【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，尤其是涉及一种灯板返修设备。
技术介绍
1、由于封装工艺不良、灯珠原材料缺陷等因素，灯板上的个别灯珠可能存在无法点亮、亮度过暗或过亮、偏色等问题，需对灯板进行返修，将不良灯珠替换为可正常工作的良品灯珠。相关技术中，可通过自动返修设备对异常灯板进行返修，自动返修设备设置于生产灯板的流水线中，异常灯板在自动返修设备中经过去晶、点锡、补晶、焊接等步骤后输出，自动返修设备串联在流水线中，若返修设备出现故障，则可能导致流水线整体停线，对流水线的生产效率造成较大的影响。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种灯板返修设备，有利于降低灯板生产流水线的故障率，减少流水线停线次数，保证流水线的生产效率。
2、本技术实施例提供的一种灯板返修设备，包括：机台；返修机构，安装于所述机台，所述返修机构包括输送组件、去晶焊接组件及点锡贴片组件，其中：所述输送组件包括载具及输送轨道，所述输送轨道连接于所述机台且沿第一方向延伸，所述第一方向垂直于竖直方向，所述输送轨道具有沿所述第一方向设置的第一工位及第二工位，所述载具滑动连接于所述输送轨道，所述载具用于承载灯板并带动所述灯板沿第一方向移动以经过所述第一工位与所述第二工位；所述去晶焊接组件位于所述第一工位的上方，所述去晶焊接组件包括第一支架、激光器及去晶件，所述第一支架连接于所述机台，所述激光器与所述去晶件均连接于所述第一支架，所述激光器能够对所述灯板上的不良灯珠进行解焊以及将良品灯
3、本技术实施例提供的一种灯板返修设备设置有多个返修机构，在每个返修机构中，存在不良灯珠的灯板自输送轨道靠近第一工位的一端输入，灯板承载于载具上，载具首先带动灯板移动至第一工位，激光器对不良灯珠进行解焊，使不良灯珠从灯板上脱离，而后去晶件去除脱离后的不良灯珠，使焊盘露出；然后，载具带动灯板移动至第二工位，点锡件将锡膏点印至露出的焊盘后，贴片件将良品灯珠贴附于锡膏上；最后，载具带动灯板返回第一工位，激光器将良品灯珠焊接至灯板上后，载具带动灯板从输送轨道靠近第一工位的一端输出。上述过程中，灯板自输送轨道的一端输入并从输送轨道的同一端输出，可设置用于输送灯板进出灯板返修设备的传送带位于输送轨道靠近第一工位的一端且沿第二方向延伸，使多个返修机构与传送带并联，当其中一个返修机构出现故障时，其他返修机构仍然能够继续对传送带送来的灯板进行返修，返修后的灯板也仍然能够顺利地输出，单个返修机构出现故障时不会导致流水线整体停线，而多个返修机构同时出现故障的概率较低，有利于降低灯板生产流水线的故障率，减少流水线停线次数，保证流水线的生产效率；此外，在多个返修机构均正常工作的情况下，多个返修机构能够同时返修多个灯板，有利于提升灯板的返修效率。
4、在本技术的一些实施例中，所述去晶焊接组件还包括推刀，所述推刀活动连接于所述第一支架，所述推刀能够接触于所述灯板并与所述灯板相对移动以使所述不良灯珠与所述焊盘脱离。
5、在本技术的一些实施例中，所述点锡贴片组件还包括第一视觉识别件，所述第一视觉识别件连接于所述第二支架，所述载具能够带动所述灯板相对所述第一视觉识别件移动，所述第一视觉识别件用于定位所述焊盘所在的位置。
6、在本技术的一些实施例中，所述贴片件沿所述第二方向滑动连接于所述第二支架，所述灯板返修设备还包括供片机构，所述供片机构安装于所述机台，所述供片机构用于承载多个所述良品灯珠，所述供片机构与两个所述第二工位沿所述第二方向设置，所述贴片件能够从所述供片机构上拾取所述良品灯珠，并沿第二方向在所述供片机构与所述第二工位之间移动以将所述良品灯珠从所述供片机构移动至位于所述第二工位的所述灯板。
7、在本技术的一些实施例中，所述供片机构包括供片组件及第二视觉识别件，所述第二视觉识别件位于所述供片组件的上方，所述供片组件包括支撑件，所述支撑件用于承载具有所述良品灯珠的晶圆，所述支撑件能够带动所述晶圆相对所述第二视觉识别件移动，所述第二视觉识别件能够识别待取用的所述良品灯珠并发出拾取信号，所述贴片件能够根据所述拾取信号移动至待取用的所述良品灯珠处并拾取所述良品灯珠。
8、在本技术的一些实施例中，所述供片机构还包括第三视觉识别件，在所述第二方向上，所述第三视觉识别件位于所述供片组件与所述第二工位之间，在所述贴片件经过所述第三视觉识别件时，所述第三视觉识别件能够识别所述贴片件所拾取的所述良品灯珠的角度并发出调整信号，所述贴片件能够绕自身轴线转动以根据所述调整信号调整所述良品灯珠的角度。
9、在本技术的一些实施例中，所述供片机构还包括顶出组件，所述顶出组件包括顶针，所述顶针沿竖直方向活动连接于所述机台，所述顶针能够相对所述机台沿竖直方向移动以将所述良品灯珠从所述晶圆上顶出。
10、在本技术的一些实施例中，所述供片组件还包括第一滑动件及第二滑动件，所述第一滑动件沿第一方向滑动连接于所述第二滑动件，所述第二滑动件沿第二方向滑动连接于所述机台，所述支撑件转动连接于所述第一滑动件，所述支撑件包括多个支撑部，多个所述支撑部环绕于所述支撑件与所述第一滑动件的连接处，多个所述支撑部用于一一对应地承载多个所述晶圆。
