【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及吊装设备，具体涉及适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备。
技术介绍
1、石墨旋转靶材是一种特殊的靶材，其设计特点在于靶材被制成圆筒型，内部装有静止不动的磁体，并以慢速转动，主要用于磁控溅射技术中，因其结构尺寸相对较大，在安装作业中配合使用到吊装设备进行吊装作业。
2、对此需要说明的是：在吊装过程中特别需要注意的是保护石墨旋转靶材的完整性，避免任何可能对其造成损害的操作，并且还需要注意到石墨旋转靶材的安装位置，如垂直度、间隙等，安装后的垂直度不超过设备总高度的2%，以保证设备的正常运作和使用寿命，常规吊装作业中大多采用钢索这类的“软结构”，受惯性影响在吊装移动过程中，吊件（石墨旋转靶材）会发生“惯性移动”，导致吊件与磁控溅射镀膜设备之间发生不同程度上的磕碰，以及吊装过程中难以实施掌握垂直度，对此需要多名技术娴熟的吊车技术员进行控制，整体过程难度较大。
3、对此本申请提出了一种解决方案。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，针对石墨旋转靶材的吊装作业过程中，因为常规吊装设备中以钢索这类“软结构”作为连接结构，在吊件（石墨旋转靶材）移动过程中，一方面是难以掌握其垂直度，另一方面受惯性影响存在“惯性移动”而加剧对吊件的磕碰损伤问题。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，所述自动化吊装设备中包括承重柱座和连接座，所述连接座用于固定石墨旋
3、所述受力座的下侧位置安装有钢索，所述钢索沿受力座的圆心点呈环形阵列设置，且钢索向下贯穿承重柱座的下侧位置且连接在连接座的上表面位置上，所述承重柱座内部顶端中心点位置安装有呈竖向设置的中心联柱，所述中心联柱向下依次贯通受力座、换向座和连接座；
4、所述换向座对应连接座的一侧位置上设置有被动换向动作组件，且换向座对应受力座的一侧位置上设置有主动换向动作组件，所述受力座对应承重柱座内部顶端的位置上设置有动作自检组件。
5、进一步设置为：所述中心联柱上沿从上到下的方向依次设置有上定向球头和下活动球头，所述受力座和连接座的中心点位置上安装有对应上定向球头和下活动球头的球套。
6、进一步设置为：所述上定向球头与中心联柱之间为固定连接，所述下活动球头与中心联柱之间为滑动连接。
7、进一步设置为：所述连接座上表面位置上安装有高强弹簧，所述高强弹簧上端位置与承重柱座下表面之间为固定连接，且高强弹簧下端位置安装有活动球，所述活动球与连接座之间为活动连接。
8、进一步设置为：所述被动换向动作组件包括从动齿轮、主动齿轮和驱动电机，所述从动齿轮安装在换向座的下侧位置，且从动齿轮和受力座与中心联柱之间为转动连接，所述主动齿轮位于从动齿轮的外部位置，且与从动齿轮相啮合，所述驱动电机安装在承重柱座上，且驱动电机的输出轴末端与主动齿轮圆心点之间相连接。
9、进一步设置为：所述主动换向动作组件包括气动推缸、定向滑座和曲臂联杆，所述换向座上表面位置上开设有对应定向滑座的空槽，所述定向滑座安装在气动推缸输出轴上，且定向滑座通过气动推缸在空槽中沿换向座的直径方向为滑动连接；
10、所述曲臂联杆一端与定向滑座之间为转动连接，且曲臂联杆另一端位置设置有定向球体，所述受力座下表面位置上开设有对应定向球体的定向环槽。
11、进一步设置为：所述动作自检组件由多个位移传感器组成，所述位移传感器以竖直方向设置安装在承重柱座内部顶端位置上，且位移传感器的探头方向向下，所述受力座上表面位置开设有对应位移传感器探头的上扩环槽。
12、进一步设置为：所述受力座和连接座的外直径小于承重柱座的内直径，且受力座的外直径小于连接座的外直径，所述曲臂联杆沿指向钢索的方向呈倾斜状态设置。
13、本专利技术具备下述有益效果：
14、1、整体结构与常规吊装方式存在明显区别的在于：吊装设备中的钢索并非直接连接在吊件（石墨旋转靶材）上，而是以承重柱座配合连接座形成“二次吊装”方式，其本质是：其中的连接座用于固定吊件，而承重柱座则是用于“固定”连接座，以独立于吊装设备的钢索作为连接连接座的关键结构，从而在吊装过程中可以以吊件自身重力为基础，吊件在重力场的作用下自由摆正，初步保证吊件的垂直度；
15、2、结合上述内容进行说明：其中的受力座和连接座可以以活动连接的方式在中心联柱上进行自由活动，关键体现在二者之间相连接的钢索，承重柱座中的钢索并不存在卷绕动作，仅仅存在张力变化，从而当整体结构受惯性影响发生“惯性移动”时，对应“惯性移动”方向上的曲臂联杆配合受力座进行移动，主要用于对“惯性力”进行补偿，以确保连接座上的吊件保持相对稳定这一状态。
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1.适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述自动化吊装设备中包括承重柱座（1）和连接座（2），所述连接座（2）用于固定石墨旋转靶材，且连接座（2）位于承重柱座（1）的下侧位置，所述承重柱座（1）内部沿从上到下的方向依次设置有受力座（3）和换向座（6）；
