【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及调光用导电性薄膜的制造方法。
技术介绍
1、已知用于形成调光器件的透明电极的导电性薄膜(调光用导电性薄膜)。调光用导电性薄膜例如具备基材薄膜和该薄膜上的透明导电层。现有的调光用导电性薄膜例如按照下述进行制造。
2、首先，利用卷对卷方式的溅射装置，在长条的基材薄膜上形成透明导电层(透明导电层形成工序)。具体而言，对溅射装置的成膜室内进行真空排气后，在这样的减压气氛的成膜室内，在基材薄膜上溅射成膜透明导电材料。形成有透明导电层的基材薄膜在溅射装置中的减压气氛的卷取室内被卷取成卷状。由此，可得到卷状的调光用导电性薄膜(调光用导电性薄膜卷)。接着，利用卷对卷方式的层压装置，在大气气氛下，在调光用导电性薄膜的基材薄膜侧贴合保护薄膜(贴合工序)。保护薄膜主要是为了防止调光用导电性薄膜的损伤而设置的。对于配置于调光器件的光通过部位的调光用导电性薄膜，防止损伤是非常重要的。通过如上操作，制造带保护薄膜的调光用导电性薄膜。
3、带保护薄膜的调光用导电性薄膜被供给至调光器件的生产线。该生产线中，在调光用导电性薄膜的透明导电层上涂布液态的调光用材料(涂布工序)。保护薄膜在规定的时机从调光用导电性薄膜剥离。关于与这样的调光用导电性薄膜相关的技术，例如记载于下述的专利文献1。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本特开2020-30229号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、对于调光用导电性薄膜
3、另一方面，本专利技术人等关于调光用导电性薄膜得到了如下见解。透明导电层形成工序后的透明导电层的表面(与基材薄膜相反的一侧的表面)暴露于大气的累积时间越长，调光用材料的润湿性越降低。上述以往的制造方法中，透明导电层的表面在接着透明导电层形成工序进行的贴合工序中暴露于大气中较长时间。由此，调光用材料对透明导电层的润湿性大幅降低。
4、本专利技术提供适于确保调光用材料对透明导电层的润湿性的调光用导电性薄膜的制造方法。
5、用于解决问题的方案
6、本专利技术[1]包含调光用导电性薄膜的制造方法，其包括以下的准备工序和透明导电层形成工序，准备工序：准备长条的层叠薄膜，所述层叠薄膜具备：具有第一面和与该第一面相反的一侧的第二面的长条的基材薄膜、及贴合于所述第一面的长条的保护薄膜；透明导电层形成工序：在减压气氛下，在所述层叠薄膜中的所述第二面上依次成膜第一导电性氧化物层、金属层和第二导电性氧化物层从而形成透明导电层，将带有该透明导电层的层叠薄膜卷绕成卷状。
7、本专利技术[2]包含上述[1]所述的调光用导电性薄膜的制造方法，其中，所述第一导电性氧化物层和/或所述第二导电性氧化物层为铟锡复合氧化物层。
8、本专利技术[3]包含上述[1]或[2]所述的调光用导电性薄膜的制造方法，其中，所述金属层为银层或银合金层。
9、专利技术的效果
10、在本专利技术的调光用导电性薄膜的制造方法中，如上所述，在基材薄膜的第二面上形成透明导电层(第一导电性氧化物层/金属层/第二导电性氧化物层)之前，准备在基材薄膜的第一面贴合有保护薄膜的层叠薄膜(准备工序)。在其后的透明导电层形成工序中，在层叠薄膜中的基材薄膜上形成透明导电层后，将带有该透明导电层的层叠薄膜在减压气氛下卷绕成卷状。带透明导电层的层叠薄膜的卷适于抑制在将该卷置于大气气氛下时，透明导电层的表面(与基材薄膜相反的一侧的表面)的大气暴露。
11、根据这样的制造方法，在透明导电层的形成后，不需要在基材薄膜上贴合保护薄膜。即，在保护薄膜贴合工序中无需将透明导电层暴露于大气中。这样的制造方法适于缩短透明导电层的表面暴露于大气中的累积时间。因此，本制造方法适于抑制由透明导电层表面的大气暴露引起的、调光用材料对该层的润湿性的降低。
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1.一种调光用导电性薄膜的制造方法，其包括以下的准备工序和透明导电层形成工序，
2.根据权利要求1所述的调光用导电性薄膜的制造方法，其中，所述第一导电性氧化物层和/或所述第二导电性氧化物层为铟锡复合氧化物层。
3.根据权利要求1或2所述的调光用导电性薄膜的制造方法，其中，所述金属层为银层或银合金层。
【技术特征摘要】
1.一种调光用导电性薄膜的制造方法，其包括以下的准备工序和透明导电层形成工序，
2.根据权利要求1所述的调光用导电性薄膜的制造方法，其中，所述第一导电...
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