【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及半导体检测，尤其涉及光束整形系统。
技术介绍
1、激光器为常见的光学器件，由于其出射光单色性好、亮度高等优点，使其在半导体检测、国防、科研等各个领域逐渐成为关键光学器件。在半导体检测领域，由于应用场景不同，对光斑形状与空间分布有着不同要求。
2、在半导体检测领域，通常需要将高斯光束整形为均匀性较高、线宽较窄的平顶线光斑。为了达到较好的整形效果，通常可采用物理光学整形法。通过衍射光学元件(doe，diffractive optical elements)的表面微结构实现光束整形。
3、但是，为了实现精准的光束整形，doe的表面微结构会被设计地极为复杂，以至于制作难度大，进而带来了较高的制作成本。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了光束整形系统，用于以较低成本将高斯光束整形为均匀性较高且线宽较窄的线形平顶光。
2、本申请实施例第一方面提供的光束整形系统，包括：
3、光源，用于发出初始光束；
4、第一自由曲面镜，用于使所述初始光束中的能量均匀分布；
5、第二自由曲面镜，用于调整从所述第一自由曲面镜出射的初始光束在第一轴向的尺寸，并使调整后的初始光束照射至待测表面形成线光斑，所述第一轴向与所述初始光束的光轴垂直或平行；
6、其中，所述初始光束在第二轴向的尺寸由所述第一自由曲面镜调整或者由所述第二自由曲面镜调整，所述第一轴向与所述第二轴向垂直。
7、可选的，所述初始光束在所述第二
8、所述第二自由曲面镜，还用于对从所述第二自由曲面镜出射的初始光束进行离焦补偿，使照射至所述待测表面形成的线光斑处于聚焦状态。
9、可选的，所述光源发出的初始光束从所述第一自由曲面镜的平面入射，并从所述第一自由曲面镜的自由曲面出射；
10、或者，
11、所述光源发出的初始光束从所述第一自由曲面镜的自由曲面入射，并从所述第一自由曲面镜的平面出射。
12、可选的，从所述第一自由曲面镜出射的初始光束从所述第二自由曲面镜的自由曲面入射，并从所述第二自由曲面镜的平面出射；
13、或者，
14、从所述第一自由曲面镜出射的初始光束从所述第二自由曲面镜的平面入射，并从所述第二自由曲面镜的自由曲面出射。
15、可选的，所述光束整形系统还包括：
16、位于所述光源以及所述第一自由曲面镜之间的扩束组件，用于扩大从所述光源发出的初始光束的直径，并使从所述出射的初始光束到达所述第一自由曲面镜。
17、可选的，所述扩束组件为连续变倍扩束系统，沿着所述初始光束入射至所述扩束组件的方向，所述扩束组件依次包括变焦透镜组、补偿透镜组和固定透镜组。
18、可选的，所述变焦透镜组为双凸透镜、所述补偿透镜组为双凹透镜、所述固定透镜组为双凸透镜。
19、可选的，所述双凸透镜以及所述双凹透镜的光学中心厚度大于等于2mm，所述双凸透镜以及所述双凹透镜的边缘厚度大于等于1mm。
20、可选的，所述第一自由曲面的材料熔融石英、氟化钙或k9，所述第二自由曲面的材料为熔融石英、氟化钙或k9。
21、可选的，所述光源发出的初始光束为紫外光，所述第一自由曲面的材料熔融石英，所述第二自由曲面的材料为熔融石英。
22、从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：利用两个自由曲面镜来实现原本由一个doe完成的光束整形。其中，第一自由曲面镜以及第二自由曲面镜分别用于使用不同的功能，结合起来达到了光束整形的效果。第一自由曲面镜以及第二自由曲面镜的制造难度，远低于可以独立实现光束整形的doe的制造难度。因此，本申请实施例以更低的制造成本，获得了能量分布均匀且线宽较窄的线光斑。
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1.一种光束整形系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光束整形系统，其特征在于，所述初始光束在所述第二轴向的尺寸由所述第一自由曲面镜调整，所述待测表面不垂直于所述调整后的初始光束的光轴；
3.根据权利要求1或2所述的光束整形系统，其特征在于，所述光源发出的初始光束从所述第一自由曲面镜的平面入射，并从所述第一自由曲面镜的自由曲面出射；
4.根据权利要求1或2所述的光束整形系统，其特征在于，从所述第一自由曲面镜出射的初始光束从所述第二自由曲面镜的自由曲面入射，并从所述第二自由曲面镜的平面出射；
5.根据权利要求1或2所述的光束整形系统，其特征在于，所述光束整形系统还包括：
6.根据权利要求5所述的光束整形系统，其特征在于，所述扩束组件为连续变倍扩束系统，沿着所述初始光束入射至所述扩束组件的方向，所述扩束组件依次包括变焦透镜组、补偿透镜组和固定透镜组。
7.根据权利要求6所述的光束整形系统，其特征在于，所述变焦透镜组为双凸透镜、所述补偿透镜组为双凹透镜、所述固定透镜组为双凸透镜。
8.根据权
9.根据权利要求1所述的光束整形系统，其特征在于，所述第一自由曲面的材料熔融石英、氟化钙或K9，所述第二自由曲面的材料为熔融石英、氟化钙或K9。
10.根据权利要求6所述的光束整形系统，其特征在于，所述光源发出的初始光束为紫外光，所述第一自由曲面的材料熔融石英，所述第二自由曲面的材料为熔融石英。
...【技术特征摘要】
1.一种光束整形系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光束整形系统，其特征在于，所述初始光束在所述第二轴向的尺寸由所述第一自由曲面镜调整，所述待测表面不垂直于所述调整后的初始光束的光轴；
3.根据权利要求1或2所述的光束整形系统，其特征在于，所述光源发出的初始光束从所述第一自由曲面镜的平面入射，并从所述第一自由曲面镜的自由曲面出射；
4.根据权利要求1或2所述的光束整形系统，其特征在于，从所述第一自由曲面镜出射的初始光束从所述第二自由曲面镜的自由曲面入射，并从所述第二自由曲面镜的平面出射；
5.根据权利要求1或2所述的光束整形系统，其特征在于，所述光束整形系统还包括：
6.根据权利要求5所述的光束整形系统，其特征在于，所述扩束组件为连续变倍扩束系统，沿着...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，张龙，云奋蛟，黄有为，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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