【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及运动平台，尤其涉及一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台。
技术介绍
1、精密检测、精密制造要求运动平台具有亚微米甚至纳米级精度，然而现有平台受到导轨摩擦力的影响，精度受限。现有的技术提出了刚柔耦合运动平台，采用柔性铰链隔离摩擦的影响，理论上可以实现光栅反馈的精度。然而，导轨摩擦力、柔性铰链刚度、电机安装等受制造误差影响都会不一致，导致两边柔性铰链的变形不一样，从而使得平台内部产生偏转而降低精度。另外，大部分设备由多轴平台组成，平台之间有垂直度或者平行度等要求，由于制造和安装误差，只能通过控制程序来补偿。鉴于此，本专利技术提出一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是针对
技术介绍
中存在导轨摩擦力、柔性铰链刚度、电机安装等受制造误差影响，导致两边柔性铰链的变形不一样，从而使得平台内部产生偏转而降低精度的问题，提出一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台。
2、本专利技术的技术方案：一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，包括底座以及设置于所述底座上方的第一平台；安装于所述底座顶部用于带动第一平台移动的两组第一直线电机；至少两组第一限位组件，所述第一限位组件设置于底座与第一平台之间在所述第一平台移动时进行限位，所述第一限位组件包括安装于底座顶部的第一导轨，所述第一导轨上滑动连接有至少两组第一滑块；多组柔性铰链，所述柔性铰链安装于第一平台中且分别与多组第一滑块固定连接；设置于所述第一平台下方用于监测第一平台变形偏差的两组第一传感器，两组所述第一传感器对称设置。
3、可选的，两组所述第一直线电机对称设置于底座顶部，两组所述第一直线电机的输出端分别固定连接有一组第一连接板，两组所述第一连接板均固定连接在第一平台底部。
4、可选的，所述第一平台上开设有多组通槽，所述通槽位置与第一滑块以及柔性铰链对应，多组所述柔性铰链分别安装于多组通槽中。
5、可选的，所述柔性铰链包括连接块以及连接片，所述连接块设置于通槽的中心位置，所述连接块与第一滑块固定连接，所述连接块的两侧与通槽的内壁固定连接有至少两组连接片，所述连接片与第一导轨垂直。
6、可选的，所述第一直线电机与第一导轨平行设置。
7、可选的，所述第一传感器的一侧固定连接有第一安装板，所述第一安装板安装于第一平台底部。
8、可选的，还包括设置于所述第一平台上方的第二平台，所述第一平台的顶部还安装有至少两组对称设置的第二限位组件，所述第二限位组件包括安装于第一平台顶部的第二导轨，所述第二导轨上滑动连接有至少两组第二滑块，所述第二滑块通过柔性铰链与第二平台固定连接，且设置于所述第二平台中的连接片与第二导轨垂直。
9、可选的，所述第一导轨与第二导轨相互垂直。
10、可选的，两组所述第二限位组件之间还设置有安装于第一平台顶部的第二直线电机，所述第二直线电机的移动端固定连接有安装在第二平台底部的第二连接板，所述第二直线电机与第一直线电机相互垂直。
11、可选的，所述第二平台的下方还设置有用于监测第二平台变形偏差的第二传感器，所述第二传感器的一侧固定连接有安装在第二平台底部的第二安装板。
12、与现有技术相比，本专利技术具有如下有益的技术效果：
13、本专利技术通过第一限位组件的设置，在第一直线电机启动后可以带动第一平台平稳移动，通过第二限位组件的设置，在第二直线电机启动后可以带动第二平台平稳移动，从而实现对第二平台的多向移动；
14、进一步通过第一传感器的设置，实时测量第一平台的变形偏差，并通过第一直线电机进行补偿，消除摩擦力、柔性铰链刚度和电机安装位置带来的偏差；在垂直度、平行度出现偏差，通过第一直线电机的测量和双第一直线电机的控制，通过柔性铰链的变形差，形成偏角，从而实现对直线度或者平行度的补偿；
15、综上所述，本专利技术解决了刚柔耦合平台受导轨摩擦变形，刚柔铰链刚度，电机偏心导致的变形不对称问题，还能通过微小的角度调节，补偿垂直度，平行度的制造安装误差。
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1.一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，两组所述第一直线电机(3)对称设置于底座(1)顶部，两组所述第一直线电机(3)的输出端分别固定连接有一组第一连接板(31)，两组所述第一连接板(31)均固定连接在第一平台(2)底部。
3.根据权利要求2所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，所述第一平台(2)上开设有多组通槽(21)，所述通槽(21)位置与第一滑块(42)以及柔性铰链(5)对应，多组所述柔性铰链(5)分别安装于多组通槽(21)中。
4.根据权利要求3所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，所述柔性铰链(5)包括连接块(51)以及连接片(52)，所述连接块(51)设置于通槽(21)的中心位置，所述连接块(51)与第一滑块(42)固定连接，所述连接块(51)的两侧与通槽(21)的内壁固定连接有至少两组连接片(52)，所述连接片(52)与第一导轨(41)垂直。
5.根据权利要求4所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，所
6.根据权利要求5所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，所述第一传感器(6)的一侧固定连接有第一安装板(61)，所述第一安装板(61)安装于第一平台(2)底部。
7.根据权利要求6所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，还包括设置于所述第一平台(2)上方的第二平台(7)，所述第一平台(2)的顶部还安装有至少两组对称设置的第二限位组件(8)，所述第二限位组件(8)包括安装于第一平台(2)顶部的第二导轨(81)，所述第二导轨(81)上滑动连接有至少两组第二滑块(82)，所述第二滑块(82)通过柔性铰链(5)与第二平台(7)固定连接，且设置于所述第二平台(7)中的连接片(52)与第二导轨(81)垂直。
8.根据权利要求7所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，所述第一导轨(41)与第二导轨(81)相互垂直。
9.根据权利要求7所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，两组所述第二限位组件(8)之间还设置有安装于第一平台(2)顶部的第二直线电机(9)，所述第二直线电机(9)的移动端固定连接有安装在第二平台(7)底部的第二连接板(91)，所述第二直线电机(9)与第一直线电机(3)相互垂直。
10.根据权利要求9所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，所述第二平台(7)的下方还设置有用于监测第二平台(7)变形偏差的第二传感器(10)，所述第二传感器(10)的一侧固定连接有安装在第二平台(7)底部的第二安装板(11)。
...【技术特征摘要】
1.一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，两组所述第一直线电机(3)对称设置于底座(1)顶部，两组所述第一直线电机(3)的输出端分别固定连接有一组第一连接板(31)，两组所述第一连接板(31)均固定连接在第一平台(2)底部。
3.根据权利要求2所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，所述第一平台(2)上开设有多组通槽(21)，所述通槽(21)位置与第一滑块(42)以及柔性铰链(5)对应，多组所述柔性铰链(5)分别安装于多组通槽(21)中。
4.根据权利要求3所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，所述柔性铰链(5)包括连接块(51)以及连接片(52)，所述连接块(51)设置于通槽(21)的中心位置，所述连接块(51)与第一滑块(42)固定连接，所述连接块(51)的两侧与通槽(21)的内壁固定连接有至少两组连接片(52)，所述连接片(52)与第一导轨(41)垂直。
5.根据权利要求4所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，所述第一直线电机(3)与第一导轨(41)平行设置。
6.根据权利要求5所述的一种具有纠偏功能的刚柔耦合平台，其特征在于，所述第一传感器(6)的一侧固定连接有第一安装板(61)，所述第一安...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨志军，廖辉，李航行，
申请(专利权)人：佛山市华道超精科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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