一种半导体具有温控功能的碱蚀槽制造技术

本技术涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，包括槽体、冰水机和热水器，所述冰水机和热水器之间设有两个连接管，两个所述连接管上分别固定连接有进水管和出水管，所述槽体的侧壁内开设有回形腔，本技术采用热水器将热水通过进水管向螺旋管和蛇形管内输送，最后经过出水管流出，以此形成热水循环，通过热传递的方式对槽体内的混合溶液加温，再通过冰水机向进水管内输送冷水，冷水经过螺旋管和蛇形管输送，最后通过出水管流出，以此形成冷水循环，通过热传递的方式对槽体内的混合溶液降温，螺旋管和蛇形管均设置在槽体的内部，便于对槽体内的混合溶液控温，从而提高槽体的降温效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种半导体具有温控功能的碱蚀槽。

技术介绍

1、化学镀又称为无电解镀，也可以称为自催化电镀，具体过程是指：在一定条件下，水溶液中的金属离子被还原剂还原，并且沉淀到固态基体表面上的过程；不用外来电流，借氧化还原作用在金属制件的表面上沉积一层镍的方法；用于提高抗蚀性和耐磨性，增加光泽和美观。适合于管状或外形复杂的小零件的光亮镀镍，不必再经抛光，一般将被镀制件浸入装有以硫酸镍、次磷酸二氢钠、乙酸钠和硼酸所配成混合溶液的碱蚀槽内，在一定酸度和温度下发生变化，溶液中的镍离子被次磷酸二氢钠还原为原子而沉积于制件表面上，形成细致光亮的镍镀层，半导体生产加工时需要在半导体上化镀一种镍金属，以满足产品后期化镀钯化镀金；

2、由于化学镀就是在不通电的情况下，利用氧化还原反应在具有催化表面的镀件上，获得金属合金的方法，因此溶液的温度变化是控制化学反应的关键，而现有的碱蚀槽自身不具备控温的能力，需要外置电加热管或其他加热设备对碱蚀槽内的混合溶液加热，而外置降温设备不方便对碱蚀槽内的混合溶液直接降温，导致碱蚀槽的降温效果较差。

3、为此，我们设计了一种半导体具有温控功能的碱蚀槽。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中碱蚀槽的降温效果较差的问题，而提出的一种半导体具有温控功能的碱蚀槽。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：

3、一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，包括槽体、冰水机和热水器，所述冰水机和热水器之间设有两个连接管，两个所述连接管上分别固定连接有进水管和出水管，所述槽体的侧壁内开设有回形腔，所述回形腔内设有螺旋管，所述螺旋管与进水管固定连接，所述槽体的底板内开设有空腔，所述空腔内设有蛇形管，且蛇形管的一端与螺旋管固定连接，所述蛇形管的另一端与出水管固定连接。

4、优选地，所述冰水机的一侧固定连接有两个冷水管，两个所述冷水管分别与两个连接管固定连接。

5、优选地，所述热水器的一侧固定连接有两个热水管，两个所述热水管分别与两个连接管固定连接。

6、优选地，两个所述连接管内均转动连接有挡片，两个所述挡片之间固定连接有圆杆。

7、优选地，所述连接管的顶部转动连接有主动齿轮和从动齿轮，且主动齿轮与从动齿轮相啮合，所述从动齿轮与圆杆同轴固定。

8、优选地，所述主动齿轮上连接有电动机，所述电动机通过连接架与连接管固定连接，且电动机的输出端与主动齿轮同轴固定。

9、本技术的有益效果为：

10、本技术采用热水器将热水通过进水管向螺旋管和蛇形管内输送，最后经过出水管流出，以此形成热水循环，通过热传递的方式对槽体内的混合溶液加温，再通过冰水机向进水管内输送冷水，冷水经过螺旋管和蛇形管输送，最后通过出水管流出，以此形成冷水循环，通过热传递的方式对槽体内的混合溶液降温，螺旋管和蛇形管均设置在槽体的内部，便于对槽体内的混合溶液控温，从而提高槽体的降温效果。

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【技术保护点】

1.一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，包括槽体(1)、冰水机(2)和热水器(3)，其特征在于，所述冰水机(2)和热水器(3)之间设有两个连接管(8)，两个所述连接管(8)上分别固定连接有进水管(4)和出水管(5)，所述槽体(1)的侧壁内开设有回形腔，所述回形腔内设有螺旋管(6)，所述螺旋管(6)与进水管(4)固定连接，所述槽体(1)的底板内开设有空腔，所述空腔内设有蛇形管(7)，且蛇形管(7)的一端与螺旋管(6)固定连接，所述蛇形管(7)的另一端与出水管(5)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，其特征在于，所述冰水机(2)的一侧固定连接有两个冷水管(9)，两个所述冷水管(9)分别与两个连接管(8)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，其特征在于，所述热水器(3)的一侧固定连接有两个热水管(10)，两个所述热水管(10)分别与两个连接管(8)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，其特征在于，两个所述连接管(8)内均转动连接有挡片(16)，两个所述挡片(16)之间固定连接有圆杆(11)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，其特征在于，所述连接管(8)的顶部转动连接有主动齿轮(14)和从动齿轮(15)，且主动齿轮(14)与从动齿轮(15)相啮合，所述从动齿轮(15)与圆杆(11)同轴固定。

6.根据权利要求5所述的一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，其特征在于，所述主动齿轮(14)上连接有电动机(13)，所述电动机(13)通过连接架(12)与连接管(8)固定连接，且电动机(13)的输出端与主动齿轮(14)同轴固定。

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【技术特征摘要】

1.一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，包括槽体(1)、冰水机(2)和热水器(3)，其特征在于，所述冰水机(2)和热水器(3)之间设有两个连接管(8)，两个所述连接管(8)上分别固定连接有进水管(4)和出水管(5)，所述槽体(1)的侧壁内开设有回形腔，所述回形腔内设有螺旋管(6)，所述螺旋管(6)与进水管(4)固定连接，所述槽体(1)的底板内开设有空腔，所述空腔内设有蛇形管(7)，且蛇形管(7)的一端与螺旋管(6)固定连接，所述蛇形管(7)的另一端与出水管(5)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，其特征在于，所述冰水机(2)的一侧固定连接有两个冷水管(9)，两个所述冷水管(9)分别与两个连接管(8)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，其特征在于，所述热水器(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴攀，
申请(专利权)人：广东芯华镁半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：