【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶棒制备，尤其涉及一种单晶炉取晶棒设备。
技术介绍
1、单晶硅是一种良好的半导体材料，通过单晶炉将单晶硅加工而成的晶棒被广泛应用于各种半导体产品的制造中，例如，晶体管、太阳能电池板及生物芯片等；在单晶炉将硅原料加工成晶棒后，需要用取晶车将其从单晶炉中取出，而现有的取晶车在对晶棒进行取晶、运输及放置等操作时无法调整取晶车的工作角度，只能通过人工改变取晶车的工作角度，一方面，人工改变取晶车的工作角度时可能会造成晶棒掉落或碎伤；另一方面，人工改变取晶车的工作角度时，操作人员可能被晶棒烫伤。
2、为解决上述技术问题，专利申请号为cn202023027586.0的中国技术专利公告的技术方案是一种直拉单晶炉用取晶车，包括多根平行的底杆，所述底杆同一端连接有第一连接杆，所述第一连接杆上设置有油缸，其特征是：所述油缸设置有活动固定于油缸的滑动板，所述滑动板上沿垂直于油缸的方向设置有旋转装置、机械手装置和固定夹棒装置，所述旋转装置包括紧贴在滑动板上的第一固定块，所述第一固定块设置有穿过第一固定块且平行于滑动板的蜗杆，所述蜗杆上啮合有蜗轮，所述蜗轮的轴心处穿设有与蜗轮固接的第二连接杆，所述第二连接杆远离蜗轮的一端连接有转动轴，所述转动轴与机械手装置连接，所述固定夹棒装置包括底板，所述底板包括底盘，所述底盘设置有分布于底盘两侧且与底盘平行的支撑杆，所述支撑杆连接有第二转动杆，所述底盘的一端设置有垂直于底盘的挡板，所述挡板设置有通槽，所述底板设置有多个平行于挡板且位于挡板同一侧的呈轴对称的夹板。如此，使得单晶炉将多晶硅加热拉制
3、然而上述现有技术中存在以下技术问题：该直拉单晶炉用取晶车是通过将晶棒的尖锐部落入挡板的通槽内，以固定晶棒的底部，再通过机械手装置夹取晶棒的中部，从而将晶棒固定到直拉单晶炉用取晶车上，挡板和机械手装置间的距离是固定的，然而不同规格晶棒的长度也不同，该直拉单晶炉用取晶车在夹取较长的晶棒时，机械手装置仅能夹取到晶棒偏下的部分，不能夹取晶棒的中部，从而在运输晶棒及将晶棒转至水平时，晶棒的顶部不稳定，导致晶棒从单晶炉用取晶车上掉落损坏，甚至会砸伤操作人员。
技术实现思路
1、有鉴于此，有必要提供一种能够平稳运输晶棒的单晶炉取晶棒设备，以保证晶棒的质量及操作人员的安全。
2、本专利技术提供了一种单晶炉取晶棒设备，包括支撑底座、升降组件、转向组件、夹取构件及固定组件，所述固定组件包括两个构造相同的固定座，两个固定座与夹取构件之间的间距可调的安装在夹取构件的上下两端；所述升降组件安装在所述支撑底座上，所述转向组件的两端分别与所述升降组件及所述夹取构件连接；所述升降组件用于调整所述夹取构件的高度，所述转向组件用于使所述夹取构件在竖直平面内转动，所述夹取构件用于夹取晶棒的中部，两个固定座分别用于根据晶棒的长度调整固定座与夹取构件间的距离，并固定在晶棒的两端。
3、优选的，所述支撑底座上装有转向轮及驱动轮；所述支撑底座上还开有配重槽，用于根据晶棒的重量放入配重块，以调节支撑底座的重量。
4、优选的，所述转向轮上装有刹车片及踏板，所述刹车片可转动的安装在所述转向轮上，用于锁定转向轮，所述踏板与所述刹车片固定连接，用于带动刹车片转动。
5、优选的，所述升降组件包括升降架、固定板、升降滑块、连接链条、升降底座及液压升降缸，所述升降架固定在所述支撑底座上，所述固定板固定在所述升降架上，所述升降滑块及升降底座可滑动的安装在所述升降架上，所述连接链条的一端与所述固定板连接，另一端绕过所述升降滑块后与所述升降底座固定连接，所述连接链条与所述升降滑块之间滑动连接，以使升降滑块上下运动时带动升降底座上下运动，所述液压升降缸的固定端固定在所述支撑底座上，驱动端与所述升降滑块连接，以通过液压升降缸驱动端的伸缩带动所述升降滑块的上升与下降。
6、优选的，所述升降架上设有拉杆，以便于操作人员拉动所述单晶炉取晶棒设备。
7、优选的，所述转向组件包括齿轮箱、转向杆及第一操作杆，所述齿轮箱安装在所述升降底座上，所述转向杆的一端设有转向齿轮并可转动的伸入所述齿轮箱中，另一端和所述夹取构件连接，所述第一操作杆的一端设有驱动齿轮并可转动的伸入所述齿轮箱中，另一端设有第一操作盘；所述转向杆和所述第一操作杆互相垂直，并且所述转向齿轮和所述驱动齿轮啮合。
