【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工，具体为一种键合设备的晶圆传送装置。
技术介绍
1、键合设备在生产组装时晶圆是必不可少的零部件之一，晶圆是一小片半导电材料，用于制造电路以及其他电子设备，而在晶圆生产过程中为了便于两道工序之间的加工，因此需要使用到一种键合设备的晶圆传送装置对晶圆进行传送作业。
2、现有技术公开号cn215299206u专利文献中公开了一种晶圆传送轨道装置，该技术包括轨道，轨道上设有多个光电传感器，所述轨道的顶端设置封闭块，所述导轨上设有滑槽，封闭块位于滑槽的末端处防止晶圆脱落，所述光电传感器连接控制器，所述控制器连接报警装置，所述轨道为一体式铣出，实时监控晶圆在轨道上的位置，在晶圆掉落轨道时，实时报警，实现晶圆异常状态的报警。
3、但是由于现有技术公开号cn215299206u专利技术在使用时的调节能力不佳，导致其在实际使用过程中，不便于便捷地根据使用需要调节轨道的使用高度，不便于匹配不同高度的设备使用，且不便于根据员工使用需要调节使用高度，影响使用便利性。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、本技术的目的在于提供一种键合设备的晶圆传送装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有技术便于调节传送装置使用高度的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种键合设备的晶圆传送装置，包括主体机构、固定机构和清洁机构，所述固定机构位于主体机构的上方，所述清洁机构位于主体机构的上方，所述主体机构包括承
5、优选的，所述固定机构包括支撑块、电动推杆、推动杆和夹紧橡胶块，所述支撑块固定安装在传送带上端的左右两端，所述支撑块均匀分布在传送带上端的左右两端，通过对支撑块的安装，实现了便于对电动推杆进行支撑安装的作用。
6、优选的，所述电动推杆固定安装在支撑块内端的左右两端，所述推动杆固定安装在电动推杆内端左右两端的传动端，所述夹紧橡胶块固定安装在推动杆内端的左右两端，通过对电动推杆和推动杆的安装，实现了便于带动夹紧橡胶块进行移动，对晶圆进行夹紧固定作业。
7、优选的，所述清洁机构包括支撑横板、传动电机、转动轴、丝杆、转动盘、定位螺母、支撑滑杆、滑块、连接杆和小型鼓风机，所述支撑横板活动安装在支撑架的上方，所述传动电机固定安装在支撑横板左端的下端，所述转动轴固定安装在传动电机下端的传动端，通过对传动电机和转动轴的安装，实现了便于带动丝杆进行转动。
8、优选的，所述丝杆固定安装在转动轴的下端，所述转动盘固定安装在支撑架左端的上端，所述丝杆的下端转动连接转动盘，所述定位螺母螺纹连接在丝杆的外端，通过对丝杆的安装，实现了便于带动定位螺母进行位置移动同时带动滑块在支撑滑杆上进行移动，从而调节小型鼓风机的使用高度。
9、优选的，所述支撑滑杆固定安装在支撑横板右端的下端，所述支撑滑杆固定连接至支撑架右端的上端，所述滑块活动安装在支撑滑杆的外端，所述连接杆固定安装在定位螺母与滑块内端的左右两端，所述小型鼓风机固定安装在连接杆的中部，通过对小型鼓风机的安装，实现了便于对传送带进行清洁的作用。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
11、1、该键合设备的晶圆传送装置，通过对主体机构的安装，使得本技术的调节能力有所提升，在实际使用过程中，可以便捷地根据使用需要调节传送带的使用高度，便于匹配不同高度的设备进行使用，调节便利，提高了该键合设备的晶圆传送装置的使用便利性；
12、2、该键合设备的晶圆传送装置，通过对固定机构的安装，使得本技术的固定能力有所提升，在实际使用过程中，可以快速有效地对晶圆进行夹紧固定，不易在传送时出现位移的情况，提高了该键合设备的晶圆传送装置的使用稳定性；
