【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电机旋转密封，具体为一种电机旋转密封机构。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的晶硅片，在硅半导体电路的生产加工过程中，通常包括对晶圆的上胶和去胶工序，在智能加工工艺中，晶圆成批去胶，在去胶时，将晶圆成批放置于去胶机中，通过去胶机完成去胶操作，现有的去胶机普遍通过电机进行晶圆的去胶旋转，经检索，发现现有技术中的电机密封机构典型的如公开号cn114157075a一种振动电机端盖密封机构，包括壳体，所述壳体的内部通过轴承转动连接有转轴，所述转轴的表面固定有定子，所述定子的内部设置有固定在转轴表面的转子，所述转轴的两端表面均固定有可调偏心块，所述壳体的两侧均插接有壳盖，所述壳盖的侧壁与壳体的侧壁与壳体的侧壁紧密贴合。本专利技术通过设置有壳体、壳盖、挡环、密封板和第一弹簧，当振动电机在粉尘较多的场合下进行使用时，壳盖与密封板，其主要特点是能够对振动电机的内部进行双重密封保护，从而避免灰尘以及小物料会进入到振动电机的内部对其造成损坏，对电机的使用寿命以及性能产生影响，第二弹簧和挡环能够对密封板进行支撑限位，从而使其与壳体更加紧密贴合。
2、综上所述，现有的晶圆去胶机的驱动电机为了防止去胶化学液体腐蚀其结构，大多密封要求较高，从而使得电机价格贵，定制周期长，针对上述问题，需要对现有设备进行改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种电机旋转密封机构，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的晶圆去胶机的驱动电机为了防止去胶化学液体腐蚀其结构，大多密封要求较高，
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种电机旋转密封机构，包括上轴承安装板和气动接头，
3、所述上轴承安装板连接在下轴承安装座的顶部，且下上轴承安装板的顶部连接有上轴封压盖，同时下轴承安装座的底部连接有下轴封压盖，所述下轴承安装座通过防护罩与底座安装板连接，且底座安装板的底部安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端通过联轴器与转轴的一端连接，且转轴的另一端与旋转支架连接，所述旋转支架的顶部连接有装饰盖，且旋转支架与装饰盖的连接处设置有唇形密封圈弹簧紧固，所述上轴承安装板和上轴封压盖的底部分别设置有第一密封圈和第二密封圈，且上轴承安装板与下轴承安装座的连接处设置有第四密封圈，同时下轴承安装座与下轴封压盖的连接处设置有第三密封圈。
4、优选的，所述上轴承安装板上贯穿连接有卡套接头，且卡套接头呈环形阵列状分布在上轴承安装板上。
5、优选的，所述下轴承安装座和底座安装板均通过导柱与防护罩连接，且导柱设置有四组，同时防护罩的外壁上通过光电开关安装件与光电开关连接，所述防护罩的外壁上通过光电开关安装件与光电开关连接，且光电开关安装件的一侧设置有感应支架。
6、优选的，所述旋转支架的外侧连接有支撑棒，且支撑棒的顶部连接有承载环，同时承载环的顶部设置有六寸支撑圆柱和八寸支撑圆柱。
7、优选的，所述转轴的外侧设置有角接触球轴承和深沟球轴承，且角接触球轴承设置在深沟球轴承的上方。
8、优选的，所述气动接头连接在下轴承安装座的外壁上，且气动接头是横截面呈l型。
9、优选的，所述角接触球轴承的上方设置有六角扁螺母，且六角扁螺母设置在上轴封压盖的内侧。
10、优选的，所述六寸支撑圆柱和八寸支撑圆柱均呈环形阵列状分布在承载环的顶部，且六寸支撑圆柱和八寸支撑圆柱均设置有三组。
11、优选的，所述六寸支撑圆柱设置在八寸支撑圆柱的内侧，且六寸支撑圆柱的高度低于八寸支撑圆柱的高度。
12、优选的，所述一种电机旋转密封机构的使用方法包括以下步骤：
13、s1：利用导柱将下轴承安装座和底座安装板进行安装连接，接着将卡套接头与去胶化学液体泵送装置连接，气动接头与外部氮气输送管道连接；
14、s2：氮气通过气动接头充入下轴承安装座，对该处进行初道气体密封，而第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈、第四密封圈和唇形密封圈弹簧紧固对旋转处进行二道密封；
15、s3：接着操作光电开关启动装置，伺服电机通过联轴器驱动转轴以及旋转支架旋转，于此同时卡套接头喷出去胶化学液体对六寸支撑圆柱和八寸支撑圆柱上的晶圆上的胶水进行去除。
16、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该电机旋转密封机构，
