【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超精密静压导轨的测试，尤其涉及一种超精密静压导轨的精度性能测试装置及试验平台。
技术介绍
1、超精密静压导轨是超精密机床重要的核心功能部件，其性能直接影响超精密机床加工的工件表面质量，故对于超精密静压导轨各个性能指标的检测尤为重要。
2、相关技术中，大多测试装置仅能够实现精密级的静压导轨的单一性能指标的测量，这导致超精密级的测量误差较大，且单一性能指标测量会导致在测试多个性能指标是需要移动静压导轨，一方面不稳定因素增加会导致测量精准性的风险较高，且会降低测试的效率。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种超精密静压导轨的精度性能测试装置及试验平台，用以解决现有技术中难以实现超精密静压导轨各个性能指标检困难，且单一设备仅能够提供单一性能指标检测的缺陷。
2、本专利技术第一方面提供一种超精密静压导轨的性能测试装置，包括：基座、工作平台、导轨组件、安装座、防护罩、激光干涉组件、位移支架和调整座，所述基座设有多个气浮隔振件；所述工作平台与所述气浮隔振件连接，并位于所述基座上方，所述气浮隔振件用于支撑所述工作平台；所述导轨组件设于所述工作平台上，所述导轨组件包括两个间隔设置的滑轨，所述滑轨的两端均设有位置传感器，且两个所述滑轨之间形成有安装空间；所述安装座设于所述安装空间内，所述安装座上设有用于安装待测工件的滑动平台，所述滑动平台与所述安装座滑动连接，所述滑动平台配置为沿第一方向滑动；所述防护罩设于所述工作平台上，所述防护罩由所述安装座一端沿所述第一方向延
3、根据本专利技术提供的所述的超精密静压导轨的精度性能测试装置，所述基座为矩形基座，所述基座的四个角上均设有所述气浮隔振件，所述气浮隔振件的一端与所述基座连接，所述气浮隔振件的另一端与所述工作平台连接；其中，四个所述气浮隔振件通过管路系统与调节器连接，所述调节器的输入端与气源相连，以通过所述调节器调节所述气浮隔振件的气压。
4、根据本专利技术提供的所述的超精密静压导轨的精度性能测试装置，所述位移支架构造为门框状结构，所述位移支架的顶部和所述位移支架的至少一侧均设有所述刚度测试组件。
5、根据本专利技术提供的所述的超精密静压导轨的精度性能测试装置，所述位移支架的底部设有锁止部件，所述锁止部件配置为在锁止状态时防止所述位移支架移动。
6、根据本专利技术提供的所述的超精密静压导轨的精度性能测试装置，靠近所述防护罩的两端均设有支撑架，所述支撑架的底部固定设置于所述工作平台上，所述支撑架的顶部与所述防护罩连接，以支撑所述防护罩。
7、根据本专利技术提供的所述的超精密静压导轨的精度性能测试装置，激光干涉组件包括激光干涉仪、支撑组件、干涉镜和反射镜；所述激光干涉仪设于所述支撑组件上，所述支撑组件与所述工作平台固定连接；所述干涉镜与所述激光干涉仪在所述第一方向上间隔设置，且所述干涉镜位于所述内部通道中，以使所述激光干涉仪发出的激光束穿过所述干涉镜；所述反射镜设于所述安装座上，且反射镜位于所述内部通道中，所述反射镜用于反射通过所述干涉镜后的部分激光束。
8、根据本专利技术提供的所述的超精密静压导轨的精度性能测试装置，所述支撑组件包括支撑座、升降台、磁力表座和云台；所述支撑座固定设于所述工作平台上，所述升降台的底部设有升降杆，所述升降杆与所述支撑座滑动连接，所述磁力表座的底部设于所述升降台上，所述磁力表座的顶部与所述云台连接，所述云台用于安装所述激光干涉仪；其中，所述支撑座上设有调节部，所述调节部配置为能够与所述升降杆抵接，以限制所述升降杆的移动。
9、根据本专利技术提供的所述的超精密静压导轨的精度性能测试装置，所述安装座的两侧均设有固定块，每一所述固定块上设有多个所述调整座。
10、根据本专利技术提供的所述的超精密静压导轨的精度性能测试装置，所述基座底部固定连接有多个垫铁，多个垫铁用于支撑所述基座。
11、本专利技术的第二方面提供一种试验平台，包括数据处理系统以及上述实施例中任一项所述的超精密静压导轨的精度性能测试装置，所述数据处理系统与所述精度性能测试装置通信连接。
12、本专利技术提供的一种超精密静压导轨的精度性能测试装置，工作平台通过气浮隔振件的设置使得工作平台与基座之间具有间隙，这使得工作平台能够隔离由于振动产生的影响，且防护罩的设置，使得激光组件能够避免外部环境影响，从而能够避免外部的影响因素对于测试结果的影响，提高了测量精度能够适用于超精密级的测量。进一步，通过导轨组件、位移支架和安装座的位置布局，以及与激光干涉组件、刚度测试组件、直线度测试组件的配合，实现了在同一工作平台上多个性能指标的测试，提高了测试效率。