8、优选的，所述夹取构件包括夹取底座、第二操作杆、两个螺母座及两个夹具，所述夹取底座的一端与所述转向杆背向所述齿轮箱的一端固定连接，所述第二操作杆的一端穿过所述夹取底座的两侧并且可转动的安装在所述夹取底座上，另一端设有第二操作盘，所述第二操作杆上开有螺纹，每个螺母座上开有滑动孔，所述滑动孔内开有螺纹，以通过螺纹连接的方式将两个夹具可转动的安装到第二操作杆上，并且两个螺母座的滑动孔内螺纹方向相反，以使两个螺母座在所述第二操作杆上以相反的方向运动，每个夹具的一侧均与一个螺母座固定连接并且与所述夹取底座的另一端卡接，两个夹具互相正对的一侧均开有用于夹取晶棒的夹取槽。
9、优选的，所述夹取构件还包括防脱组件，所述防脱组件包括防脱链条及防脱锁扣，所述防脱锁扣固定在其中一个夹具上，防脱链条的一端固定在另一个夹具上，另一端用于与所述防脱锁扣连接。
10、优选的，所述单晶炉取晶棒设备还包括两个构造相同的锁定组件，每个锁定组件包括锁定齿轮、锁定弹片及锁定轴，所述锁定弹片可转动的安装在所述锁定轴上，所述锁定弹片用于卡入齿槽中锁定齿轮，各锁定齿轮分别固定在所述第一操作杆及第二操作杆上，各锁定轴分别固定在所述齿轮箱及夹取底座上并且与对应的锁定齿轮同侧设置；各锁定轴上还设有两个锁定片，以限制所述锁定弹片的滑动范围。
11、优选的，每个固定座包括两个固定锁扣、两条固定链条及固定环，各固定锁扣分别与两个夹具固定连接，每条固定链条的一端与所述固定环固定连接，另一端与一个固定锁扣连接，所述固定锁扣用于锁定固定链条的不同链节改变固定锁扣与固定环间的固定链条长度。
12、上述单晶炉取晶棒设备，设有支撑底座、升降组件、转向组件、夹取构件及固定组件，固定组件包括两个构造相同的固定座；升降组件安装在支撑底座上，转向组件的两端分别与升降组件及夹取构件连接，两个固定座分别长度可调的安装在夹取构件的上下两端；升降组件用于调整夹取构件的高度，转向组件用于使夹取构件在竖直平面内转动，夹取构件用于夹取晶棒的中部，两个固定座分别用于固定晶棒的两端，每个固定座还用于根据晶棒的长度调整固定座与夹取构件间的距离，如此，在夹取晶棒时，能够根据晶棒的长度调整各固定座与夹取构件间的距离，从而确保在固定座将晶棒的两端固定后，夹取构件能够正对该晶棒的二分之一处，以在对晶棒运输及转至水平的过程中保持晶棒的稳定，从而保证晶棒的质量及操作人员本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种单晶炉取晶棒设备，其特征在于，包括支撑底座、升降组件、转向组件、夹取构件及固定组件，所述固定组件包括两个构造相同的固定座，两个固定座与夹取构件之间的间距可调的安装在夹取构件的上下两端；所述升降组件安装在所述支撑底座上，所述转向组件的两端分别与所述升降组件及所述夹取构件连接；所述升降组件用于调整所述夹取构件的高度，所述转向组件用于使所述夹取构件在竖直平面内转动，所述夹取构件用于夹取晶棒的中部，两个固定座分别用于根据晶棒的长度调整固定座与夹取构件间的距离，并固定在晶棒的两端。
2.如权利要求1所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述支撑底座上装有转向轮及驱动轮；所述支撑底座上还开有配重槽，用于根据晶棒的重量放入配重块，以调节支撑底座的重量。
3.如权利要求2所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述转向轮上装有刹车片及踏板，所述刹车片可转动的安装在所述转向轮上，用于锁定转向轮，所述踏板与所述刹车片固定连接，用于带动刹车片转动。
4.如权利要求1所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述升降组件包括升降架、固定板、升降滑块、连接链条、升降底座及液
5.如权利要求4所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述升降架上设有拉杆，以便于操作人员拉动所述单晶炉取晶棒设备。
6.如权利要求4所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述转向组件包括齿轮箱、转向杆及第一操作杆，所述齿轮箱安装在所述升降底座上，所述转向杆的一端设有转向齿轮并可转动的伸入所述齿轮箱中，另一端和所述夹取构件连接，所述第一操作杆的一端设有驱动齿轮并可转动的伸入所述齿轮箱中，另一端设有第一操作盘；所述转向杆和所述第一操作杆互相垂直，并且所述转向齿轮和所述驱动齿轮啮合。
