【技术实现步骤摘要】
本公开涉及波导，特别涉及一种波导制备的方法、波导放大器制备的方法。
技术介绍
1、通过在波导放大器中(具体是其波导器件中)掺杂稀土元素，可改善波导放大器的性能。
2、但相关技术中，难以精确控制掺杂的稀土元素的掺杂量和空间分布，从而导致波导放大器无法稳定达到所需性能。
技术实现思路
1、本公开提供一种波导制备的方法、波导放大器制备的方法。
2、第一方面，本公开实施例提供一种波导制备的方法，其中，包括：
3、通过阶梯能量离子辐照，分别向波导基体注入铒和镱；
4、其中，所述阶梯能量离子辐照包括依次在多个不同的辐照能量下注入同种元素。
5、第二方面，本公开实施例提供一种波导放大器制备的方法，其包括：
6、使用本公开实施例的任意一种波导制备的方法，对波导放大器的所述波导基体进行离子辐照。
7、本公开实施例中采用阶梯能量离子辐照的方式分别注入铒和镱；其中，在不同的辐照能量下注入同一种元素时会有不同的浓度分布，故通过在多个辐照能量下注入相同元素，可使多次注入的元素的“整体”在较大深度范围有均匀的浓度分布，且浓度值较高；由此，本公开实施例在波导放大器(具体是其波导器件中)中实现了对铒和镱的高浓度且均匀的掺杂，能避免铒离子团簇的产生，达到更好的光增益效果，改善波导放大器的性能；同时，铒和镱的掺杂情况可分别独立的精确控制，故可适配多种不同类型、尺寸的波导中的光场分布，实现更大的有源物质区光模场的耦合限制因子。
【技术保护点】
1.一种波导制备的方法，其中，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，
3.根据权利要求1所述的方法，其中，
4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述通过阶梯能量离子辐照，分别向所述波导基体注入铒和镱包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述通过阶梯能量离子辐照，分别向波导基体注入铒和镱之前，还包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其中，
7.根据权利要求1所述的方法，其中，
8.根据权利要求1所述的方法，其中，在注入镱的所述阶梯能量离子辐照中，
9.根据权利要求1所述的方法，其中，注入铒的所述阶梯能量离子辐照中，
10.根据权利要求1所述的方法，其中，
11.一种波导放大器制备的方法，其中，包括：
【技术特征摘要】
1.一种波导制备的方法，其中，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，
3.根据权利要求1所述的方法，其中，
4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述通过阶梯能量离子辐照，分别向所述波导基体注入铒和镱包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述通过阶梯能量离子辐照，分别向波导基体注入铒和镱之前，还包括：
...【专利技术属性】
技术研发人员：胡召一，
申请(专利权)人：中兴通讯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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