11、在本技术的一些实施例中，所述载具包括载台及滑台，所述滑台沿所述第一方向滑动连接于所述输送轨道，所述载台沿所述第二方向滑动连接于所述滑台，所述载台用于承载所述灯板。
12、在本技术的一些实施例中，所述供片机构位于两个相邻的所述返修机构的所述第二工位之间，所述供片机构用于向两个所述第二工位供给所述良品灯珠。
13、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种灯板返修设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的灯板返修设备，其特征在于，所述去晶焊接组件还包括推刀，所述推刀活动连接于所述第一支架，所述推刀能够接触于所述灯板并与所述灯板相对移动以使所述不良灯珠与所述焊盘脱离。
3.根据权利要求1所述的灯板返修设备，其特征在于，所述点锡贴片组件还包括第一视觉识别件，所述第一视觉识别件连接于所述第二支架，所述载具能够带动所述灯板相对所述第一视觉识别件移动，所述第一视觉识别件用于定位所述焊盘所在的位置。
4.根据权利要求1所述的灯板返修设备，其特征在于，所述贴片件沿所述第二方向滑动连接于所述第二支架，所述灯板返修设备还包括供片机构，所述供片机构安装于所述机台，所述供片机构用于承载多个所述良品灯珠，所述供片机构与两个所述第二工位沿所述第二方向设置，所述贴片件能够从所述供片机构上拾取所述良品灯珠，并沿第二方向在所述供片机构与所述第二工位之间移动以将所述良品灯珠从所述供片机构移动至位于所述第二工位的所述灯板。
5.根据权利要求4所述的灯板返修设备，其特征在于，所述供片机构包括供片组件及第二
6.根据权利要求5所述的灯板返修设备，其特征在于，所述供片机构还包括第三视觉识别件，在所述第二方向上，所述第三视觉识别件位于所述供片组件与所述第二工位之间，在所述贴片件经过所述第三视觉识别件时，所述第三视觉识别件能够识别所述贴片件所拾取的所述良品灯珠的角度并发出调整信号，所述贴片件能够绕自身轴线转动以根据所述调整信号调整所述良品灯珠的角度。
7.根据权利要求6所述的灯板返修设备，其特征在于，所述供片机构还包括顶出组件，所述顶出组件包括顶针，所述顶针沿竖直方向活动连接于所述机台，所述顶针能够相对所述机台沿竖直方向移动以将所述良品灯珠从所述晶圆上顶出。
8.根据权利要求5所述的灯板返修设备，其特征在于，所述供片组件还包括第一滑动件及第二滑动件，所述第一滑动件沿第一方向滑动连接于所述第二滑动件，所述第二滑动件沿第二方向滑动连接于所述机台，所述支撑件转动连接于所述第一滑动件，所述支撑件包括多个支撑部，多个所述支撑部环绕于所述支撑件与所述第一滑动件的连接处，多个所述支撑部用于一一对应地承载多个所述晶圆。
9.根据权利要求5所述的灯板返修设备，其特征在于，所述供片机构位于两个相邻的所述返修机构的所述第二工位之间，所述供片机构用于向两个所述第二工位供给所述良品灯珠。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的灯板返修设备，其特征在于，所述载具包括载台及滑台，所述滑台沿所述第一方向滑动连接于所述输送轨道，所述载台沿所述第二方向滑动连接于所述滑台，所述载台用于承载所述灯板。
...【技术特征摘要】
1.一种灯板返修设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的灯板返修设备，其特征在于，所述去晶焊接组件还包括推刀，所述推刀活动连接于所述第一支架，所述推刀能够接触于所述灯板并与所述灯板相对移动以使所述不良灯珠与所述焊盘脱离。
3.根据权利要求1所述的灯板返修设备，其特征在于，所述点锡贴片组件还包括第一视觉识别件，所述第一视觉识别件连接于所述第二支架，所述载具能够带动所述灯板相对所述第一视觉识别件移动，所述第一视觉识别件用于定位所述焊盘所在的位置。
4.根据权利要求1所述的灯板返修设备，其特征在于，所述贴片件沿所述第二方向滑动连接于所述第二支架，所述灯板返修设备还包括供片机构，所述供片机构安装于所述机台，所述供片机构用于承载多个所述良品灯珠，所述供片机构与两个所述第二工位沿所述第二方向设置，所述贴片件能够从所述供片机构上拾取所述良品灯珠，并沿第二方向在所述供片机构与所述第二工位之间移动以将所述良品灯珠从所述供片机构移动至位于所述第二工位的所述灯板。
5.根据权利要求4所述的灯板返修设备，其特征在于，所述供片机构包括供片组件及第二视觉识别件，所述第二视觉识别件位于所述供片组件的上方，所述供片组件包括支撑件，所述支撑件用于承载具有所述良品灯珠的晶圆，所述支撑件能够带动所述晶圆相对所述第二视觉识别件移动，所述第二视觉识别件能够识别待取用的所述良品灯珠并发出拾取信号，所述贴片件能够根据所述拾取信号移动至待取用的所述良品灯珠处并拾取所述良品灯珠。
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【专利技术属性】
技术研发人员：李兵，杨林，王国安，宿宝龙，
申请(专利权)人：海目星激光科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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