【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械臂，特别是涉及一种基于冗余自由度的移动式机械臂。
技术介绍
1、在半导体工艺中，经常需要利用机械臂传输晶圆等硅晶片，以便于硅晶片前往所需的工艺腔体。为控制硅晶片在机械臂上的位置，通常会在机械臂上设置夹持组件，通过机械臂和夹持组件夹持并将硅晶片运输至指定位置。
2、现有的用于夹持硅晶片的夹持组件在夹持前过程中可能存在碰撞的情况，如不能及时检测反馈，会导致夹持端或者撞击物损坏，因为如何及时避免撞击导致夹持端或者撞击物损坏，是需要解决的技术问题。
技术实现思路
1、本技术提供一种基于冗余自由度的移动式机械臂，能够及时的检测到夹持件前端部受到碰撞，使得机械臂停止前进，避免进一步撞击使得夹持件或者撞击物损坏的情况发生。
2、为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种基于冗余自由度的移动式机械臂，包括机械臂主体、安装板和夹持组件，上述安装板安装在上述机械臂主体的夹持端；
4、上述夹持组件包括夹持件、推板和第一检测件，上述夹持件安装在上述安装板上；
5、上述推板凸出并活动设于上述夹持件远离上述安装板的端面；
6、上述第一检测件设于上述夹持件，用于检测上述推板受到碰撞而运动的状态并反馈信号使得上述夹持件改变前进方向。
7、优选地，还包括第二检测件，用于检测上述夹持件的行进区域内否有障碍物。
8、优选地，上述夹持件包括夹爪板和设于上述夹爪板前端且相距一定距离的两个夹持板，上述推板和
9、优选地，上述放置板远离上述夹爪板的端部上端面设置有阻挡板，上述夹爪板和上述阻挡板之间形成放置硅晶片的凹槽。
10、优选地，上述夹持板的内侧壁设置有第一导向板，上述第一导向板远离上述夹爪板的端部位于上述阻挡板上方，上述第一导向板远离上述夹爪板的端部设置有第一导向斜面。
11、优选地，上述第一导向板内侧壁设置有第二导向板，上述第二导向板位于上述放置板和上述夹爪板之间，上述夹爪板、两个上述第二导向板、两个上述放置板和两个上述阻挡板形成夹持空间；
12、上述第二导向板上端设有第二导向斜面,上述第二导向板靠近上述放置板的端部设置有第三导向斜面。
13、优选地，其特征在于，还包括第二检测组件，上述第二检测组件设于上述夹持件上，用于检测被夹持的硅晶片是否完全位于上述夹爪板、两个上述夹持板、两个上述放置板和两个上述阻挡板形成夹持空间内。
14、优选地，上述第二检测组件包括第三检测件和第四检测件；
15、上述第三检测件设于上述夹持件中部，用于检测被夹持硅晶片的高度；
16、上述第四检测件设于上述夹持件靠近上述夹爪板的端部，用于检测被夹持硅晶片的端部是否与上述夹爪板的侧壁相接触。
17、相比现有技术，本技术的有益效果在于：
18、通过将推板突出并活动设于夹持件端面，一旦推板受到碰撞，推板就会运动，灵活度更高，而推板一运动，第一检测件就会检测到推板的运动状态，检测更及时，第一检测件就会判定推板撞击到其他物体，从而第一检测件就会把撞击信息反馈，使得整个机械臂停止运动并改变夹持件的前进方向，能够及时避免因撞击导致夹持件或者撞击物的损坏的情况发生。
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1.一种基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，包括机械臂主体、安装板和夹持组件，所述安装板安装在所述机械臂主体的夹持端；
2.根据权利要求1所述的基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，还包括第二检测件，用于检测所述夹持件的行进区域内否有障碍物。
3.根据权利要求1所述的基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，所述夹持件包括夹爪板和设于所述夹爪板前端且相距一定距离的两个夹持板，所述推板和所述第一检测件均为两个，两个所述第一检测件对应设于两个所述夹持板内，两个所述推板对应活动设于两个所述夹持板远离所述夹爪板的端面；所述夹持板的内侧壁下端部设置有用于放置硅晶片的放置板。
4.根据权利要求3所述的基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，所述放置板远离所述夹爪板的端部上端面设置有阻挡板，所述夹爪板和所述阻挡板之间形成放置硅晶片的凹槽。
5.根据权利要求4所述的基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，所述夹持板的内侧壁设置有第一导向板，所述第一导向板远离所述夹爪板的端部位于所述阻挡板上方，所述第一导向板远离所述夹爪板的端部设置有第
6.根据权利要求5所述的基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，所述第一导向板内侧壁设置有第二导向板，所述第二导向板位于所述放置板和所述夹爪板之间，所述夹爪板、两个所述第二导向板、两个所述放置板和两个所述阻挡板形成夹持空间；
7.根据权利要求4所述的基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，还包括第二检测组件，所述第二检测组件设于所述夹持件上，用于检测被夹持的硅晶片是否完全位于所述夹爪板、两个所述夹持板、两个所述放置板和两个所述阻挡板形成夹持空间内。
8.根据权利要求7所述的基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，所述第二检测组件包括第三检测件和第四检测件；
...【技术特征摘要】
1.一种基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，包括机械臂主体、安装板和夹持组件，所述安装板安装在所述机械臂主体的夹持端；
2.根据权利要求1所述的基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，还包括第二检测件，用于检测所述夹持件的行进区域内否有障碍物。
3.根据权利要求1所述的基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，所述夹持件包括夹爪板和设于所述夹爪板前端且相距一定距离的两个夹持板，所述推板和所述第一检测件均为两个，两个所述第一检测件对应设于两个所述夹持板内，两个所述推板对应活动设于两个所述夹持板远离所述夹爪板的端面；所述夹持板的内侧壁下端部设置有用于放置硅晶片的放置板。
4.根据权利要求3所述的基于冗余自由度的移动式机械臂，其特征在于，所述放置板远离所述夹爪板的端部上端面设置有阻挡板，所述夹爪板和所述阻挡板之间形成放置硅晶片的凹槽。
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶可枢，李文华，
申请(专利权)人：杭州迦智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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