【技术实现步骤摘要】
本技术涉及反应烧结碳化硅，尤其涉及一种碳化硅悬臂桨板。
技术介绍
1、在太阳能光伏电池pn结扩散掺杂设备—扩散炉和半导体制造业中对硅晶圆片进行热生长氧化的高温氧化扩散炉中，悬臂桨是设备中晶圆装载系统的关键部件，反应烧结碳化硅悬臂桨具有高强度、高纯度、高导热、无气孔、耐酸碱腐蚀、高温下无污染、不变形及良好的抗热震稳定性、载重量大等特点，避免了与炉管的直接接触，延长了炉管的使用寿命。工作时，将多个硅晶圆片放置在悬臂桨上，放到高温炉中进行加热烤制，悬臂桨起到支撑作用，市面常见的悬臂桨一般为单桨单独支撑硅晶圆片，其承载能力有限，单次烘烤的硅晶圆片重量有限，为此，市面有公开技术提出一种反应烧结碳化硅悬臂桨，包括固定区、过渡区和承载区，固定区和承载区通过过渡区固定连接，所述悬臂桨成对使用，该技术通过两组悬臂桨成对使用，来提高悬臂桨的承载能力，使悬臂桨不容易断裂，实际上两组成对使用的悬臂桨使用时存在较多弊端，一是两组悬臂桨上表面很难达到同一水平，导致承载硅晶圆片后移进入及退出高温炉中时容易从悬臂桨上掉落，另外两组悬臂桨成对使用时，相互之间起不到关联作用，实际提高的承载力有限；
2、针对上述现有技术中的不足，有必要对碳化硅悬臂桨板结构进行改进和优化。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅悬臂桨板。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种碳化硅悬臂桨板，包括呈前后依次分布的固定区、过渡区以及承载区，所述承载区内壁设置有
3、作为上述技术方案的进一步描述：
4、所述过渡区下壁设置有倒角，所述倒角衔接固定区下壁和承载区下壁。
5、作为上述技术方案的进一步描述：
6、所述承载区上下方向厚度为固定区上下方向厚度的一半。
7、作为上述技术方案的进一步描述：
8、所述u型槽俯视投影下宽度为承载臂俯视投影宽度的四倍。
9、作为上述技术方案的进一步描述：
10、所述拉筋结构包括连接管、两组外挡板、内挡板，所述连接管卡接在多组卡槽中呈左右相对的两组之间，所述卡槽宽度尺寸以及长条孔宽度尺寸均大于连接管外径尺寸，两组所述外挡板均固定连接在连接管外壁且分别与两条承载臂相对一侧抵接，两组所述内挡板均固定连接在连接管外壁且分别与两处矩形孔相对的一侧内侧壁抵接。
11、作为上述技术方案的进一步描述：
12、所述卡槽内侧前壁及内侧后壁均设置有朝向卡槽内部凸起的卡凸，所述连接管通过两处卡凸与卡槽卡接。
13、本技术具有如下有益效果：
14、与现有技术相比，该碳化硅悬臂桨板，通过在承载区设置u型槽，一方面可以减轻承载区自身的重量，另一方面可以减少承载区和硅晶圆片接触面积，从而避免承载区阻挡热量，同时，一体制作的两条承载臂其上表面可以保持在同一水平面，不会在运输过程中导致硅晶圆片掉落，设置的拉筋结构可以使得两条承载臂相互关联起来，大大提升承载力。
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1.一种碳化硅悬臂桨板，包括呈前后依次分布的固定区(1)、过渡区(2)以及承载区(3)，其特征在于：所述承载区(3)内壁设置有呈上下贯通的U型槽(5)，所述U型槽(5)与承载区(3)远离过渡区(2)的一端贯通，所述承载区(3)通过U型槽(5)形成两条承载臂且两条承载臂呈平行分布，两条所述承载臂截面形状均呈长方形且均为上下方向尺寸大于左右方向尺寸，两条所述承载臂内壁均设置有与承载区(3)后端贯通的矩形孔(6)，两条所述承载臂相对一侧均设置有长条孔(7)，所述长条孔(7)使得矩形孔(6)与外部贯通，所述长条孔(7)与承载区(3)后端贯通，两组所述长条孔(7)内侧下壁从前到后依次设置有多组卡槽(8)，多组所述卡槽(8)中呈左右相对的两组之间设置有用于固定两条承载臂以提高强度的拉筋结构。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅悬臂桨板，其特征在于：所述过渡区(2)下壁设置有倒角(4)，所述倒角(4)衔接固定区(1)下壁和承载区(3)下壁。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅悬臂桨板，其特征在于：所述承载区(3)上下方向厚度为固定区(1)上下方向厚度的一半。
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