一种晶圆干燥设备摆动机构制造技术

技术编号：42802228 阅读：11 留言：0更新日期：2024-09-24 20:47

一种晶圆干燥设备摆动机构，具有用于容纳晶圆盒(9)的容纳座(36)，容纳座(36)包括与拱形滑动臂(32)连接的中间镂空的底座(360)，安装在底座(360)上的用于对晶圆盒的两侧分别进行限位的侧限位块(361)、位于侧限位块(361)之间的顶块(363)和内定位块(362)。内定位块(362)用于定位两个侧限位块(361)的距离，为顶块(363)提供安装位置，内定位块(362)和顶块(363)悬浮于容纳座(36)中间镂空部分之上。中空的侧限位块(361)、内定位块(362)、顶块(363)形成一整套安装结构，具有安装定位功能，安装简便、结构强度较高，同时还不阻碍干燥气体的流动，提高了干燥效果。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

pct国内申请，权...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，周志勇，
申请(专利权)人：江苏亚电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人