2.根据权利要求1所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述中心联柱（8）上沿从上到下的方向依次设置有上定向球头（9）和下活动球头（10），所述受力座（3）和连接座（2）的中心点位置上安装有对应上定向球头（9）和下活动球头（10）的球套。
3.根据权利要求2所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述上定向球头（9）与中心联柱（8）之间为固定连接，所述下活动球头（10）与中心联柱（8）之间为滑动连接。
4.根据权利要求1所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述连接座（2）上表面位置上安装有高强弹簧（16），所述高强弹簧（16）上端位置与承重柱座（1）下表面之间为固定连接，且高强弹簧（16）下端位置安装有活动球，所述活动球
5.根据权利要求1所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述被动换向动作组件包括从动齿轮（15）、主动齿轮（11）和驱动电机（5），所述从动齿轮（15）安装在换向座（6）的下侧位置，且从动齿轮（15）和受力座（3）与中心联柱（8）之间为转动连接，所述主动齿轮（11）位于从动齿轮（15）的外部位置，且与从动齿轮（15）相啮合，所述驱动电机（5）安装在承重柱座（1）上，且驱动电机（5）的输出轴末端与主动齿轮（11）圆心点之间相连接。
6.根据权利要求1所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述主动换向动作组件包括气动推缸（17）、定向滑座（18）和曲臂联杆（14），所述换向座（6）上表面位置上开设有对应定向滑座（18）的空槽，所述定向滑座（18）安装在气动推缸（17）输出轴上，且定向滑座（18）通过气动推缸（17）在空槽中沿换向座（6）的直径方向为滑动连接；
7.根据权利要求1所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述动作自检组件由多个位移传感器（7）组成，所述位移传感器（7）以竖直方向设置安装在承重柱座（1）内部顶端位置上，且位移传感器（7）的探头方向向下，所述受力座（3）上表面位置开设有对应位移传感器（7）探头的上扩环槽（12）。
8.根据权利要求6所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述受力座（3）和连接座（2）的外直径小于承重柱座（1）的内直径，且受力座（3）的外直径小于连接座（2）的外直径，所述曲臂联杆（14）沿指向钢索（4）的方向呈倾斜状态设置。
...【技术特征摘要】
1.适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述自动化吊装设备中包括承重柱座（1）和连接座（2），所述连接座（2）用于固定石墨旋转靶材，且连接座（2）位于承重柱座（1）的下侧位置，所述承重柱座（1）内部沿从上到下的方向依次设置有受力座（3）和换向座（6）；
2.根据权利要求1所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述中心联柱（8）上沿从上到下的方向依次设置有上定向球头（9）和下活动球头（10），所述受力座（3）和连接座（2）的中心点位置上安装有对应上定向球头（9）和下活动球头（10）的球套。
3.根据权利要求2所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述上定向球头（9）与中心联柱（8）之间为固定连接，所述下活动球头（10）与中心联柱（8）之间为滑动连接。
4.根据权利要求1所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述连接座（2）上表面位置上安装有高强弹簧（16），所述高强弹簧（16）上端位置与承重柱座（1）下表面之间为固定连接，且高强弹簧（16）下端位置安装有活动球，所述活动球与连接座（2）之间为活动连接。
5.根据权利要求1所述的适配于石墨旋转靶材使用的自动化吊装设备，其特征在于，所述被动换向动作组件包括从动齿轮（15）、主动齿轮（11）和驱动电机（5），所述从动齿轮（15）安装在...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘洪强，孔伟华，刘秉宁，
申请(专利权)人：江苏东玖光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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