【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种高温去除oled蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置。
技术介绍
1、基于有机发光二极管(organic light emitting diode，oled) 作为一种新型的纯固体显示技术，具备之前的技术优势，并具有独特的自发光、超轻薄、响应快、宽视角等优点被广泛关注，oled显示技术已被广泛的研究、生产。oled显示屏中有机发光层的制备，通常是采用真空蒸镀技术，即在真空腔体设备内，通过加热坩埚中的蒸镀材料，使其蒸发并沉积在目标基板上。其中涉及到有机蒸镀过程中防着板使用一段时间后，表面吸附的有机物逐渐累积，形成particle，需要定期对其进行拆卸清洗。
2、现有的清洗方法是采用有机溶剂浸泡去除防着板上的有机物，但这类方法会存在清洗不彻底，效率低、成本高以及化学废液难处理的问题。而高温烘烤是利用蒸镀有机材料的高温蒸发特性达到使其脱离oled部件的效果，一般有机材料的蒸发温度一般在170℃~400℃之间，通过高温烘烤方式使其融化、挥发成原子或分子，脱离部件表面；
3、现有清洗方法：
4、s1：高压水洗，去除表面较厚膜质；
5、s2：将表面吸附有机物的部件浸泡在纯甲基吡咯烷酮溶液（nmp有机溶液）中，通过超声波或气动搅拌的方式增加有机膜与有机溶液的接触，逐步溶解表面吸附的有机膜；清洗过程中，药液需加热至40-60℃，浸泡2-3小时；
6、s3：将药液浸泡完成的部件取出再次进行高压水洗，清洗表面残留的药液；
7、s4：纯水浸泡，同时通过超声波或气动搅拌的
8、s5：烘箱干燥，去除表面水分，200℃恒温2小时。
9、现有技术存在以下几方面缺点：
10、一是采用纯化学清洗方式，虽然对低粘附性的有机膜质去除效果好，但对于粘附紧密或药液难以进入的细小缝隙中的膜质去除效果较差。
11、二是化学浸泡清洗药液进入部件缝隙等狭小处难以完全去除，极易残留。
12、三是化学浸泡需要加热+超声波或气动搅拌+浸泡时间，以及需要纯水槽的二次清洗，清洗耗时长、效率低。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种高温去除oled蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高温去除oled蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置，包括：
3、加热系统，采用加热镍铬电炉丝对热空气进行加热，用于产生高温环境；
4、温度控制系统，高温烘箱配备有能够自动控制烘箱内部温度的温度控制系统，防止温度过高或过低对物品造成损害，且包括用于温度调节、时间设置的控制面板；
5、台车，承载部件，通过外部工字钢轨道运动以打开和关闭箱体；
6、多风口设计，改善热空气循环，通过设置多个方向和尺寸的风口，利用气流动力学原理在烘箱内形成旋涡状循环，提高温度均匀性；
7、热泵技术，回收烘箱内部的热量，用于预热进入烘箱的新鲜空气，提高能源效率；
8、智能传感技术，通过实时监测箱内各点的温度，动态调整加热器的功率，实现精准的温度控制；
9、定位传感器，安装于台车上，与控制系统联动，实现台车的自动定位和箱体的精准关闭。
10、优选的，包括一个快速冷却系统，用于在烘烤完成后快速冷却烘箱。
11、优选的，在高温烘烤过程中引入电磁场辅助烘烤，利用特定频率的电磁波加速有机膜的分解。
12、优选的，一种清洗oled蒸镀设备有机膜的方法，包括：
13、s1步骤：使用高压水洗，去除部件表面的较厚且易去除膜质；
14、s2步骤：将需清洗部件有序摆放至高温烘箱内，通过烘箱控制面板设定工艺温度400℃至450℃，恒温烘烤1小时；
15、s3步骤：烘烤完成后打开烘箱自然冷却，完成有机膜清洗。
16、优选的，s1步骤中使用的高压水洗后的废水，通过过滤和净化系统转化为可用于s2步骤的蒸汽，实现废水的循环利用。
17、优选的，在s2步骤中引入电磁场辅助烘烤过程，降低烘烤温度，减少能耗。
18、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
19、有益效果
20、本专利技术提供的高温去除oled蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置，与现有技术相比，具有以下显著的有益效果：
21、提高加热效率与均匀性：采用多风口设计，通过气流动力学原理形成的烘箱内旋涡状循环，极大提高了箱内温度的均匀性，有效解决了现有技术中加热效率低、受热不均的问题，从而避免了因受热不均导致的有机膜翘曲或烘烤不彻底的缺陷。
22、节能环保：利用热泵技术回收烘箱内部热量以预热新鲜空气，大幅降低了能源消耗，同时减少了三废排放，符合绿色环保的生产要求。
23、智能化控制：智能传感技术的应用，能够实时监测并动态调整加热器功率，确保整个烘烤过程温度控制的精确性，提高了烘烤质量和设备运行的稳定性。
24、电磁场辅助烘烤：在烘烤过程中引入电磁场，利用特定频率的电磁波加速有机膜的分解，不仅降低了烘烤温度，减少了能耗，而且提高了有机膜的去除效率和设备的生产效率。
25、快速冷却系统：烘烤完成后，快速冷却系统能够迅速降低烘箱温度，缩短生产周期，提高生产效率。
26、废水循环利用：本装置在清洗过程中采用过滤和净化系统，将高压水洗后的废水转化为可用于烘烤步骤的蒸汽，实现了废水的循环利用，既减少了水资源浪费，又降低了生产成本。
27、技术构思创新：本高温烘烤装置提供了一种全新的技术构思，不仅解决了现有技术中的问题，而且代表了oled蒸镀设备烘烤技术的新发展趋势。
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1.一种高温去除OLED蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置，其特征是：包括：
2.根据权利要求1所述的一种高温去除OLED蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置，其特征在于，在高温烘烤过程中引入电磁场辅助烘烤，利用特定频率的电磁波加速有机膜的分解。
3.根据权利要求1或2所述的一种高温去除OLED蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置，其特征在于，还包括一个快速冷却系统，用于在烘烤完成后快速冷却烘箱。
4.一种清洗OLED蒸镀设备有机膜的方法，包括：
5.根据权利要求4所述的一种清洗OLED蒸镀设备有机膜的方法，其特征在于，在S1步骤中使用的高压水洗后的废水，通过过滤和净化系统转化为可用于S2步骤的蒸汽，实现废水的循环利用。
6.根据权利要求4或5所述的一种清洗OLED蒸镀设备有机膜的方法，其特征在于，在S2步骤中引入电磁场辅助烘烤过程，降低烘烤温度，减少能耗。
【技术特征摘要】
1.一种高温去除oled蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置，其特征是：包括：
2.根据权利要求1所述的一种高温去除oled蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置，其特征在于，在高温烘烤过程中引入电磁场辅助烘烤，利用特定频率的电磁波加速有机膜的分解。
3.根据权利要求1或2所述的一种高温去除oled蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置，其特征在于，还包括一个快速冷却系统，用于在烘烤完成后快速冷却烘箱。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘宇航，贺贤汉，张继月，
申请(专利权)人：安徽富乐德科技发展股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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