桶之间的管道上，连接第二氮气运输支路，第二氮气运输支路连接液位计。
19、在一种优选实施例中，ccb控制柜内设有第二取样箱，盐酸第一运输管道在穿出ccb控制柜柜体前的管道上，连接第六盐酸运输支路，第六盐酸运输支路连接第二取样箱，所述第二取样箱设有盐酸检测口。
20、在一种优选实施例中，所述ccb控制柜还设有氮气第二运输管道，氮气第二运输管道依次连接有第二氮气源接口、第二气体过滤器、第二阀门控制区和对接区氮气管道接口。
21、在一种优选实施例中，氮气管道接口第一端连接与外部盐酸供应设备的氮气供应管连接，氮气管道接口第二端连接氮气第二运输管道。
22、在一种优选实施例中，所述ccb控制柜设有第二排气管，第二阀门控制区和对接区的氮气管道接口之间的管道上，连接第二氮气运输支路，第二氮气运输支路连接第二排气管。
23、在一种优选实施例中，所述ccb控制柜设有一个氮气枪，所述氮气枪位于ccb控制柜对接区所在独立腔室内。
24、在一种优选实施例中，所述ccb控制柜设有第一清洗水源接口，第一清洗水源接口连接第二取样箱和一支水枪，其中，该水枪位于ccb控制柜对接区所在独立腔室内。
25、在一种优选实施例中，所述盐酸供应柜设有两个氮气枪，所述氮气第一运输管道在第一气体过滤器下游通过独立的支管道连接两个氮气枪，其中一个氮气腔位于所述独立的腔室内，另一个位于ibc吨桶所在独立腔室内。
26、在一种优选实施例中，第一取样箱外部连接有第一排气口，第一排气口连接到第一排气管。
27、在一种优选实施例中，所述混合器设有混合器排气管，混合器排气管连接到第一排气管。
28、在一种优选实施例中，所述盐酸供应柜内设有第一排水管；其中，盐酸供应柜设置的各个阀门、泵、管道均可以连接到第一排水管，例如，所述ibc吨桶、所述独立的腔室、液位计、第一排气管、第一盐酸过滤器、第二盐酸过滤器、混合器、波纹管泵或隔膜泵、磁力泵、第一取样箱中的任意一个都可以连接到第一排水管。
29、在一种优选实施例中，ccb控制柜内设有第二排水管；其中，ccb控制柜设置的各个阀门、管道均可以连接到第二排水管，例如，所述独立的腔室、第二排气管、第二取样箱中的任意一个都可以连接到第二排水管。
30、应当理解的是，本申请各个用于输送盐酸的管道、用于输送氮气的管道、用于输送水的管道、以及各个支路，均可以单独设置阀门。
31、与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下有益效果：
32、本技术提供了一种能够外部盐酸供应设备对接的盐酸供应体系。通过和外部盐酸供应设备对接，实现了盐酸的持续的供应，提高了盐酸本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种盐酸供应体系，其特征在于，所述盐酸供应体系，包括CCB控制柜、盐酸供应柜、盐酸储存罐；其中，CCB控制柜设有密封隔离的对接区，对接区设有盐酸管道接口，盐酸管道接口第一端连接与外部盐酸供应设备连接的盐酸供应管；盐酸运输管道接口第二端连接盐酸第一运输管道的第一端，盐酸第一运输管道的第二端穿过CCB控制柜后连接到盐酸储存罐，盐酸储存罐连接盐酸第二运输管道第一端，盐酸第二运输管道第二端进入盐酸供应柜，并在盐酸供应柜的柜体内连接第一盐酸过滤器的进口端，第一盐酸过滤器的出口端连接到盐酸供应柜的生产线接口。
2.根据权利要求1所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，盐酸第二运输管道设有泵，所述泵位于第一盐酸过滤器的上游。
3.根据权利要求1所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，第一盐酸过滤器与生产线接口之间，连接第一盐酸运输支路，第一盐酸运输支路通过盐酸供应柜外部的盐酸第三运输管道连接到盐酸储存罐。
4.根据权利要求1所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，盐酸供应柜内设有第一取样箱，第一盐酸运输支路在连接盐酸第三运输管道之前，连接有第二盐酸运输支路，第二盐酸