13、3、该键合设备的晶圆传送装置，通过对清洁机构的安装，使得本技术的清洁能力有所提升，在实际使用过程中，可以及时有效地对传送带进行清洁，对表面灰尘进行清洁，不易在传送时弄脏晶圆，影响后续加工作业，提高了该键合设备的晶圆传送装置的实用性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种键合设备的晶圆传送装置，包括主体机构(1)、固定机构(2)和清洁机构(3)，其特征在于：所述固定机构(2)位于主体机构(1)的上方，所述清洁机构(3)位于主体机构(1)的上方，所述主体机构(1)包括承重底板(101)、液压缸(102)、液压推杆(103)、支撑架(104)、传送带(105)和支撑脚(106)，所述液压缸(102)固定安装在承重底板(101)的上端，所述液压缸(102)均匀分布在承重底板(101)的上端，所述液压推杆(103)固定安装在液压缸(102)上端的传动端，所述支撑架(104)固定安装在液压推杆(103)上端的左右两端，所述传送带(105)活动安装在支撑架(104)的中部，所述支撑脚(106)固定安装在承重底板(101)的下端，所述支撑脚(106)均匀分布在承重底板(101)的下端。
2.根据权利要求1所述的一种键合设备的晶圆传送装置，其特征在于：所述固定机构(2)包括支撑块(201)、电动推杆(202)、推动杆(203)和夹紧橡胶块(204)，所述支撑块(201)固定安装在传送带(105)上端的左右两端，所述支撑块(201)均匀分布在传
3.根据权利要求2所述的一种键合设备的晶圆传送装置，其特征在于：所述电动推杆(202)固定安装在支撑块(201)内端的左右两端，所述推动杆(203)固定安装在电动推杆(202)内端左右两端的传动端，所述夹紧橡胶块(204)固定安装在推动杆(203)内端的左右两端。
4.根据权利要求3所述的一种键合设备的晶圆传送装置，其特征在于：所述清洁机构(3)包括支撑横板(301)、传动电机(302)、转动轴(303)、丝杆(304)、转动盘(305)、定位螺母(306)、支撑滑杆(307)、滑块(308)、连接杆(309)和小型鼓风机(310)，所述支撑横板(301)活动安装在支撑架(104)的上方，所述传动电机(302)固定安装在支撑横板(301)左端的下端，所述转动轴(303)固定安装在传动电机(302)下端的传动端。
5.根据权利要求4所述的一种键合设备的晶圆传送装置，其特征在于：所述丝杆(304)固定安装在转动轴(303)的下端，所述转动盘(305)固定安装在支撑架(104)左端的上端，所述丝杆(304)的下端转动连接转动盘(305)，所述定位螺母(306)螺纹连接在丝杆(304)的外端。
6.根据权利要求5所述的一种键合设备的晶圆传送装置，其特征在于：所述支撑滑杆(307)固定安装在支撑横板(301)右端的下端，所述支撑滑杆(307)固定连接至支撑架(104)右端的上端，所述滑块(308)活动安装在支撑滑杆(307)的外端，所述连接杆(309)固定安装在定位螺母(306)与滑块(308)内端的左右两端，所述小型鼓风机(310)固定安装在连接杆(309)的中部。
...【技术特征摘要】
1.一种键合设备的晶圆传送装置，包括主体机构(1)、固定机构(2)和清洁机构(3)，其特征在于：所述固定机构(2)位于主体机构(1)的上方，所述清洁机构(3)位于主体机构(1)的上方，所述主体机构(1)包括承重底板(101)、液压缸(102)、液压推杆(103)、支撑架(104)、传送带(105)和支撑脚(106)，所述液压缸(102)固定安装在承重底板(101)的上端，所述液压缸(102)均匀分布在承重底板(101)的上端，所述液压推杆(103)固定安装在液压缸(102)上端的传动端，所述支撑架(104)固定安装在液压推杆(103)上端的左右两端，所述传送带(105)活动安装在支撑架(104)的中部，所述支撑脚(106)固定安装在承重底板(101)的下端，所述支撑脚(106)均匀分布在承重底板(101)的下端。
2.根据权利要求1所述的一种键合设备的晶圆传送装置，其特征在于：所述固定机构(2)包括支撑块(201)、电动推杆(202)、推动杆(203)和夹紧橡胶块(204)，所述支撑块(201)固定安装在传送带(105)上端的左右两端，所述支撑块(201)均匀分布在传送带(105)上端的左右两端。
3.根据权利要求2所述的一种键合设备的晶圆传送装置，其特征在于：所述电动推杆(202)固定安装在支撑块(201)内端的左右两端，所述推动杆(203)固定安装在电动推杆(202)内端左右两端的...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘磊，刘辉，陈林宝，
申请(专利权)人：鹰潭市迅宜达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。