【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉，尤其涉及一种坩埚托盘、托杆组件及单晶炉。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉在进行结构安装时，将用于盛放多晶硅原料的石英坩埚放置于单晶炉热场中的石墨坩埚或碳碳坩埚中，石墨坩埚或碳碳坩埚通常采用坩埚托盘与其底部的坩埚托杆配合进行支撑。
2、由于相关技术中，坩埚托盘多采用柱状结构，其支撑位置位于坩埚托盘的中心位置，受力较为集中，稳定性较差。当发生闷炉时，坩埚和硅料容易压斜坩埚托盘，从而损坏加热器等重要的热场部件。
技术实现思路
1、本技术的第一方面提供一种坩埚托盘，用以解决现有技术中受力较为集中，稳定性较差的缺陷，可使托盘本体的结构强度、稳定性和可靠性更高。
2、本技术的第二方面提供一种托杆组件。
3、本技术的第三方面提供一种单晶炉。
4、为了实现上述目的，本技术的第一方面提供一种坩埚托盘，包括：
5、托盘本体，包括同轴设置的支撑部和边缘部，所述支撑部的中心开设有连接孔，所述连接孔适于可拆卸连接托杆；在所述支撑部和所述边缘部之间设有至少两个支撑筋，相邻两个所述支撑筋之间设有用于传热的镂空区。
6、根据本技术提供的坩埚托盘，由所述边缘部向所述支撑部的方向，所述支撑筋向下倾斜延伸。
7、根据本技术提供的坩埚托盘，所述边缘部的厚度小于所述支撑部的厚度。
8、根据本技术提供的坩埚托盘
9、根据本技术提供的坩埚托盘，由所述边缘部向所述支撑部的方向，所述支撑筋的宽度逐渐减小。
10、根据本技术提供的坩埚托盘，所述边缘部的下侧，沿其圆周方向设置有用于阻止硅液流至托杆的防护部；
11、或
12、所述边缘部的下侧，对应所述支撑筋的位置设有用于阻止硅液流至托杆的防护部。
13、根据本技术提供的坩埚托盘，所述防护部包括设置在所述边缘部上的凸起和凹槽中的至少一者。
14、根据本技术提供的坩埚托盘，所述连接孔的孔壁阵列设置三组连接槽，所述连接槽沿所述连接孔的深度方向延伸，在每组所述连接槽内设有与所述托杆相连接的螺纹。
15、本技术的第二方面提供一种托杆组件，包括托杆和所述的坩埚托盘，所述坩埚托盘设于所述托杆。
16、本技术的第三方面提供一种单晶炉，包括炉体和所述的托杆组件，所述托杆组件设于所述炉体。
17、本技术提供的一种坩埚托盘，通过在托盘本体上同轴设有支撑部和边缘部，并在支撑部和边缘部之间设有至少两个支撑筋，使托盘本体的结构强度、稳定性和可靠性更高。在相邻两个支撑筋之间设有用于传热的镂空区。这样设置，不仅可以提升托盘本体的承重能力，而且能够实现热量直接传导，以提高加热效果。
18、另外，通过将托盘本体和托杆可拆卸连接，能够提高坩埚托盘的使用灵活性，可降低维护成本，避免托杆在使用过程中发生损坏后，需要将坩埚托盘和托杆整体拆卸进行更换。
19、本技术提供的托杆组件和单晶炉，因均包括上述的坩埚托盘，因此具体上述的所有优势。
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1.一种坩埚托盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的坩埚托盘，其特征在于，由所述边缘部向所述支撑部的方向，所述支撑筋向下倾斜延伸。
3.根据权利要求1所述的坩埚托盘，其特征在于，所述边缘部的厚度小于所述支撑部的厚度。
4.根据权利要求3所述的坩埚托盘，其特征在于，由所述边缘部向所述支撑部的方向，所述支撑筋的厚度逐渐增大。
5.根据权利要求3所述的坩埚托盘，其特征在于，由所述边缘部向所述支撑部的方向，所述支撑筋的宽度逐渐减小。
6.根据权利要求1至5任一项所述的坩埚托盘，其特征在于，所述边缘部的下侧，沿其圆周方向设置有用于阻止硅液流至托杆的防护部；
7.根据权利要求6所述的坩埚托盘，其特征在于，所述防护部包括设置在所述边缘部上的凸起和凹槽中的至少一者。
8.根据权利要求1至5任一项所述的坩埚托盘，其特征在于，所述连接孔的孔壁阵列设置三组连接槽，所述连接槽沿所述连接孔的深度方向延伸，在每组所述连接槽内设有与所述托杆相连接的螺纹。
9.一种托杆组件，其特征在于，包括托杆和权利要求1
10.一种单晶炉，其特征在于，包括炉体和权利要求9所述的托杆组件，所述托杆组件设于所述炉体。
...【技术特征摘要】
1.一种坩埚托盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的坩埚托盘，其特征在于，由所述边缘部向所述支撑部的方向，所述支撑筋向下倾斜延伸。
3.根据权利要求1所述的坩埚托盘，其特征在于，所述边缘部的厚度小于所述支撑部的厚度。
4.根据权利要求3所述的坩埚托盘，其特征在于，由所述边缘部向所述支撑部的方向，所述支撑筋的厚度逐渐增大。
5.根据权利要求3所述的坩埚托盘，其特征在于，由所述边缘部向所述支撑部的方向，所述支撑筋的宽度逐渐减小。
6.根据权利要求1至5任一项所述的坩埚托盘，其特征在于，所述边缘部的下侧，沿...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁勇，
申请(专利权)人：三一硅能朔州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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