5.根据权利要求4所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，所述盐酸供应柜内设有IBC吨桶，所述盐酸供应柜还设有生产线第二接口；所述盐酸第二运输管道在盐酸供应柜内磁力泵上游，连接第三盐酸运输支路第一端，第三盐酸运输支路的第二端穿出盐酸供应柜柜体后连接至生产线第二接口；所述IBC吨桶通过吨桶输送管连接到所述第三盐酸运输支路。
6.根据权利要求5所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，第三盐酸运输支路从第一端到第二端依次设有波纹管泵、混合器、第二盐酸过滤器，其中，吨桶输送管连接到波纹管泵的上游。
7.根据权利要求6所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，第二盐酸过滤器与生产线第二接口之间，连接有第四盐酸运输支路，第四盐酸运输支路连接到所述第一取样箱。
8.根据权利要求7所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，第二盐酸过滤器和第四盐酸运输支路之间的管道上，连接有第五盐酸运输支路，第五盐酸运输支路穿过盐酸控制柜后，通过盐酸第四运输管道，连接到盐酸储存罐。
9.根据权利要求1所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，CCB控制柜内设有第二取样箱，盐酸第一运输管道在穿出CCB控制柜柜体前的管道上，连接第六盐酸运输支路，第六盐酸运输支路连接第二取样箱，所述第二取样箱设有盐酸检测口。
10.根据权利要求1所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，所述CCB控制柜还设有氮气第二运输管道，氮气第二运输管道依次连接有氮气源接口、第二气体过滤器、第二阀门控制区和对接区氮气管道接口，氮气管道接口第一端连接与外部盐酸供应设备的氮气供应管连接，氮气管道接口第二端连接氮气第二运输管道。
...【技术特征摘要】
1.一种盐酸供应体系，其特征在于，所述盐酸供应体系，包括ccb控制柜、盐酸供应柜、盐酸储存罐；其中，ccb控制柜设有密封隔离的对接区，对接区设有盐酸管道接口，盐酸管道接口第一端连接与外部盐酸供应设备连接的盐酸供应管；盐酸运输管道接口第二端连接盐酸第一运输管道的第一端，盐酸第一运输管道的第二端穿过ccb控制柜后连接到盐酸储存罐，盐酸储存罐连接盐酸第二运输管道第一端，盐酸第二运输管道第二端进入盐酸供应柜，并在盐酸供应柜的柜体内连接第一盐酸过滤器的进口端，第一盐酸过滤器的出口端连接到盐酸供应柜的生产线接口。
2.根据权利要求1所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，盐酸第二运输管道设有泵，所述泵位于第一盐酸过滤器的上游。
3.根据权利要求1所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，第一盐酸过滤器与生产线接口之间，连接第一盐酸运输支路，第一盐酸运输支路通过盐酸供应柜外部的盐酸第三运输管道连接到盐酸储存罐。
4.根据权利要求1所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，盐酸供应柜内设有第一取样箱，第一盐酸运输支路在连接盐酸第三运输管道之前，连接有第二盐酸运输支路，第二盐酸运输支路连接至第一取样箱，所述第一取样箱设有盐酸检测口；盐酸供应柜设有第一清洗水源接口，第一清洗水源接口通过清洗水管连接到第一取样箱。
5.根据权利要求4所述的一种盐酸供应体系，其特征在于，所述盐酸供应柜内设有ibc吨桶，所述盐酸供应柜还设有生产线第二接口；所述盐酸第...
【专利技术属性】
技术研发人员：山世清，
申请(专利权)人：上海晶福机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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