【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜设备的,具体涉及一种镀膜机的自动抽真空装置。
技术介绍
1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。
2、根据专利号为:cn 216155959 u的中国专利,公开了一种真空镀膜设备用抽真空装置,涉及真空镀膜设备
,包括真空泵本体,还包括:固定组件,所述固定组件安装在真空泵本体外侧,用于对真空泵本体进行固定,以及减震组件,所述减震组件包括竖向缓冲机构以及横向缓冲机构,所述竖向缓冲机构包括缓冲板,所述缓冲板表面相对布置两组缓冲杆,所述缓冲杆安装在真空泵本体两侧,缓冲杆外侧设置缓冲弹簧,缓冲弹簧在竖直方向对真空泵本体进行减震处理,所述伸缩套筒与伸缩弹簧配合在水平方向对真空泵本体进行减震处理,进而对真空泵本体进行全方位减震处理,有效避免在长时间的振动的过程中真空泵本体内部结构损坏,通过对真空泵体进行保护,有效延长了使用寿命。
3、然而现有的镀膜机自动抽真空装置在使用过程中,设备门体开合会导致密封条产生部分磨损和脱落,导致密封位置的密封效果变差,从而使真空抽取的时间变长,如不及时处理,会影响到后阶段的镀膜效果,但目前的抽气机构不具备漏气检测功能,会造成真空镀膜机工作质量较低的问题。
【技术保护点】
1.一种镀膜机的自动抽真空装置,包括支撑机构(1)、抽真空机构(2)以及检测机构(3)组成,其特征在于:所述支撑机构(1)由支撑板(5)、支撑杆(6)、装载板(7)以及出气孔(8)组成,所述支撑机构(1)的装载板(7)上设有抽真空机构(2),所述抽真空机构(2)由抽真空气泵(9)、散热箱(10)、进气口(11)、散热风机(12)、第一连接管(13)、出气软管(14)、抽取管道(15)以及电磁阀(16)组成,所述支撑机构(1)的装载板(7)上设有检测机构(3),所述检测机构(3)由气压检测箱体(17)、数显电子压力表(18)、进气管道(19)以及过滤板(20)组成。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机的自动抽真空装置,其特征在于:所述支撑机构(1)的支撑板(5)上设有固定孔,所述支撑板(5)上设有支撑杆(6),所述支撑杆(6)上设有装载板(7),所述装载板(7)下侧设有出气孔(8),所述出气孔(8)处设有过滤板。
3.根据权利要求1所述的一种镀膜机的自动抽真空装置,其特征在于:所述抽真空气泵(9)设在装载板(7)上,所述抽真空气泵(9)旁边设有散热箱(10)
4.根据权利要求3所述的一种镀膜机的自动抽真空装置,其特征在于:所述散热箱(10)两侧设有散热风机(12),所述散热风机(12)上设有第一连接管(13),所述抽真空气泵(9)左侧设有出气软管(14),所述出气软管(14)和第一连接管(13)均与装载板(7)的出气孔(8)连接,所述抽真空气泵(9)右侧设有抽取管道(15),所述抽取管道(15)末端设有电磁阀(16),所述电磁阀(16)上设有指示灯。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜机的自动抽真空装置,其特征在于:所述检测机构(3)的气压检测箱体(17)通过连接管道与电磁阀(16)连接,所述气压检测箱体(17)上设有警报灯,所述气压检测箱体(17)上设有数显电子压力表(18),所述数显电子压力表(18)下侧设有控制面板。
6.根据权利要求5所述的一种镀膜机的自动抽真空装置,其特征在于:所述气压检测箱体(17)右侧设有进气管道(19),所述进气管道(19)内部设有过滤板(20),所述过滤板(20)上设有过滤网孔。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜机的自动抽真空装置,包括支撑机构(1)、抽真空机构(2)以及检测机构(3)组成,其特征在于:所述支撑机构(1)由支撑板(5)、支撑杆(6)、装载板(7)以及出气孔(8)组成,所述支撑机构(1)的装载板(7)上设有抽真空机构(2),所述抽真空机构(2)由抽真空气泵(9)、散热箱(10)、进气口(11)、散热风机(12)、第一连接管(13)、出气软管(14)、抽取管道(15)以及电磁阀(16)组成,所述支撑机构(1)的装载板(7)上设有检测机构(3),所述检测机构(3)由气压检测箱体(17)、数显电子压力表(18)、进气管道(19)以及过滤板(20)组成。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机的自动抽真空装置,其特征在于:所述支撑机构(1)的支撑板(5)上设有固定孔,所述支撑板(5)上设有支撑杆(6),所述支撑杆(6)上设有装载板(7),所述装载板(7)下侧设有出气孔(8),所述出气孔(8)处设有过滤板。
3.根据权利要求1所述的一种镀膜机的自动抽真空装置,其特征在于:所述抽真空气泵(9)设在装载板(7)上,所述抽真空气泵(9)...
【专利技术属性】
技术研发人员:向海洋,李庆国,
申请(专利权)人:四川海格锐特科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。