【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体器件，具体涉及一种半导体物料转运装置及半导体器件生产线。
技术介绍
1、随着半导体行业的蓬勃发展，生产工艺正朝着更高集成度的方向不断演进。其中，半导体物料转运是指在半导体制造过程中，将原材料、半成品、成品或废弃物等物料从一个工作站或工序安全、有效地转移到另一个工作站或工序的行为，这一过程需要高度清洁的环境，比如半导体洁净室，以防止污染物对半导体物料造成损害。
2、传统的半导体洁净室中，半导体物料的转运主要是通过人工进行，人员进出洁净室可能会带入微粒，污染环境，从而影响半导体物料的洁净度，且转运人员的操作专业性参差不齐，转运效率和转运安全性得不到保证。
技术实现思路
1、为了解决
技术介绍
中存在的至少一个方面的技术问题，本申请提供了一种半导体物料转运装置，通过精密的机械结构和自动化控制，有效提高了洁净室内的半导体物料转运的效率和安全性，减少了人工干预导致的污染问题。
2、本申请第二方面实施例提供一种半导体器件生产线。
3、本申请所采用的技术方案为：
4、本申请第一方面实施例提供一种半导体物料转运装置，设置于半导体洁净室的转递窗上，包括：
5、第一线性运动机构，滑动式连接于所述转递窗；
6、提升机构，所述提升机构的第一端部连接于所述第一线性运动机构；
7、架体，所述提升机构的第二端部连接于所述架体；
8、机械抓手机构，所述机械抓手机构滑动式连接于所述架体；
9、其中
10、根据本申请第一方面实施例提供的半导体物料转运装置，第一线性运动机构连接着提升机构，提升机构连接着架体，架体连接着机械抓手机构，因此，在半导体物料的转运过程中，首先通过第一线性运动机构的滑动来带动机械抓手机构对准于待抓取物料的上方，然后通过提升机构执行降落运动以带动机械抓手机构下降至物料抓取位置，进一步地，机械抓手机构通过滑动收缩实现抓取物料，在实现的物料的抓取后，通过提升机构执行上升运动以带动机械抓手机构上升至转运高度，然后通过第一线性运动机构的滑动带动机械抓手机构到达物料的转运放置区域的上方，再通过提升机构执行下降运动以带动机械抓手机构下降至物料转运放置区域，最后，机械抓手机构通过滑动张开实现松开物料，然后提升机构执行上升运动以带动机械抓手机构归位，至此完成半导体物料的转运。上述过程中，架体作为支撑框架，为机械抓手机构、提升机构等组件提供了稳固的安装基础，确保了整个装置的物理结构的稳定性和耐用性，通过第一线性运动机构的滑动，能够快速准确地将机械抓手机构对准待转运物料的上方，无需人工反复调整位置，提升机构的升降运动则进一步精确定抓取位置，整个过程快速且精准，机械抓手机构的滑动设计使得抓取和释放物料的动作更加可控，无论是抓紧还是松开物料，都能做到稳定而精确，大大降低了转运过程中对物料的潜在损害风险，该装置的自动化操作极大减少了人工参与度，避免了人员进出洁净室带来的污染风险，保持了半导体制造环境的高度洁净度。综上所述，本申请第一方面实施例提供的半导体物料转运装置，通过精密的机械结构和自动化控制，有效提高了洁净室内的半导体物料转运的效率和安全性，减少了人工干预导致的污染问题。
11、根据本申请的一个实施例，所述机械抓手机构包括第一夹爪、第二夹爪、第一拉杆、第二拉杆、转动板及推拉驱动器；
12、所述转动板转动连接于所述架体，所述第一拉杆的第一端转动连接于所述转动板的第一端，所述第一拉杆的第二端转动连接于所述第一夹爪，所述第二拉杆的第一端转动连接于所述转动板的第二端，所述第二拉杆的第二端转动连接于所述第二夹爪；
13、所述第一夹爪及所述第二夹爪滑动式连接于所述架体；
14、所述推拉驱动器的推拉端连接于所述第一夹爪及所述第二夹爪中的至少一者，所述推拉驱动器适于推动所述第一夹爪和/或所述第二夹爪滑动，以使所述第一夹爪及所述第二夹爪呈所述收缩状态或所述张开状态。
15、根据本申请的一个实施例，所述第一夹爪包括第一抓手、第二抓手及第一连接板，所述第二夹爪包括第三抓手、第四抓手及第二连接板；
16、所述第一抓手及所述第二抓手分别设置于所述第一连接板的两端，所述第三抓手及所述第四抓手分别设置于所述第二连接板的两端；
17、所述第一拉杆的第二端转动连接于所述第一连接板，所述第二拉杆的第二端转动连接于所述第二连接板。
18、根据本申请的一个实施例，所述架体上还设置有转动板安装座，所述转动板安装座上设置有销轴；
19、所述转动板上开设有适配于所述销轴的销孔。
