System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种晶圆干燥设备摆动机构制造技术_技高网

一种晶圆干燥设备摆动机构制造技术

技术编号:42802228 阅读:10 留言:0更新日期:2024-09-24 20:47
一种晶圆干燥设备摆动机构,具有用于容纳晶圆盒(9)的容纳座(36),容纳座(36)包括与拱形滑动臂(32)连接的中间镂空的底座(360),安装在底座(360)上的用于对晶圆盒的两侧分别进行限位的侧限位块(361)、位于侧限位块(361)之间的顶块(363)和内定位块(362)。内定位块(362)用于定位两个侧限位块(361)的距离,为顶块(363)提供安装位置,内定位块(362)和顶块(363)悬浮于容纳座(36)中间镂空部分之上。中空的侧限位块(361)、内定位块(362)、顶块(363)形成一整套安装结构,具有安装定位功能,安装简便、结构强度较高,同时还不阻碍干燥气体的流动,提高了干燥效果。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】


技术介绍


技术实现思路

【技术保护点】

PCT国内申请,权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

pct国内申请,权...

【专利技术属性】
技术研发人员:钱诚李刚周志勇
申请(专利权)人:江苏亚电科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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