【技术实现步骤摘要】
本申请涉及集成电路，特别涉及一种窄薄金属带压延装置。
技术介绍
1、集成电路是电子信息产业的核心，窄薄金属带(厚度0.006-0.030毫米，宽度0.01-0.1毫米)联结硅片电极与引线框架外部引出端子，是实现芯片与集成电路中间“信息沟通”及“电路输送”的关键导体材料。
2、窄薄金属带是航空航天、军工等重点领域大电流器件(功率器件、微波器件)封装的必须和关键材料，要求具有优良的成型性能和键合性能。
3、目前金属带多采用异型模具拉拔和多棍压延后机械切割方式获得，但对于窄薄金属带由于其厚度较薄、宽度较窄(宽厚比较大，最大可达30)，异型模具拉拔其精度偏差较大，多棍压延后机械切割0.1毫米以下宽度难以实现，无法获得高精度、大宽厚比的窄薄带。
4、因而，亟需提供一种针对上述现有技术不足的技术方案。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种窄薄金属带压延装置，以解决或缓解上述现有技术中存在的问题。
2、为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：
3、本申请提供一种窄薄金属带压延装置，包括：依次布置的放线单元、加热单元、压延单元和收线单元；所述放线单元上设置有第一伺服张力自动控制机构，用于自动调节丝线材的放线速度；所述加热单元通过电阻加热丝对由所述放线单元放出的所述丝线材进行加热；所述压延单元用于将由所述加热单元加热后的所述丝线材进行压延成型为窄薄金属带；所述收线单元用于对由所述压延单元压延后成型后的窄薄金属带进行收卷，所述收线单元
4、优选的，所述第一伺服张力自动控制机构包括：角位移传感器、张力杆和导线轮；所述角位移传感器转动安装于机架上；所述张力杆的一端与所述角位移传感器固定连接，另一端转动安装所述导线轮。
5、优选的，所述加热单元包括保温层、石英玻璃管、所述电阻加热丝；所述石英玻璃管沿轴向贯穿所述保温层；所述电阻加热丝缠绕于所述石英玻璃管的外侧，且位于所述保温层内；所述石英玻璃管朝向所述压延单元的一端设置有保护气进口，以向所述石英玻璃管内通入惰性气体。
6、优选的，所述压延单元包括：固定压延部和浮动压延部，所述固定压延部固定安装于机架上，所述浮动压延部位于所述固定压延部的正上方，且能够在所述机架上沿垂直方向进行浮动，以调整与所述固定压延部之间的间距。
7、优选的，所述浮动压延部包括：上压延支架、压延调整丝杠、调整丝环和蜗轮蜗杆减速器；所述调整丝环固定安装于机架上，所述压延调整丝杆的上端与所述调整丝环相适配，下端与所述上压延支架的上端螺纹连接；所述蜗轮蜗杆减速器的输出轴与所述压延调整丝杆穿过所述调整丝环的上端连接；且所述蜗轮蜗杆减速器通过螺栓固定于机架上。
8、优选的，所述上压延支架的下端安装有上压延辊，所述上压延辊的硬度高于90hra，且研磨装配后跳动小于1μm。
9、优选的，所述第一激光测量仪与所述放线单元之间设置理由第一导向轮，所述第一导向轮的导向槽为v字型。
10、优选的，所述第二激光测量仪与所述压延单元之间、以及所述第二激光测量仪与所述收线单元之间均安装有第二导向轮；所述第二导向轮的导向槽为矩形，且所述导向槽的底边宽度为所述窄薄金属带的宽度的2-5倍。
11、有益效果：
12、本申请实施例提供的窄薄金属带压延装置，包括依次布置的防线单元、加热单元、压延单元和收线单元；防线单元上设置有第一伺服张力自动控制机构，以自动调节丝线材的放线速度；加热单元通过电阻丝加热对由放线单元放出的丝线材进行加热；压延单元将由加热单元加热后的丝线材进行压延成型为窄薄金属带；收线单元对由压延单元压延成型后的窄薄金属带进行收卷，收线单元上设置有第二伺服张力自动控制机构，以自动调节窄薄金属带的收卷速度；加热单元与压延单元之间设置有第一激光测量仪，压延单元与收线单元之间设置有第二激光测量仪，第一激光测量仪对由加热单元加热后进入压延单元的丝线材的直径进行实时在线监测，第二激光测量仪对压延单元压延成型后的窄薄金属带的宽度进行实时在线监测。
13、籍以，通过在丝线材压延前后用高精度伺服张力自动控制机构控制主动放线、收线，实现压延过程中丝线材均匀稳定；压延前后通过采用在线激光测量仪测量压延前丝线材直径和压延后宽度的变化，自动调整压延单元的下压量，从而获得高精度的窄薄金属带材。
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1.一种窄薄金属带压延装置，其特征在于，包括：依次布置的放线单元、加热单元、压延单元和收线单元；
2.根据权利要求1所述的窄薄金属带压延装置，其特征在于，所述第一伺服张力自动控制机构包括：角位移传感器、张力杆和导线轮；
3.根据权利要求1所述的窄薄金属带压延装置，其特征在于，所述加热单元包括保温层、石英玻璃管、所述电阻加热丝；
4.根据权利要求1所述的窄薄金属带压延装置，其特征在于，所述压延单元包括：固定压延部和浮动压延部，
5.根据权利要求4所述的窄薄金属带压延装置，其特征在于，所述浮动压延部包括：上压延支架、压延调整丝杠、调整丝环和蜗轮蜗杆减速器；
6.根据权利要求5所述的窄薄金属带压延装置，其特征在于，所述上压延支架的下端安装有上压延辊，所述上压延辊的硬度高于90HRA，且研磨装配后跳动小于1μm。
7.根据权利要求1所述的窄薄金属带压延装置，其特征在于，所述第一激光测量仪与所述放线单元之间设置理由第一导向轮，所述第一导向轮的导向槽为V字型。
8.根据权利要求2所述的窄薄金属带压延装置，其特
...【技术特征摘要】
1.一种窄薄金属带压延装置，其特征在于，包括：依次布置的放线单元、加热单元、压延单元和收线单元；
2.根据权利要求1所述的窄薄金属带压延装置，其特征在于，所述第一伺服张力自动控制机构包括：角位移传感器、张力杆和导线轮；
3.根据权利要求1所述的窄薄金属带压延装置，其特征在于，所述加热单元包括保温层、石英玻璃管、所述电阻加热丝；
4.根据权利要求1所述的窄薄金属带压延装置，其特征在于，所述压延单元包括：固定压延部和浮动压延部，
5.根据权利要求4所述的窄薄金属带压延装置，其特征在于，所述浮动压延部包...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹军，吴雪峰，王东升，张俊超，李田，王福荣，
申请(专利权)人：河南理工大学，
类型：发明
国别省市：
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