【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及单晶生产设备，尤其涉及一种水冷屏及单晶炉。
技术介绍
1、在使用直拉法制备单晶硅的过程中，晶棒在向上移动的过程中，需要对晶棒进行冷却，以使晶棒固定成型从而生产出单晶硅棒。
2、相关技术中，常通过水冷屏对晶棒进行冷却，水冷屏主要由进水管、出水管和换热通道组成，水从进水管流进换热通道的一端，并从换热通道的另一端流向出水管，通过水与晶棒之间的辐射换热来对晶棒进行冷却。
3、然而，相关水冷屏存在对晶棒的冷却效果差的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例的主要目的是提供一种水冷屏及单晶炉，以解决相关水冷屏对晶棒的冷却效果差的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请实施例提供了一种水冷屏，包括：
3、冷却筒体，其包括内壁体和外壁体，所述内壁体和所述外壁体围合成中空的腔体；
4、冷却管道，螺旋绕设于所述腔体内，所述冷却管道占据部分所述腔体，所述冷却管道外的所述腔体形成第一冷却液流道，所述冷却管道内具有第二冷却液流道。
5、在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述冷却管道沿所述冷却筒体的轴线方向间隔盘绕。
6、在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述冷却管道与所述内壁体之间间隔设置。
7、在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述内壁体包括沿所述冷却筒体的轴线方向依次排布的多个曲面；沿所述冷却筒体的轴线方向，所述曲面由一端向另一端沿曲线延伸。
8、在可以包括上述实施例的
9、在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述水冷屏还包括：
10、第一进液管，其一端延伸至所述冷却筒体外，另一端与所述第一冷却液流道连通；
11、第一出液管，其一端延伸至所述冷却筒体外，另一端与所述第一冷却液流道连通；
12、第二进液管，其一端延伸至所述冷却筒体外，另一端与所述第二冷却液流道连通；
13、第二出液管，其一端延伸至所述冷却筒体外，另一端与所述第二冷却液流道连通。
14、在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述冷却筒体具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端分别位于所述冷却筒体沿自身轴线方向的两端，所述冷却筒体的内径由所述第一端向所述第二端减小。
15、在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述第一进液管、所述第一出液管、所述第二进液管和所述第二出液管均设置于所述第一端。
16、在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述第一进液管和所述第一出液管的内径均为第一内径；
17、所述第二进液管和所述第二出液管的内径均为第二内径，所述第二内径小于所述第一内径。
18、本申请实施例还提供了一种单晶炉，包括上述实施例中任一项所述的水冷屏。
19、本申请实施例提供的水冷屏及单晶炉，水冷屏包括冷却筒体和冷却管道，冷却筒体包括内壁体和外壁体，内壁体和外壁体围合成中空的腔体；冷却管道螺旋绕设于腔体内，冷却管道占据部分腔体，冷却管道外的腔体形成第一冷却液流道，冷却管道内具有第二冷却液流道。在对晶棒进行冷却时，第一冷却液流道内流通的第一冷却液用于与晶棒进行辐射换热以吸收晶棒的热量。第二冷却液流道内的第二冷却液用于与第一冷却液经过冷却管道的管壁进行热传导换热，以吸收第一冷却液的热量，使第一冷却液的温度降低，增大了第一冷却液和晶棒之间的温差，提高了第一冷却液和晶棒的换热效率，从而提高了水冷屏对晶棒的冷却效果，提高了晶棒的结晶效率
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1.一种水冷屏，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的水冷屏，其特征在于，所述冷却管道(20)沿所述冷却筒体(10)的轴线方向间隔盘绕。
3.根据权利要求1所述的水冷屏，其特征在于，所述冷却管道(20)与所述内壁体(11)之间间隔设置。
4.根据权利要求1所述的水冷屏，其特征在于，所述内壁体(11)包括沿所述冷却筒体(10)的轴线方向依次排布的多个曲面(111)；
5.根据权利要求4所述的水冷屏，其特征在于，所述曲面(111)朝向所述冷却筒体(10)的轴线凸出。
6.根据权利要求1-5任一项所述的水冷屏，其特征在于，所述水冷屏还包括：
7.根据权利要求6所述的水冷屏，其特征在于，所述冷却筒体(10)具有第一端(14)和第二端(15)，所述第一端(14)和所述第二端(15)分别位于所述冷却筒体(10)沿自身轴线方向的两端，所述冷却筒体(10)的内径由所述第一端(14)向所述第二端(15)减小。
8.根据权利要求7所述的水冷屏，其特征在于，所述第一进液管(30)、所述第一出液管(40)、所述第二
9.根据权利要求7所述的水冷屏，其特征在于，所述第一进液管(30)和所述第一出液管(40)的内径均为第一内径；
10.一种单晶炉，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的水冷屏。
...【技术特征摘要】
1.一种水冷屏，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的水冷屏，其特征在于，所述冷却管道(20)沿所述冷却筒体(10)的轴线方向间隔盘绕。
3.根据权利要求1所述的水冷屏，其特征在于，所述冷却管道(20)与所述内壁体(11)之间间隔设置。
4.根据权利要求1所述的水冷屏，其特征在于，所述内壁体(11)包括沿所述冷却筒体(10)的轴线方向依次排布的多个曲面(111)；
5.根据权利要求4所述的水冷屏，其特征在于，所述曲面(111)朝向所述冷却筒体(10)的轴线凸出。
6.根据权利要求1-5任一项所述的水冷屏，其特征在于，所述水冷屏还包括：
7.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：时坤，马腾飞，乔乐，
申请(专利权)人：青海高景太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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