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1.一种超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，所述基座为矩形基座，所述基座的四个角上均设有所述气浮隔振件，所述气浮隔振件的一端与所述基座连接，所述气浮隔振件的另一端与所述工作平台连接；
3.根据权利要求1所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，所述位移支架构造为门框状结构，所述位移支架的顶部和所述位移支架的至少一侧均设有所述刚度测试组件。
4.根据权利要求3所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，所述位移支架的底部设有锁止部件，所述锁止部件配置为在锁止状态时防止所述位移支架移动。
5.根据权利要求1所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，靠近所述防护罩的两端均设有支撑架，所述支撑架的底部固定设置于所述工作平台上，所述支撑架的顶部与所述防护罩连接，以支撑所述防护罩。
6.根据权利要求1所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，激光干涉组件包括激光干涉仪、支撑组件、干涉镜和反射镜；所述激光干涉仪设于所述支撑组件上，所述
7.根据权利要求6所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，所述支撑组件包括支撑座、升降台、磁力表座和云台；所述支撑座固定设于所述工作平台上，所述升降台的底部设有升降杆，所述升降杆与所述支撑座滑动连接，所述磁力表座的底部设于所述升降台上，所述磁力表座的顶部与所述云台连接，所述云台用于安装所述激光干涉仪；
8.根据权利要求1所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，所述安装座的两侧均设有固定块，每一所述固定块上设有多个所述调整座。
9.根据权利要求1所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，所述基座底部固定连接有多个垫铁，多个垫铁用于支撑所述基座。
10.一种试验平台，其特征在于，包括数据处理系统以及如权利要求1-9任一项所述的超精密静压导轨的精度性能测试装置，所述数据处理系统与所述精度性能测试装置通信连接。
...【技术特征摘要】
1.一种超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，所述基座为矩形基座，所述基座的四个角上均设有所述气浮隔振件，所述气浮隔振件的一端与所述基座连接，所述气浮隔振件的另一端与所述工作平台连接；
3.根据权利要求1所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，所述位移支架构造为门框状结构，所述位移支架的顶部和所述位移支架的至少一侧均设有所述刚度测试组件。
4.根据权利要求3所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，所述位移支架的底部设有锁止部件，所述锁止部件配置为在锁止状态时防止所述位移支架移动。
5.根据权利要求1所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，靠近所述防护罩的两端均设有支撑架，所述支撑架的底部固定设置于所述工作平台上，所述支撑架的顶部与所述防护罩连接，以支撑所述防护罩。
6.根据权利要求1所述的超精密静压导轨的性能测试装置，其特征在于，激光...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴东旭，张明月，李云飞，朱生根，李军，白桦，王辉，宋国伟，
申请(专利权)人：北京机床研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：
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