【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及数据计算方法和基片处理装置。
技术介绍
1、在等离子体处理装置中，例如通过对作为处理对象的基片供给rf(radiofrequency：高频)电压，将由等离子体生成的离子、自由基引入基片，执行蚀刻等处理。此时，基片的电压(vpp)作为处理的状态的指标被监视和记录，用于处理结果的预测、状态监视、异常检测等。此外，提案了监视脉冲rf偏置电压的峰电压值而进行反馈控制的内容(专利文献1)。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特表2010-504614号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的技术问题
2、本专利技术提供能够求取具有多个级别(level)的脉冲波形的每个级别的水平和比率的数据计算方法和基片处理装置。
3、用于解决技术问题的技术方案
4、本专利技术的一个方式的数据计算方法包括：获取规定期间中的第一数据群的处理；根据第一数据群所包含的各数据的值的范围，将获取到的第一数据群分割为多个组的处理；提取分割得到的多个组中的有效组所包含的第二数据群的处理；和基于提取到的第二数据群，输出每个组的统计值的处理。
5、专利技术效果
6、根据本专利技术，能够求取具有多个级别的脉冲波形的每个级别的水平和比率。
【技术保护点】
1.一种数据计算方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的数据计算方法，其特征在于：
3.根据权利要求1或2所述的数据计算方法，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的数据计算方法，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的数据计算方法，其特征在于：
6.根据权利要求3所述的数据计算方法，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的数据计算方法，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的数据计算方法，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的数据计算方法，其特征在于：
10.根据权利要求8或9所述的数据计算方法，其特征在于：
11.根据权利要求1所述的数据计算方法，其特征在于：
12.根据权利要求1所述的数据计算方法，其特征在于：
13.根据权利要求12所述的数据计算方法，其特征在于：
14.根据权利要求1所述的数据计算方法，其特征在于：
15.根据权利要求1所述的数据计算方法，其特征在于：
16.根据权利要求14
17.一种基片处理装置，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种数据计算方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的数据计算方法，其特征在于：
3.根据权利要求1或2所述的数据计算方法，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的数据计算方法，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的数据计算方法，其特征在于：
6.根据权利要求3所述的数据计算方法，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的数据计算方法，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的数据计算方法，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的数据计算方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：山泽阳平，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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