【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体检测，具体涉及一种痕量气体检测系统及方法。
技术介绍
1、腔衰荡光谱检测技术作为当今痕量温室气体光谱检测方式中精度最高、检测限最低的一种，相较于常见的质谱-色谱法、可调谐半导体激光吸收光谱法以及离轴积分腔光谱法等，其具有免疫激光强度波动、吸收光程长、灵敏度高等优点。腔衰荡光谱检测技术通常由两块或若干具有高反射率的镜片构成谐振腔，通过调谐激光器的波长使得激光束经过一系列外部准直和偏振光路进入谐振腔内由待测气体吸收，最后由谐振腔出射端的探测器捕捉经吸收后的光信号进行浓度测算。
2、通过腔衰荡光谱检测技术的原理可知，仪器的最低检出限和精度主要依赖于激光波长的精确检测和控制以及光电二极管探测器所能测得的最小光信号。
3、为了提高仪器的最低检出限，目前常用的方法是在提升腔镜的反射率的同时提升激光器的输出功率，在最大程度提升进腔内光能量的同时增加腔内激光的反射次数，来获得更多的吸收。但是这种方式的缺点在于无论是所用的大功率激光器亦或是超高反射率腔镜，所需的成本都十分高昂，这对于仪器开发来说是一个致命的缺点。
4、此外，为了提升设备的探测精度，需要对激光的调谐频率进行高精度控制，而目前常见的方式是利用pdh锁频技术将激光频率主动锁定于谐振腔的谐振频率，从而实现高精度的光谱测量。但pdh稳频本身是一种通过电信号来控制并实现锁定激光频率的技术，需要用到较多的电路系统，不仅原理及实现过程复杂，且在增加成本的同时还增加了设备整体的体积重量。
技术实现思路
...【技术保护点】
1.一种痕量气体检测系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种痕量气体检测系统，其特征在于，所述反馈率控制模块包括1/2波片、偏振分束器和1/4波片。
3.如权利要求2所述的一种痕量气体检测系统，其特征在于，DFB激光器出射的激光依次经过1/2波片、偏振分束器和1/4波片后，进入第一光束反射镜。
4.如权利要求2所述的一种痕量气体检测系统，其特征在于，还包括光电探测器；所述光电探测器包括第一光电探测器、第二光电探测器和第三光电探测器。
5.如权利要求4所述的一种痕量气体检测系统，其特征在于，所述谐振腔的腔出射端的出射光被第一光电探测器所采集；所述偏振分束器出射的光分别被第二光电探测器和第三光电探测器所采集。
6.如权利要求1所述的一种痕量气体检测系统，其特征在于，还包括计算机控制器和激光控制系统；
7.一种痕量气体检测方法，应用于如权利要求1～6任一项所述的一种痕量气体检测系统，其特征在于，方法包括以下步骤；
8.如权利要求7所述的一种痕量气体检测方法，其特征在于，所述相位匹配的实现过程
9.如权利要求7所述的一种痕量气体检测方法，其特征在于，所述反馈率控制的实现如下：
...【技术特征摘要】
1.一种痕量气体检测系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种痕量气体检测系统，其特征在于，所述反馈率控制模块包括1/2波片、偏振分束器和1/4波片。
3.如权利要求2所述的一种痕量气体检测系统，其特征在于，dfb激光器出射的激光依次经过1/2波片、偏振分束器和1/4波片后，进入第一光束反射镜。
4.如权利要求2所述的一种痕量气体检测系统，其特征在于，还包括光电探测器；所述光电探测器包括第一光电探测器、第二光电探测器和第三光电探测器。
5.如权利要求4所述的一种痕量气体检测系统，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：张苏豪，朱湘飞，郭连波，郑昌军，刘欣欣，
申请(专利权)人：武汉敢为科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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