【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体器件生产设备的温湿度控制，尤其涉及一种温湿度控制装置及方法。
技术介绍
1、半导体器件生产过程中，从原材料投入生产到成品制成，往往是各个工序顺次连续进行，以提高生产效率。如果其中一个工艺环节中的设备发生问题，将无法继续生产，造成损失。
2、现有技术中，一般采用热电元件对半导体器件生产过程中的涂胶显影设备进行温湿度的控制和调整。
3、但是，在热电元件的使用过程中，热电元件的空气管线易与空气中的热量摩擦而产生水蒸气，造成漏电甚至发生短路现象，导致涂胶显影设备无法正常使用，使得生产效率降低，成本增大。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种温湿度控制装置及方法，用于克服现有技术中存在的涂胶显影设备无法正常使用，导致生产效率降低，成本增大的技术问题。
2、为了实现上述目的，第一方面，本专利技术提供一种温湿度控制装置，包括控制器、至少两个热电元件和至少两个水蒸气传感器，热电元件用于调整并控制外部设备的温湿度。一个热电元件至少对应一个水蒸气传感器，水蒸气传感器用于监测热电元件的空气管线，以获取空气管线周围空气中水蒸气的含量。控制器与水蒸气传感器和热电元件均电连接，控制器用于接收水蒸气传感器所监测到的空气管线周围空气中水蒸气的含量信号，控制器根据水蒸气的含量信号，控制与该水蒸气传感器相对应的热电元件的启停。
3、采用上述技术方案时，当一个热电元件处于工作状态时，对应处于工作状态的热电元件的水蒸气传感器用于监测该热电元件的
4、在一些可能的实现方式中，所述温湿度控制装置还包括干燥机构，所述干燥机构用于干燥所述空气管线；所述控制器还与所述干燥机构电连接，所述控制器还用于根据所述水蒸气的含量信号控制所述干燥机构的启停。
5、在一些可能的实现方式中，所述干燥机构包括多个风机，所述风机用于吹风干燥所述空气管线，一个所述热电元件至少对应一个所述风机；所述控制器与所述风机电连接，根据所述水蒸气的含量信号，所述控制器用于控制所述风机的启停。
6、在一些可能的实现方式中，所述干燥机构还包括加热组件，所述加热组件的热量出口端位于所述风机与所述空气管线之间；所述控制器与所述加热组件电连接，所述控制器还用于根据所述水蒸气的含量信号控制所述加热组件的启停。
7、在一些可能的实现方式中，所述加热组件包括：
8、加热器，用于产生热量；
9、至少两个传输管，与所述加热器的出口端连通，用于接收并传输热量；所述传输管的出口端位于所述风机与所述空气管线之间；一个所述热电元件至少对应一个所述传输管。
10、在一些可能的实现方式中，所述热电元件的数量为两个。
11、在一些可能的实现方式中，所述热电元件与所述水蒸气传感器一一对应。
12、第二方面，本专利技术提供一种温湿度控制方法，应用如第一方面或第一方面任一可能的实现方式所描述的温湿度控制装置对外部设备的温湿度进行控制。温湿度控制方法包括：
13、对处于工作状态的第一热电元件的空气管线周围空气中的水蒸气含量进行监测；
14、当水蒸气含量超过预设范围时，关闭第一热电元件，同时启动第二热电元件。
15、第二方面所描述的温湿度控制方法的有益效果可以参照上述的温湿度控制装置的有益效果，此处不作赘述。
16、在一些可能的实现方式中，在所述当所述水蒸气含量超过预设范围时，关闭所述第一热电元件，同时启动第二热电元件之后，所述温湿度控制方法还包括：
17、对所述第一热电元件的空气管线进行干燥。
18、在一些可能的实现方式中，在所述对所述第一热电元件的空气管线进行干燥之后，所述温湿度控制方法还包括：
19、对处于工作状态的所述第二热电元件的空气管线周围空气中的水蒸气含量进行监测；
20、当所述第二热电元件的空气管线周围空气中的水蒸气含量超过预设范围时，关闭所述第二热电元件，同时启动所述第一热电元件。
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1.一种温湿度控制装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的温湿度控制装置，其特征在于，所述温湿度控制装置还包括干燥机构，所述干燥机构用于干燥所述空气管线；所述控制器还与所述干燥机构电连接，所述控制器还用于根据所述水蒸气的含量信号控制所述干燥机构的启停。
3.根据权利要求2所述的温湿度控制装置，其特征在于，所述干燥机构包括多个风机，所述风机用于吹风干燥所述空气管线，一个所述热电元件至少对应一个所述风机；所述控制器与所述风机电连接，根据所述水蒸气的含量信号，所述控制器用于控制所述风机的启停。
4.根据权利要求3所述的温湿度控制装置，其特征在于，所述干燥机构还包括加热组件，所述加热组件的热量出口端位于所述风机与所述空气管线之间；所述控制器与所述加热组件电连接，所述控制器还用于根据所述水蒸气的含量信号控制所述加热组件的启停。
5.根据权利要求4所述的温湿度控制装置，其特征在于，所述加热组件包括：
6.根据权利要求1所述的温湿度控制装置，其特征在于，所述热电元件的数量为两个。
7.根据权利要求6所述的温湿度控
8.一种温湿度控制方法，其特征在于，应用如权利要求1至7任一项所述的温湿度控制装置对外部设备的温湿度进行控制；所述温湿度控制方法包括：
9.根据权利要求8所述的温湿度控制方法，其特征在于，在所述当所述水蒸气含量超过预设范围时，关闭所述第一热电元件，同时启动第二热电元件之后，所述温湿度控制方法还包括：
10.根据权利要求9所述的温湿度控制方法，其特征在于，在所述对所述第一热电元件的空气管线进行干燥之后，所述温湿度控制方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种温湿度控制装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的温湿度控制装置，其特征在于，所述温湿度控制装置还包括干燥机构，所述干燥机构用于干燥所述空气管线；所述控制器还与所述干燥机构电连接，所述控制器还用于根据所述水蒸气的含量信号控制所述干燥机构的启停。
3.根据权利要求2所述的温湿度控制装置，其特征在于，所述干燥机构包括多个风机，所述风机用于吹风干燥所述空气管线，一个所述热电元件至少对应一个所述风机；所述控制器与所述风机电连接，根据所述水蒸气的含量信号，所述控制器用于控制所述风机的启停。
4.根据权利要求3所述的温湿度控制装置，其特征在于，所述干燥机构还包括加热组件，所述加热组件的热量出口端位于所述风机与所述空气管线之间；所述控制器与所述加热组件电连接，所述控制器还用于根据所述水蒸气的含量信号控制所述加热组...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐允德，
申请(专利权)人：成都高真科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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