20、根据本申请的一个实施例，所述架体上设置有导轨；
21、所述第一夹爪及所述第二夹爪上设置有沿所述导轨滑动的滑块。
22、根据本申请的一个实施例，所述第一线性运动机构包括滑轨件及滑动设置于所述滑轨件上的滑槽件；
23、所述滑轨件设置于所述转递窗上；
24、所述第一线性运动机构还包括推拉把手，所述推拉把手连接于所述滑槽件。
25、根据本申请的一个实施例，所述滑轨件分别设置于所述转递窗的相对的两个侧壁上，所述滑轨件上分别设置有所述滑槽件；
26、第一线性运动机构还包括提升机构安装板，所述提升机构安装板的两端分别与两个所述滑槽件连接；
27、所述推拉把手的两端分别与两个所述滑槽件连接。
28、根据本申请的一个实施例，所述架体上设置有提升机构连接板，所述提升机构的第二端部通过所述提升机构连接板与所述架体连接。
29、根据本申请的一个实施例，所述第一线性运动机构的滑动方向、所述提升机构的升降运动方向及所述机械抓手机构的滑动方向两两垂直。
30、本申请第二方面实施例提供一种半导体器件生产线，包括：
31、如上所述第一方面任一实施例中的半导体物料转运装置。
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1.一种半导体物料转运装置，设置于半导体洁净室的转递窗上，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述机械抓手机构包括第一夹爪、第二夹爪、第一拉杆、第二拉杆、转动板及推拉驱动器；
3.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述第一夹爪包括第一抓手、第二抓手及第一连接板，所述第二夹爪包括第三抓手、第四抓手及第二连接板；
4.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述架体上还设置有转动板安装座，所述转动板安装座上设置有销轴；
5.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述架体上设置有导轨；
6.根据权利要求1所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述第一线性运动机构包括滑轨件及滑动设置于所述滑轨件上的滑槽件；
7.根据权利要求6所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述滑轨件分别设置于所述转递窗的相对的两个侧壁上，所述滑轨件上分别设置有所述滑槽件；
8.根据权利要求1所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述架体上设置有提升
9.根据权利要求1至8中任一项所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述第一线性运动机构的滑动方向、所述提升机构的升降运动方向及所述机械抓手机构的滑动方向两两垂直。
10.一种半导体器件生产线，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种半导体物料转运装置，设置于半导体洁净室的转递窗上，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述机械抓手机构包括第一夹爪、第二夹爪、第一拉杆、第二拉杆、转动板及推拉驱动器；
3.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述第一夹爪包括第一抓手、第二抓手及第一连接板，所述第二夹爪包括第三抓手、第四抓手及第二连接板；
4.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述架体上还设置有转动板安装座，所述转动板安装座上设置有销轴；
5.根据权利要求2所述的半导体物料转运装置，其特征在于，所述架体上设置有导轨；
6.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：单佩，李明骏，孙世轩，侯申，张弛，关蕾，黄芸，
申请(专利权)人：济南光微半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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