【技术实现步骤摘要】
本公开涉及化学液体分配设备。
技术介绍
1、在显示器和半导体的工艺中使用的衬底加工方法使用化学分配设备，该化学分配设备将化学液体分配到衬底上。用于衬底处理的化学液体是由无机材料制成的墨水，并且具有高粘度，并且当制造显示装置时，随着分辨率的增加，从多个头组件分配的化学液体的量需要均匀。
2、同时，头组件可以被形成有用于循环结构的入口和出口。由于化学液体新流动到头组件中，头组件的入口周围的化学液体的压力较高。由于从头组件排放化学液体，头组件的出口周围的化学液体的压力较低。因此，在与头组件的入口相邻的喷嘴和与头组件的出口相邻的喷嘴之间可能出现压力差，这可能降低冲击的准确性。
3、此外，使用多个头组件将化学液体分配到衬底上，并且在多个头组件中生成的化学液体的压力对于每个头组件可能会变化，这可能导致化学液体的分配速度的差异并且降低冲击的准确性。
技术实现思路
1、本公开的各方面提供了化学液体分配设备，其中可以减小行进通过管道或头组件的化学液体的压力差，并且可以改进冲击的准确性。
2、本公开的各方面不限于上述提及的方面，并且本领域技术人员将通过以下描述清楚地理解未被提及的其他方面。
3、根据本公开的一方面，提供了一种化学液体分配设备，所述化学液体分配设备包括：头组件，所述头组件包括通道单元和多个喷嘴，化学液体流动通过所述通道单元，所述化学液体从所述通道单元流动通过所述多个喷嘴，并且所述多个喷嘴将所述化学液体分配到衬底上；和管道，所述管道连接到所述
4、根据本公开的另一方面，提供了一种化学液体分配设备，所述化学液体分配设备包括：存储单元，所述存储单元存储化学液体；头组件，所述头组件具有用于接收和分配所述化学液体的多个喷嘴，并且所述头组件被设置成多个；和管道，所述管道连接所述多个头组件和所述存储单元，并且所述化学液体行进通过所述管道，其中，所述管道包括第一管线和第二管线，所述第一管线连接到所述头组件并且具有分支结构，所述第二管线连接所述第一管线和所述存储单元。
5、根据本公开的又一方面，提供了一种化学液体分配设备，所述化学液体分配设备包括：头组件，所述头组件包括通道单元和多个喷嘴，化学液体流动通过所述通道单元，所述化学液体从所述通道单元流动通过所述多个喷嘴，并且所述多个喷嘴将所述化学液体分配到衬底上，并且所述头组件被设置成多个；存储单元，所述存储单元向所述多个头组件供应所述化学液体；和管道，所述管道包括第一管线和第二管线，所述第一管线连接到所述头组件并且具有由竖直段和倾斜段的组合形成的分支结构，所述第二管线连接所述第一管线和所述存储单元并且具有由竖直段和倾斜段的组合形成的分支结构，其中，所述通道单元包括：加注通道，所述加注通道包括加注端口并且包括过滤器，所述化学液体流动通过所述加注端口；和泵送通道，所述泵送通道与所述加注通道连通，并且所述泵送通道设置有第一流路和第二流路，所述第一流路由竖直段和倾斜段的组合形成使得省略水平段，并且所述第一流路是对称的，并且所述第一流路以相同的角度和相同的长度分支，以及所述第二流路连接到所述第一流路，所述第二流路将所述化学液体供应到所述多个喷嘴，所述第二流路由竖直段和倾斜段的组合形成使得省略水平段，并且所述第二流路是对称的，并且所述第二流路以相同的角度和相同的长度分支。
6、在详细描述和附图中包括其他实施例的细节。
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1.一种化学液体分配设备，包括：
2.根据权利要求1所述的化学液体分配设备，其中，所述第二流路具有分支结构。
3.根据权利要求2所述的化学液体分配设备，其中，所述第一流路和所述第二流路中的至少一个流路由竖直段和倾斜段的组合形成，使得省略水平段。
4.根据权利要求2所述的化学液体分配设备，其中，所述第一流路具有对称的分支结构，并且所述第一流路以相同的角度和相同的长度分支，以及
5.根据权利要求1所述的化学液体分配设备，其中，所述通道单元包括：
6.根据权利要求5所述的化学液体分配设备，其中，所述加注通道从所述加注端口以倾斜段分支。
7.根据权利要求5所述的化学液体分配设备，其中，所述加注通道具有与所述第一流路的直径相等的下部分和在纵向方向上朝向上部分增大的横截面积。
8.根据权利要求5所述的化学液体分配设备，其中，所述头组件还包括过滤器，所述过滤器横跨所述加注端口并且过滤所述化学液体。
9.根据权利要求5所述的化学液体分配设备，其中，所述加注通道还包括排放端口，通过所述排放端口排放所述化
10.根据权利要求1所述的化学液体分配设备，其中，所述头组件被设置成多个，并且所述头组件还包括存储部分，所述存储部分向所述多个头组件供应所述化学液体，
11.根据权利要求10所述的化学液体分配设备，其中，设置五个头组件，
12.根据权利要求10所述的化学液体分配设备，其中，所述第二管线具有分支结构，并且所述第二管线通过在每两个分支处形成一个单元来连接到所述第一管线。
13.根据权利要求12所述的化学液体分配设备，其中，所述第一管线和所述第二管线中的至少一个管线由竖直段和倾斜段的组合形成，使得省略水平段。
14.一种化学液体分配设备，包括：
15.根据权利要求14所述的化学液体分配设备，其中，所述头组件包括加注端口，所述化学液体流动通过所述加注端口。
16.根据权利要求15所述的化学液体分配设备，其中，所述头组件还包括排放端口，通过所述排放端口排放所述化学液体使得所述化学液体循环，以及
17.根据权利要求14所述的化学液体分配设备，其中，所述第二管线具有分支结构。
18.根据权利要求17所述的化学液体分配设备，其中，所述第一管线具有对称的分支结构，并且所述第一管线以相同的角度和相同的长度分支，以及
19.一种化学液体分配设备，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种化学液体分配设备，包括：
2.根据权利要求1所述的化学液体分配设备，其中，所述第二流路具有分支结构。
3.根据权利要求2所述的化学液体分配设备，其中，所述第一流路和所述第二流路中的至少一个流路由竖直段和倾斜段的组合形成，使得省略水平段。
4.根据权利要求2所述的化学液体分配设备，其中，所述第一流路具有对称的分支结构，并且所述第一流路以相同的角度和相同的长度分支，以及
5.根据权利要求1所述的化学液体分配设备，其中，所述通道单元包括：
6.根据权利要求5所述的化学液体分配设备，其中，所述加注通道从所述加注端口以倾斜段分支。
7.根据权利要求5所述的化学液体分配设备，其中，所述加注通道具有与所述第一流路的直径相等的下部分和在纵向方向上朝向上部分增大的横截面积。
8.根据权利要求5所述的化学液体分配设备，其中，所述头组件还包括过滤器，所述过滤器横跨所述加注端口并且过滤所述化学液体。
9.根据权利要求5所述的化学液体分配设备，其中，所述加注通道还包括排放端口，通过所述排放端口排放所述化学液体使得所述化学液体循环，以及
10.根据权利要求1所述的化学液体分配设备，其中，所述头组...
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