【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测领域，具体而言，涉及一种晶圆外观自动修整装置。
技术介绍
1、在晶圆测试之前和结束之后，为了确保封装的成品合格率，以便降低成本，需要通过aoi设备对晶圆进行外观检测(划伤、脏污、色差等)，从而保证测试之前和测试结束后的外观是完好无损的(以此降低封装的不合格率)，而随着芯片功能更强更复杂，外观的检验需求也就更加重要。
2、另外，光学检测结构应用于晶圆测试之前和测试之后，其是到达封装的最后一个屏障。因此，它是集成电路制造中对制造、品质最重要的制程之一。
3、一般晶圆测试之前和结束后，需要人工或者设备针对外观进行检验(划伤、脏污、色差等)，人工点除外观不良产品(晶圆表面有很多线路如果出现脏污或者划伤，可能会造成封装的不良或者芯片使用寿命短)，然而，现在人工成本压力日益增加，而且每人所照看ink机器有限而且容易出现误判，无形中又增加人力和芯片成本，从而降低了装置的实用性。
技术实现思路
1、为了弥补以上不足，本申请提供了一种晶圆外观自动修整装置，旨在改善人工检测容易造成品质问题，同时增加了工作量，降低了生产效率的问题。
2、本申请实施例提供了一种晶圆外观自动修整装置，包括传输结构和检测结构，所述传输结构包括操作平台、第一传输装置、工作台、调节组件、夹持组件和第二传输装置，所述操作平台设置于所述第一传输装置一侧，所述工作台设置于所述第一传输装置一侧，所述调节组件设置于所述工作台一侧，所述调节组件与所述夹持组件连接，所述第二传输装置设置于所
3、在一种具体的实施方案中，所述调节组件包括第一电动推杆、固定框、伺服电机、滚珠丝杠副、丝杠螺母副和连接框，所述第一电动推杆安装于所述工作台一侧，所述固定框与所述第一电动推杆活动端连接，所述伺服电机安装于所述固定框一侧，所述滚珠丝杠副与所述伺服电机连接，所述滚珠丝杠副与所述固定框转动连接，所述丝杠螺母副与所述滚珠丝杠副连接，所述连接框与所述丝杠螺母副连接。
4、在上述实现过程中，通过第一电动推杆、固定框、伺服电机、滚珠丝杠副、丝杠螺母副和连接框的设置，能够方便对晶圆的位置进行调节，从而方便进行外观检测。
5、在一种具体的实施方案中，所述丝杠螺母副一侧设置有滑块，所述固定框内壁开设有滑槽，所述滑块与滑槽滑动连接。
6、在上述实现过程中，通过滑块与滑槽滑动连接，能够方便对丝杠螺母副的运动进行限位。
7、在一种具体的实施方案中，所述固定框两侧均嵌装有轴承，所述滚珠丝杠副与轴承内圈过盈配合。
8、在上述实现过程中，通过滚珠丝杠副与轴承内圈过盈配合，能够方便减少滚珠丝杠副转动所产生的损耗。
9、在一种具体的实施方案中，所述夹持组件包括第二电动推杆、电机、夹持板和第三电动推杆，所述第二电动推杆安装于所述连接框内，所述电机与所述第二电动推杆活动端连接，所述第三电动推杆固定端与所述连接框转动连接，所述电机输出端和所述第三电动推杆活动端均设置有所述夹持板。
10、在上述实现过程中，通过第二电动推杆、电机、夹持板和第三电动推杆的设置，能够方便对晶圆进行夹持，同时方便带动晶圆转动。
11、在一种具体的实施方案中，所述夹持板一侧设置有橡胶垫。
12、在上述实现过程中，通过在夹持板一侧设置有橡胶垫，能够方便避免夹持的过程中对晶圆造成损伤。
13、在一种具体的实施方案中，所述第一传输装置和所述第二传输装置一侧均设置有晶舟盒。
14、在上述实现过程中，通过在第一传输装置和第二传输装置一侧均设置有晶舟盒，能够方便放置晶圆，同时避免待测试产品和测试完成后的产品混合。
15、在一种具体的实施方案中，所述晶圆测试台一侧安装有显示器主体。
16、在上述实现过程中，通过在晶圆测试台一侧安装有显示器主体，能够方便显示针测后的示意图。
17、与现有技术相比，本申请的有益效果：通过调节组件的设置，能够方便对晶圆的位置进行调节，从而方便进行外观检测，通过夹持组件的设置，能够方便对晶圆进行夹持，同时方便带动晶圆转动，通过第一传输装置和第二传输装置的设置，方便输送晶圆，提升了工作效率，通过相机主体和晶圆测试台的设置，方便分别对晶圆外观和内部线路进行检测。
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1.一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，包括
2.根据权利要求1所述的一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，所述调节组件包括第一电动推杆、固定框、伺服电机、滚珠丝杠副、丝杠螺母副和连接框，所述第一电动推杆安装于所述工作台一侧，所述固定框与所述第一电动推杆活动端连接，所述伺服电机安装于所述固定框一侧，所述滚珠丝杠副与所述伺服电机连接，所述滚珠丝杠副与所述固定框转动连接，所述丝杠螺母副与所述滚珠丝杠副连接，所述连接框与所述丝杠螺母副连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，所述丝杠螺母副一侧设置有滑块，所述固定框内壁开设有滑槽，所述滑块与滑槽滑动连接。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，所述固定框两侧均嵌装有轴承，所述滚珠丝杠副与轴承内圈过盈配合。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，所述夹持组件包括第二电动推杆、电机、夹持板和第三电动推杆，所述第二电动推杆安装于所述连接框内，所述电机与所述第二电动推杆活动端连接，所述第三电动推杆固定端与所述连接框转动连
6.根据权利要求5所述的一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，所述夹持板一侧设置有橡胶垫。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，所述第一传输装置和所述第二传输装置一侧均设置有晶舟盒。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，所述晶圆测试台一侧安装有显示器主体。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，包括
2.根据权利要求1所述的一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，所述调节组件包括第一电动推杆、固定框、伺服电机、滚珠丝杠副、丝杠螺母副和连接框，所述第一电动推杆安装于所述工作台一侧，所述固定框与所述第一电动推杆活动端连接，所述伺服电机安装于所述固定框一侧，所述滚珠丝杠副与所述伺服电机连接，所述滚珠丝杠副与所述固定框转动连接，所述丝杠螺母副与所述滚珠丝杠副连接，所述连接框与所述丝杠螺母副连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，所述丝杠螺母副一侧设置有滑块，所述固定框内壁开设有滑槽，所述滑块与滑槽滑动连接。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆外观自动修整装置，其特征在于，所述固定框两侧均嵌...
【专利技术属性】
技术研发人员：虞君新，
申请(专利权)人：无锡圆方半导体测试有限公司，
类型：新型
国别省市：
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