17、本专利技术通过第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈、第四密封圈和唇形密封圈弹簧紧固的配合使用可有效解决现有的晶圆去胶机的驱动电机为了防止去胶化学液体腐蚀其结构，大多密封要求较高，从而使得电机价格贵，定制周期长的问题，旋转转轴两端各件之间加装第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈、第四密封圈，以及唇形密封圈弹簧紧固进行轴封，使得该段形成一个腔体，接着通过气动接头向腔体内通压缩氮气，从而完成两道密封，即橡胶圈密封和气体密封，并以此防止强腐蚀性的去胶化学液体泄露，避免伺服电机和其他件的腐蚀损坏及环境影响，此外此结构通过试用，完全达到中空电机通气密封的效果，且中空电机的定制费用相较成本大幅度降低。
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1.一种电机旋转密封机构，包括上轴承安装板(1)和气动接头(17)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述上轴承安装板(1)上贯穿连接有卡套接头(15)，且卡套接头(15)呈环形阵列状分布在上轴承安装板(1)上。
3.根据权利要求1所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述下轴承安装座(2)和底座安装板(5)均通过导柱(14)与防护罩连接，且导柱(14)设置有四组，所述防护罩的外壁上通过光电开关安装件(12)与光电开关(23)连接，且光电开关安装件(12)的一侧设置有感应支架(11)。
4.根据权利要求1所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述旋转支架(7)的外侧连接有支撑棒(8)，且支撑棒(8)的顶部连接有承载环(10)，同时承载环(10)的顶部设置有六寸支撑圆柱(25)和八寸支撑圆柱(26)。
5.根据权利要求1所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述转轴(6)的外侧设置有角接触球轴承(18)和深沟球轴承(19)，且角接触球轴承(18)设置在深沟球轴承(19)的上方。
7.根据权利要求5所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述角接触球轴承(18)的上方设置有六角扁螺母(20)，且六角扁螺母(20)设置在上轴封压盖(3)的内侧。
8.根据权利要求4所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述六寸支撑圆柱(25)和八寸支撑圆柱(26)均呈环形阵列状分布在承载环(10)的顶部，且六寸支撑圆柱(25)和八寸支撑圆柱(26)均设置有三组。
9.根据权利要求4所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述六寸支撑圆柱(25)设置在八寸支撑圆柱(26)的内侧，且六寸支撑圆柱(25)的高度低于八寸支撑圆柱(26)的高度。
10.根据权利要求1-9所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述一种电机旋转密封机构的使用方法包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种电机旋转密封机构，包括上轴承安装板(1)和气动接头(17)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述上轴承安装板(1)上贯穿连接有卡套接头(15)，且卡套接头(15)呈环形阵列状分布在上轴承安装板(1)上。
3.根据权利要求1所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述下轴承安装座(2)和底座安装板(5)均通过导柱(14)与防护罩连接，且导柱(14)设置有四组，所述防护罩的外壁上通过光电开关安装件(12)与光电开关(23)连接，且光电开关安装件(12)的一侧设置有感应支架(11)。
4.根据权利要求1所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述旋转支架(7)的外侧连接有支撑棒(8)，且支撑棒(8)的顶部连接有承载环(10)，同时承载环(10)的顶部设置有六寸支撑圆柱(25)和八寸支撑圆柱(26)。
5.根据权利要求1所述的一种电机旋转密封机构，其特征在于：所述转轴(6)的外侧设置有角接触球轴承(18)和深沟球轴承(19)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡军胜，张宽宽，赵生龙，胡根生，张广东，
申请(专利权)人：江苏容道社半导体设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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