【技术实现步骤摘要】
本技术涉及链式刻蚀设备领域，尤其涉及一种链式刻蚀设备。
技术介绍
1、高背面反射率可以显著提升太阳能电池的转换效率。槽式碱抛工艺背面反射率可以达到45％以上，链式酸刻蚀背面反射率目前可以达到35％。链式酸刻蚀或链式碱刻蚀由于硅片漂浮在液面上方，导致背面反应生成的气泡脱附存在不均匀性，导致局部脱泡效果差，进一步提升背面反射率会带来外观黑边问题，导致良率变差，生产成本高，导致背面反射率限制在较低的水平。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题在于，提供一种链式刻蚀设备，其能够改善电池片背面刻蚀不均匀的问题，提升电池外观良率。
2、为解决上述问题，本技术提供了一种链式刻蚀设备，包括：
3、若干个独立的刻蚀槽，所述刻蚀槽用于容置刻蚀药液，在电池片处于漂浮状态时对所述电池片的背面进行抛光；
4、负压管槽，所述负压管槽设于相邻的两个刻蚀槽之间，所述负压管槽用于去除所述电池片的背面残留的刻蚀药液和气泡；
5、传送滚轮，所述传送滚轮设于所述刻蚀槽和所述负压管槽内，电池片通过所述传送滚轮在所述刻蚀槽和所述负压管槽间传送。
6、在一种实施方式中，所述负压管槽内设有负压管，所述负压管设于所述负压管槽内的所述传送滚轮之间。
7、在一种实施方式中，所述负压管的上设有负压孔，所述负压孔用于吸收所述电池片的背面残留的刻蚀药液和气泡。
8、在一种实施方式中，所述负压管的一端通过管道与真空泵相连，以使所述负压管内产生负压。>
9、在一种实施方式中，所述负压管的一端通过管道与刻蚀药液回收槽相连，所述负压管吸收的所述电池片的背面残留的刻蚀药液通过管道流入所述刻蚀药液回收槽。
10、在一种实施方式中，所述负压管槽内相邻所述传送滚轮之间设有1～3根负压管。
11、在一种实施方式中，相邻的两个刻蚀槽之间还设有水洗槽，电池片通过所述水洗槽之后再进入所述负压管槽。
12、在一种实施方式中，所述刻蚀槽内设有加热装置。
13、在一种实施方式中，所述传送滚轮平行排列。
14、在一种实施方式中，所述传送滚轮表面设有凸纹。
15、本技术，具有如下有益效果：
16、本技术提出了一种链式刻蚀设备，包括：若干个独立的刻蚀槽，所述刻蚀槽用于容置刻蚀药液，在电池片处于漂浮状态时对所述电池片的背面进行抛光；负压管槽，所述负压管槽设于相邻的两个刻蚀槽之间，所述负压管槽用于去除所述电池片的背面残留的刻蚀药液和气泡；传送滚轮，所述传送滚轮设于所述刻蚀槽和所述负压管槽内，电池片通过所述传送滚轮在所述刻蚀槽和所述负压管槽间传送。本技术在相邻刻蚀槽之间增设负压管槽，可以及时将电池片背面的刻蚀药液及时吸除，同时可以将背面产生并吸附于表面的气泡吸除，从而明显改善电池片背面刻蚀不均匀导致的背面外观黑边，提升电池外观良率和电池品质，改善因刻蚀不均匀导致的陷光和钝化差异，提升太阳能电池转换效率。
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1.一种链式刻蚀设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述负压管槽内设有负压管，所述负压管设于所述负压管槽内的所述传送滚轮之间。
3.根据权利要求2所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述负压管上设有负压孔，所述负压孔用于吸收所述电池片的背面残留的刻蚀药液和气泡。
4.根据权利要求2所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述负压管的一端通过管道与真空泵相连，以使所述负压管内产生负压。
5.根据权利要求2所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述负压管的一端通过管道与刻蚀药液回收槽相连，所述负压管吸收的所述电池片的背面残留的刻蚀药液通过管道流入所述刻蚀药液回收槽。
6.根据权利要求2所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述负压管槽内相邻所述传送滚轮之间设有1～3根负压管。
7.根据权利要求1所述的链式刻蚀设备，其特征在于，相邻的两个刻蚀槽之间还设有水洗槽，电池片通过所述水洗槽之后再进入所述负压管槽。
8.根据权利要求1所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀槽内设有加热装置。>
9.根据权利要求1所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述传送滚轮平行排列。
10.根据权利要求1所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述传送滚轮表面设有凸纹。
...【技术特征摘要】
1.一种链式刻蚀设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述负压管槽内设有负压管，所述负压管设于所述负压管槽内的所述传送滚轮之间。
3.根据权利要求2所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述负压管上设有负压孔，所述负压孔用于吸收所述电池片的背面残留的刻蚀药液和气泡。
4.根据权利要求2所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述负压管的一端通过管道与真空泵相连，以使所述负压管内产生负压。
5.根据权利要求2所述的链式刻蚀设备，其特征在于，所述负压管的一端通过管道与刻蚀药液回收槽相连，所述负压管吸收的所述电池...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨永平，时宝，刘思杨，周建科，马泽元，陈刚，
申请(专利权)人：天津爱旭太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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