7.如权利要求6所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述夹取构件包括夹取底座、第二操作杆、两个螺母座及两个夹具，所述夹取底座的一端与所述转向杆背向所述齿轮箱的一端固定连接，所述第二操作杆的一端穿过所述夹取底座的两侧并且可转动的安装在所述夹取底座上，另一端设有第二操作盘，所述第二操作杆上开有螺纹，每个螺母座上开有滑动孔，所述滑动孔内开有螺纹，以通过螺纹连接的方式将两个夹具可转动的安装到第二操作杆上，并且两个螺母座的滑动孔内螺纹方向相反，以使两个螺母座在所述第二操作杆上以相反的方向运动，每个夹具的一侧均与一个螺母座固定连接并且与所述夹取底座的另一端卡接，两个夹具互相正对的一侧均开有用于夹取晶棒的夹取槽。
8.如权利要求7所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述夹取构件还包括防脱组件，所述防脱组件包括防脱链条及防脱锁扣，所述防脱锁扣固定在其中一个夹具上，防脱链条的一端固定在另一个夹具上，另一端用于与所述防脱锁扣连接。
9.如权利要求7所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述单晶炉取晶棒设备还包括两个构造相同的锁定组件，每个锁定组件包括锁定齿轮、锁定弹片及锁定轴，所述锁定弹片可转动的安装在所述锁定轴上，所述锁定弹片用于卡入齿槽中锁定齿轮，各锁定齿轮分别固定在所述第一操作杆及第二操作杆上，各锁定轴分别固定在所述齿轮箱及夹取底座上并且与对应的锁定齿轮同侧设置；各锁定轴上还设有两个锁定片，以限制所述锁定弹片的滑动范围。
10.如权利要求9所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，每个固定座包括两个固定锁扣、两条固定链条及固定环，各固定锁扣分别与两个夹具固定连接，每条固定链条的一端与所述固定环固定连接，另一端与一个固定锁扣连接，所述固定锁扣用于锁定固定链条的不同链节改变固定锁扣与固定环间的固定链条长度。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉取晶棒设备，其特征在于，包括支撑底座、升降组件、转向组件、夹取构件及固定组件，所述固定组件包括两个构造相同的固定座，两个固定座与夹取构件之间的间距可调的安装在夹取构件的上下两端；所述升降组件安装在所述支撑底座上，所述转向组件的两端分别与所述升降组件及所述夹取构件连接；所述升降组件用于调整所述夹取构件的高度，所述转向组件用于使所述夹取构件在竖直平面内转动，所述夹取构件用于夹取晶棒的中部，两个固定座分别用于根据晶棒的长度调整固定座与夹取构件间的距离，并固定在晶棒的两端。
2.如权利要求1所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述支撑底座上装有转向轮及驱动轮；所述支撑底座上还开有配重槽，用于根据晶棒的重量放入配重块，以调节支撑底座的重量。
3.如权利要求2所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述转向轮上装有刹车片及踏板，所述刹车片可转动的安装在所述转向轮上，用于锁定转向轮，所述踏板与所述刹车片固定连接，用于带动刹车片转动。
4.如权利要求1所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述升降组件包括升降架、固定板、升降滑块、连接链条、升降底座及液压升降缸，所述升降架固定在所述支撑底座上，所述固定板固定在所述升降架上，所述升降滑块及升降底座可滑动的安装在所述升降架上，所述连接链条的一端与所述固定板连接，另一端绕过所述升降滑块后与所述升降底座固定连接，所述连接链条与所述升降滑块之间滑动连接，以使升降滑块上下运动时带动升降底座上下运动，所述液压升降缸的固定端固定在所述支撑底座上，驱动端与所述升降滑块连接，以通过液压升降缸驱动端的伸缩带动所述升降滑块的上升与下降。
5.如权利要求4所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述升降架上设有拉杆，以便于操作人员拉动所述单晶炉取晶棒设备。
6.如权利要求4所述的单晶炉取晶棒设备，其特征在于，所述转向组件包括齿轮箱、转向杆及第一操作杆，所述齿轮箱安装在所述升降底座上，所述转向杆的一端设有转向齿轮并可转动的伸入所述齿轮箱中，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张燕坤，王黎光，曹启刚，马旭武，芮阳，王忠保，李俊丽，赵娜，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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